6.2  ！自  动 》 化 】 6.2》.，1 ： 对本条第2款的】说，明如下分散型控【制系：统(DCS》)、安全仪表系【统(SIS)—、安全栅属于关联】设，备为方便现》场安装、《调试、开车》统一由？分散型？控制系统《(，。DCS)供应商【提供并承担》相关责任和服务以】避免中间《环节的推诿、扯【皮现象 【 6.2.2  ！。对本条第《3款第4项的说【明如下？还，原炉硅芯(棒)内】、，。中，、外均采用高温【双色红外测》温仪是？由于被测硅芯较细且！还原炉的《视镜易受到污染影】响，测量精度而采—用双色红外》测温仪则《能够更好地》消除干扰保》证测量精《。。度，要求 】6.2.3》。  对本条第3款第！2项的？说明如下对于测量】。氯硅烷介《质的仪表宜采用隔】膜，式，。压力：表(法兰安装)【目的是？防止氯硅《烷类介质《水解后堵《塞仪表导压》管道同时起到防【腐，作，用 —     对本条】第4款？第，2项的说明如下一】般的压？力，表和压？力变送器是指—本行业？内常用的工艺接【口尺：寸在：M20？。。×1.5或1／【2 60度锥管螺纹！(NPT《)的一类压力仪表】类，型 ？ 6.2【.，4  有《关流量仪表的选型】要，。求，说明如下 ！    《 2：。  多晶硅工厂【中使用的脱盐水及】超纯：水介电常数非—常，低使用电磁流量计会！测量不准 【 ：    《 4  《由于还原炉内硅【棒数量？。多工艺要《。求三氯氢《硅及氢？气流量变化范—围大且要求进—料量：精度：。高为：。确保：全量程下的自动【。化，。控，制则宜选用大—量程仪表并带有温、！压补偿功《能，以保证多晶》硅产品的《质量要求和连续【化自动控《制 》。     由【于还原炉进料—过程中压力不—高氢气密度低科氏】力质量流量计测量氢！气流量必然会严重】缩径按？照现行？国，家标准氢气站—设计规范GB 【501？77的有关规定在】氢气设计压力为0.！1MPa～3.【0MPa时氢—气在碳钢管道—中的：流速小？于15m《／s；在不锈钢管】道中的流速》小，于2：5m／s因此在【仪表设计中应避免】氢气高流速的现象】产生以免造成测量】仪表误差及损坏管道！甚至发生爆》炸危险 【     5  ！。在工艺管道和—设备产生泄》漏的情况下氯—硅烷介？质极易？发，生水解现《象并产？生自聚物堵塞管【。道或设备《所以一？般使用？。容积式流量》计 ？ 6.2.】8  大部分装【置中都存《。。在，有，毒、可燃《性气体？。。因此应符合现行国家！标准石油《化工可燃《气体和有毒》气体检测报警设计规！范GB 5049】3中：的，相关要？求，建立一？套独：立，设置的报警、联锁系！统，以，保证装置生》产安全、正常的【运行 】    《3  本款是强【制性条？款通常情《。况下工艺装置或储】运设：施的控制室、现场】操作室是操作人员常！驻和能够采》取措施的《场，所现场发生可燃气体！和有：。毒气体泄漏》事故时报警信号必】须使现？场报警器报》警提示现《场操作人员》。采取措施同时报警信！号，发送：至有人值守》的控制室、》现场操？作，室的指示报警设备进！。行报警以便控—制室、现场操—作室的操《作人及时采取—措施： 》。 6.？2.9  在线【分析仪表宜采用【。气相：色谱仪是为了—更好地分析原料、中！。间产品？、最终产品的品质是！。否达到有《关的：质量标准其中的【。有关要？求是针？对多晶？硅介质的特性提出】的用：以保：证分析仪表》设备的？正常运行 】 6.2.1【1  本条第3款所！述的压力《值为表压本规范中】所有气体压》力值均为《表压 《