6.2 】 自 动》 化
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6?.2:.1 ? 对本条第2款【的说明如下分散【。型控制系统(DCS!)、安全仪表—系统(SIS)、】安全:栅属于关联设备为方!便现:场安装、调试、开】车统一?由分散型控》。制系统?(DCS)供应商】。提供并?承担相?关责任?和服务以避免中【间环节的推》诿、扯皮现象—
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6.2《.2:。 , 对本条第3款【。第4:项的说明如》下还:原炉硅芯(棒)内】、中、外均采—用高温双色红外【测温仪是由》于被:测硅芯较细且还【原炉的视镜》易受到污染影响测】量,精度:而采:用双:色红:外,测温仪则能够更好】地,消除干扰保证测【量精:度要求
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6.2.3! 对本条》第3款第2项的【。说明如下对》于测量氯硅烷—介质的仪《表宜采用《隔膜式压力表(【法,兰,安,装)目的是》防止氯硅烷类介【质水:解后:堵塞仪表导压—管,道同时起到》。防腐作用
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】对本条第4款第2】项的说?明如下?一般的压力表和压力!变,送,。器是:指本行业内常用的工!。艺接口尺寸在M2】0×1.5或1【/2 60度—锥管螺纹(NP【。T)的一类》压力:仪表类型
】
6.2.4【 有?关流量仪表的选【型要求说明如—。。下
【 《。2 多晶硅工厂中!使,。用,的,脱盐水及超纯水介】。电常数非常低—使用电?磁流量计会测量【不准
》
《 ?4 ?由于还原炉》内硅:。棒数量?多工艺要求三氯【氢,硅及氢气流》量,。变化范围大且要求】进料量精度高为【确保:全量程?下,的自:动化控?制则:宜选:用大量程仪表并【带,有,。温、压补偿功能以】保证多晶硅产品的】质量要求和连—续化自动控制
】
》。 由于还原【炉进料过程中压力】不高氢气密度低【科氏力?质量流量《计测量氢气流量必然!会严:重缩径按《照现行国家标准氢气!站设计规范GB【 50177的有关!规定在?氢气设计《压力为0.1M【。P,a~3.《0MPa时氢气在】碳钢管道中》的流速小于15m/!s;在不《。锈钢管道《中的:流速小于25m【/,s因:此在仪表《设计中?应,避免氢气高流速【的现象产生以免造】成测量仪表》误差及损坏》管道甚至《发生:爆,炸危险?
【 ?5 在工艺管道和!设备产生泄漏的【情况下?氯硅烷介质》极易发?生水解现《象并产生自聚—物堵塞?管道或设备所以一般!使用容积式流—量计
《
6.2【.8 ? 大部分装置—中都存在有》毒、可燃性气—体因此应《符合现行《国家标准石油—化工可?燃气体和有毒气【体检测报警设计【。规范GB 504】93中的相关要求建!。立一套独立设置【的报警、联锁系统以!保证装?置生产安全、正常】。的,。运,。行
【 3 【本款是强制性条款】通常情况下工艺装置!或储运?设施的控制》室、现场操作室是】操作人员《常驻和能够采取【措施的场所现场【发生可燃气体和有毒!气体泄漏事》故时报警信号必须使!。现场报警器报警【提示现场操作人【员采取措施同时【报警信号发送—至有人值《守的控制室、—现,场操作室的指—示报警设备》进行报警以便—控制:室、现场操作—室的操作人及—时采取措施
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6.2.—9 : 在线分析仪表【宜,采用气相色》谱仪是为了更好【地分析原料、中间产!品、最终产品—的品质是《否达到?有关的质量标准【其中的有关要求是】针对多?晶硅介?。。质的特性提》出的用以保证分析】仪表设备的正常运行!
—6,.2:.11 《 本条第3》款所述的压》力值为表压本规范中!。所有:气体:压力值均为表压【
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