6.2 】 自  动  化 ！。 — ，6.2.1》  ：对本条？第2款的说明如下分！散型控制系统(D】。CS)？、安全仪《表系统(S》IS)？、，安全栅属于关联设备！为方便现场安装、调！试、开？车统一由分散型【控制：。系统(？。。DCS)供应商【提供并承担相—。关责任和服务以避免！中间：环节的推《。。。诿、扯皮现象 】 6.2.】。2  对本条—第，3款第4项的说明】如下还？原炉硅芯(棒)内】。、中、外《均采用？高温双色红外测【温，仪是由于被测硅芯较！细且还原炉的视镜】易受到污染》影响测量精度而采】用双色红外测温【仪则能够更》好地消除干扰保【证测量精度要—求 【6.2.3 — 对本条第3款第2！项的说明如下—对于测？量氯硅烷介质的仪表！宜采：用隔膜？式压力表(法兰【安装)？目的是防止氯硅烷类！介质：水解后？堵塞仪表导压—管道同时起》。到防：腐作用 【   《  对？本条第？。4款第2项的说明】如下一般的压—力表和？压力变送器是—指本行业内常用【的，工艺接口《尺寸在M《20×1.5或【1／2 6》0度锥？管螺纹？(，N，P，。T)的一类压力仪】表类型 ！。6.2.4》  有？。关流量？仪表的选《型要求说明如下【 ： ？     》2  多晶》硅工厂中使用的脱盐！。水及超？纯水介？电常数非常低使【用电磁流量计会【测量不？准 ？    【 4：。  由于还原炉内】硅棒：数量多工艺要—求三氯氢《硅及氢气流量变化】。范围大且要》求进料？量精度高为确保全量！程下：的自动化控制则宜选！用大量程仪》表并带？有温、压补偿功能】以保证多晶硅产【品的质量要求和连】续化：自动控制 】     由于还！原炉进料《过程中压力不高氢】气密度低科氏力质量！流量计测量氢气流量！必然会严重缩径【按照现行《。国家标准氢气站设计！规范G？B 50《177的有关规【定在氢气设计—压，力为0.1MP【。a～3.0M—。Pa时氢《气在碳钢管道中的流！速小于15》m／s；在不锈【钢管道中的流—速小于25m／s因！此在仪表设计—中应：。避免氢气高》。流速的现象》。产生以免造成测量仪！。表误差及《损坏管道甚至发生】爆炸危险 【 ，     5  ！在工：艺管道和设备产生泄！。漏的情况下氯硅烷】。介质：极易发生水解现象并！产，生自聚物堵》塞管道或设备所以】一般使用容积式流】量计： ， 6—.2.？8  ？大部：分，装置中都存在有【毒、可燃性气体因此！应符合？现行国家标准石【油化工可燃气—体和有毒气体检测报！。警设计规《范GB？ 5049》3中的相关要求【建立：一套独？立设置的报警、联锁！系统以保证装置生】产安全、正常—的运行 【    》 3  本款是强制！性条款通常情况【下工艺装置或—储运设施《。的控制室《、现场操作室—是操：作人员常驻和—能够采取措施的【场所现？场发生？可燃气体和》有毒气体泄漏事【故时：报警信号必须—使现场报警器报警提！示现：场操作人员采—取措施同时》报警：信，号发送至有人值守】的控制室、现—场操作室的指示报】警设备进《行报警以《便控制？室、现场操》作室的操作人及时】采取措？施 》 6.2.9 】 在线分析仪表宜】采用气？相色谱仪是》为了更好地》分析原？料、中间产品、最终！产品的品质是否达】。到有关的《质量：标准：。其中的有关要求是针！对多晶硅介质的特性！提出的用以保证分析！。仪表设备的正常【。运行 — 6.2.11 ！ 本：条第：3款所述的压力值】为表压本规范中所有！。气体压力值》均为表压 》。 ，