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6.2 自】 动 》化
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6.2.1 【 对本条第》2款的?说明如下分》散型控制系统—(DCS)、安全仪!表系统(《SIS?)、安全《栅属于关联设—备为方?便现场安装》、调试、开车统【一由分散型控制【系统:(DCS)供应商】提,供并承担相关—责任和服务以避【免中间?环节的推诿、扯【皮现:象
6】.2.2 对【。本条第3款第—4项的说明》如下还?原,炉硅芯(棒)—内、:中、外均采用高温双!色红外测温仪是【由于被测硅芯—较细且还《原炉的视镜易受到污!染影响测量精度【而采用双色》。红外:测温仪则《能够更好地消—除,干扰保?证测量精度要—。求
6.!2.3 对—本,条,第,3款:第2项的说明如【下对于?测量氯硅《烷介质的《仪表宜采用隔—膜式压力表》(法兰安装》。)目的是《防,止氯:硅烷类介质水解【后堵塞仪《表导压管《道同时起到防腐【作,用
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》 对本条第—4款第2项》的说明如下一般的】。压,力表和压力》变,送器是指本行业内常!用的工艺接口尺【寸在M20×1.】5,或1/2 60度锥!管螺纹(N》。P,T)的一《类,。压力仪?表,。。类型
】6.2?.4 《有关流?量仪表的选型要求】说明:如下
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【 2? 多晶硅工厂中】。使用的脱盐》水及超纯水》介电:常数非常《低使用电《磁流:量,计会测量《不准
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4— 由于还原炉内硅!棒数:量多:工艺要求《三氯氢?硅及氢?。气流:量变化范围大且要求!进料量精度高为确保!全量程下的》自动化控制则—宜选用大量程仪【表并带有温》、压补偿功》能以保证多晶硅产】品的质量要求—和连续化自动控制】
— 由于还原炉!进料过程《中压:力不高氢气密度低科!氏力质量流量计测量!氢气流量《必然会严重缩径按】照现行国家标准氢气!站设计规范GB【 50177的有】关,规定在氢气设—计压力为《0.1MPa~【3,.0M?Pa:。时氢气在《碳钢管道中的流速小!于15m/s;在不!锈钢管道中的流【速,小于25m/s因】。此在仪表设计中应避!免氢气高流速的现象!产生以免造》成测量仪表误差及损!坏管道甚至发生爆】炸危险?
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》 5 在工艺管道!和设备?产生:泄漏的情况下—氯硅:烷介质?。极易发生《水解现象《并产:生自聚物《堵塞管道或设备所】以一般?。使用容积式流量计】
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6:.2.?8 大部分装置】中都:存在有毒、可燃性气!体因此应符合—现,行国:家标准石《油化工可燃气体和】有毒气体检测报警设!计规范G《B 5?。0493中的相关】要求建立《一套独立设置—。的报警、《联锁系统《以保证装置生产安全!、正常的运行
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!3 本款是—强制性?条款通常《情况下工艺》装置或储《运设施的控制室【。、现场操作室是【操作人员常驻和能够!采,取措施的场所现场发!生可燃气体和有【毒气体泄漏》事故时报警》信号:必须使现场报—警器报?警,提示现场操作人员采!取措:施同时报《警信号?发送至有人值—。守的控制《室、现场《。操,作室:的指示报警》设备进行《报警以便控制—室、现场《操作室?的,操作人及时采取措】施
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6.2.9— 在线分》析仪表?。。宜采:用气相?色谱仪?是为了?更好地分析原料、】中间产品《、最终产《品,的品质?是否达到有关的质量!标准其中《的有关要求》是针对?多晶硅介质的特【性提出?的,。用以保证分析仪【表设备的正常运行
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6.?2.11 本【条第3?款所:述的:压力值为《表压本?规,范中:所有气体《压力值均《为表压
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