《6.2 自 动! 化
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6.2.—1 对本条第2】。款的说?明如下分散型控制系!。统(DCS)、安全!仪表系统(》SIS)、》安全栅属《于关联设《。备为方便现场安装】、调试、开》车统一由分散—型控:制系统(DCS)供!应商提供并承担【相关责?任和服务以避免中】间,环节的推诿、—扯皮:现,象
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:。6,.2.2 对本条!第3款?第4项的《说明如下还原炉硅】芯(棒)内》。、中、外均》采用高温双》色红外测温仪是由于!被,测,硅芯较细且还原【炉的视镜易》受到污染《影响测量精度而【采,用双色?红外测温仪》则能:够,更好地消除》干扰保证测量—精度要求
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6.—2.3 》对本条第3款第【2,。项的说明如》下对于测量氯硅烷介!质的仪表宜采用隔】膜式压力表(—。法兰安装)目的是】防止氯硅烷类—介质:。水解后堵塞仪—表导压管道》同时起到防腐作用】。
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对】本条第4款第—2项的说明如—下一:般的压力表和压【力变送器是指本行】。业内常用的工艺【。接口尺寸在M20×!1.5或1/2 】60度锥管》螺纹(?NPT)的一类【压力仪表类型
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6.2.【4 有关流量仪】表的选型要》求说明如下
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2 !多晶硅?工厂中使《用的脱盐水及超【纯水介电常数非【常低使用电磁流量】计会测量不》准,
【 4 由于还!原炉内硅《棒,数量多工《艺要求?三氯氢硅及氢气流】量变化范围大且要求!进料量精度高为确保!全量程下的》自动化控《制,则宜选用大》量,程仪表并带有温、】压补偿功能以—保,证多:晶硅产?品的质量要》求和:连续化?自动控制
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由于还!原炉进料《过程:中压力?不高氢气密》度,低科氏力质量流量】计测量氢气》流量必然会严重缩】径按照?现行国家标准氢气站!。。设计规范G》B 5017—。7的有关规定在氢气!设计压力为0.1】MPa~3.0【MPa?时氢:气在碳?钢管道?中的流速《小于15m/s【;在不锈钢》管道中的流速小于】25m/s》因此在仪《表设计中应》。避免氢气高流速的现!象产生?以,免造成测《量仪表误差及—损坏:管道甚至发生爆炸危!险
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】。5 在工艺管道和!设备产生泄》漏的情况下氯硅烷】介质极易发》。生水解现象并产【。生自聚物《堵,塞管道?或设备所以一—般使用容《积式流量计
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6.2.—8 大部》分,装置中都存在有【毒、可燃性》气体因此应符合现行!国家标?准石油?。化工可?燃气:体和有毒气体检测报!警设计规范GB【 50493中的】。。相关要求建立一套】。独立设置的》报警、联锁系统以保!证装置?生产:安全、正常的运行】
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3 】本款是强制性—条款通常情况下【工艺装置或储运【。设施:的,控制室、《现场操作《室是操?作人员常驻》和能够采取措施的】场所现场发》生可燃气《体和有毒《气体泄?漏事故时《报警信号必须—使现场报警器报警】提,示现场操作》人员采取措施—同时报?警信号发送至有人值!。守的控制《室、:现场操?。作室的指《示报警设备进—行报警?以便控制室、现【场操作室的》操作人及时采取措施!
6.】2.:9 在线》分析:仪表宜采用气相【色谱:仪是为了更好地分】析原料、中》间产品?、最:终,产品的品质》是否达到《有关的质量》标准:其中的有《关要求是针对—多晶硅?介质的特性提—出的用以保证分析仪!表设:备的正?常运行
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6.2.11【 本条第3—款所述的压力值为表!压本规范中所有气】体压力?值均为表压
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