附录C 】 主要房间》空气洁净度、温度、！湿，度 】 表C  主要房间！。。空气洁净《度、温度、湿度 】 】 ！    注》腐蚀清洗室主—要为生产半导—体级多晶硅免洗料】设置在清《洗设备上设》置层流罩保证在【设备内部《空气洁净度达到【5级 《