附录—C  主要房间【空气：洁净度、温度、【湿度 ？ 表】C  ？主要房间《空气洁净度、温【度、湿度《 — ， 【     】注腐蚀？清洗室主要为生【产半导体级多晶硅】免洗料设置在清洗】设，备，上设置？层流罩？保证在设《备内部空气》。洁净度达到5—级 ？