12—.2  生产—工艺 】 12.2.1 ！ 还：原炉应选用高效【率、：低能耗的《炉型 —。 12.2.2 ！ 多晶硅《生产应采用先进【的精馏技术并—应将多晶《硅生产各工序进行物！料平衡和能量—平衡计算应》。确定能耗低、经济】性好、竞争力强【的工艺流程 ！ 12.2.3 ！ 多：晶硅：。生产应优化工艺【、采暖、通风—、空：调参数及换热网络】应实现各种》。能量的梯《级利用 】 12.2.4 】 多：晶硅工厂应利—用多：。晶硅生？产过程中的》副产物 《 《。。 12.2.5【  多晶硅》。工厂：必须同步《设计余？热利用系统》；还原炉和氢化反】应的余？热回收应用于—提纯精馏塔再—沸器的加热且—余热利用系统—不应影响多晶硅【正常：。生产不应提高—多，晶硅能耗或降低【产量 《 12.2】。.6  多晶硅生产！过程应选用节水【、，节能型？产品并？应符合现《行国家标准节—水型产？品通：用技术条《件GB／T 18】8，70的有关》规定 《 12—.2.？7  设备和管【道应选用保》。温，。性，能，良好的绝热材—料保温设计应符合现！行国家标准》工业设备及管道绝】热工程？设计规范GB 5】02：64的有关规定【 》 ，12.2.8 【 各装置以及—重要：设，。备宜设置计量和检测！。仪表：。并宜设置《调，节控制装置以满足】全厂和各《个，系统单独计量考【核的要？求 ？ ？ ，12.2《.9  多晶硅【。工厂宜设置循环【水系统、高纯—水系统、脱》盐水系统《产生的洁净废水的】回收和再利用—设施 ？ ，