。 ： 12.2—  生产工》。。。艺 ！12.2.1 【 还：原炉应选《用高：效率、低能耗—的炉型？ ， 12【.2：.2 ？ ，多晶硅生产》应采用？先进：的精馏技术并—应将多？晶硅生产各工序【进行：物，料平衡和能量平衡】计算应确定能耗【低、：经济性好、竞争【力强的？工，艺流程 【 12.2.3 ！ 多：晶硅生产应优化【工艺、采暖、通【风、空调参》数及换热网络—应实现各种能量的梯！级利用 】 1：2.2.4  多晶！硅工：厂应利用多晶硅生产！过程中的《副产物 【 12.2—.5  多》。晶硅工厂必须同步设！计余热利用系统【；还：原，炉和氢化反应的【余热回收应用—于提：纯精馏塔再沸器【的加热且余热利【用系统不应影响多晶！硅，正常：生产不应提》高多晶硅能》。耗，或降低产量 】 ？12.2.6  】多晶硅生产过程应选！用节水、《节能型产品并应符】合现行国《家标准节水型—产品通用《。技术条件GB—／，T 18870的】有关规定 】 1？2.：2，.7：  设备和管道【应选用保温性—能良好的绝热材料保！温设计应符》合现：行国家标准》工业设备及》。管道绝热工程设计】规范GB 5—0264的有关【规定 》 12.—2.8 《 各：装置以及重要设【备宜设置计》量和检测《仪表并宜设置调节】控制装置以满—足全厂和各》个，系统：单独计量考》核的要求 — 12—。。.2.9  多晶】硅工厂宜设置循环】水系统、高纯—水系统、脱盐水系统！产，生的洁？净废水的回收和【再利用？设施： ：