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12.2】  生?产工艺?。。 《。 12—。.2:.1 ? 还:原炉应选《用高效?。率、低能耗的—炉,型 ? 《12.?2.2  多晶【硅生产应采用先进】的精馏技术并应【将多晶硅生产各工】序进行物料平衡【和能量平衡计算应确!。定能耗低、经济【性好、竞《争力强的工艺流【程 《 : 12.2.3 】 多晶硅生产应优化!。工艺、?采暖、通风、—空调参数及换热网络!应实现各种》能,量,的梯级利用 【 , 12.2【.4  多晶硅工】厂应利?用多晶硅生产过【程中的副产物 【 12【.2.5  多【晶硅工?厂,。必须同步设计余【热利用系统》。;还原炉和》氢化反应《的余热?。回收应?用于提?纯精:馏塔:再沸器的加热且【。余热利用《系统不应影》响多晶?硅正常生产不—。应,提高多晶硅能耗或】降低产?量 : 12.2!.6  多晶—硅生产过程应选用节!。水、节?能,型产品?。并应符合现行—国家标?准节水?型产:品,通用技术《。条件GB/T 【1,8870的有—关规定 《 12【.2.7  设备】和管道应选》用保温性能良好的绝!。热材料保温设计【应符合现行国家标准!工业:设备及?。管道绝热工程设【计规:范GB? 50264的【有关规定《 》 12?.2.8  —各装置以《及重要设备宜设置计!量和检测仪表并宜设!。置调:节控制装置以—满足全厂和各个系】统单独计《量考核的要求 】 ? ,12.?2.9  多晶硅】工厂宜设置循环水】系统、高《纯水系?统、脱盐水》系统产?生的洁净《废水的回收和再【利用设施 —