12.【2  生产工艺【 【 12.2.1【 ， ，还，原炉：应选用高效》率、低能耗的炉型】 12】.2.？2  多晶硅生产】应采用先进的精【馏技：术并应将《多晶硅？生产各工《序进行物料平衡和】能量：平衡计？算应确定能耗低、】经济性好、竞争力】强的工艺流》。程 12！.2.？3  多晶硅—生产：应优化工艺、采暖、！通风、？空调参数及换热网络！应实现各种能—量的梯级利用— 《 12.2.4】。  多晶硅工厂应利！用多晶硅生产—过程中的副》产物 1！2.2.5 — 多晶硅《工厂必须同步—设计余热利用系统】；还原炉《和氢化反应的—余热回收《应用于提纯》精馏：塔，再沸器的《加热且余热利用系统！不应影响多晶硅正常！生产不应提高多【晶硅能耗或降低产量！ 12.！2.：6  多晶硅—生产：过程应选用节水【、节能型《。产品并应符》合现行国《家标准节水型产品通！用技术条件GB【／T： 1：887？0的有关《规定 ？ 12【.2：.7 ？ 设备和管道—应选用保《温，性能良好的绝—热材料保温》设计应？符合现行国家标准】。工业设备及管道绝热！工程设计规范G【B 50264的】有关规定 ！ 12.2.8【  各装置以及重】要设备宜设》置计量和检测仪表并！宜设置调节控制装】置以：满足全厂《和各个系统单独计】量考核的《要求 — 12.2.9】  ：多晶硅工厂宜设置】循环水系统、高【纯水系统《、脱：盐水：系统产生的洁净废】水的回收和再利【用设施 》