： 12.2  生！产工艺 《 【12.2.1  还！原炉应选用高效率、！低能耗？的炉型 《 《 12.《2.2 《 多：晶硅生产应采用先】进的精？馏技术并《应将多？晶硅生产各》工序：进，行物料？平，衡和能量平衡—计算应确定能耗【低、：经济：性好、竞争力强的】工，艺流程 《 《 12.2.—3，  多晶硅生—。产应优化《工艺、采暖》、通风、《空调参数及换热网络！应实现各种能量的】梯级利用 — ， 12.—2，.，4  多晶硅工厂】应，利用：多晶：硅生产过程中—的副：产物 《 ： ， 12.2.5【  多晶硅工厂【必须同步设计余【热利用系统》；还：原，炉和氢化《反，应的余热回收应用】于提纯精馏塔再沸器！的加热且余热利用系！统不应影响多晶【硅正：常生产不应提高【多晶：硅能耗或《降低产量 】。 12《.2.6  —多晶硅生产过—。程应选用节水、【。节能型产品》并应符合现行国家标！。。准节水型产》品通用技《术条：件GB／T 188！70的有《。关规定 】 1：2.2.7  【设备和管道应选用保！温性：能良好的绝热材【料保温设《计应符合《现行：国家标准工业设【备，及管道？绝热工程设》计规范？GB 50264的！有关规定 【 12.2【.，。8  各装》置以及重要》设备宜设置计量【。和检测仪表并—。宜设：置，调节控制《装置以满足》全厂和？各个系统单独—计量考核的要求 ！ ： ：12.2.9  多！晶硅工厂宜设置循环！水系统、高纯水【系统、脱盐水系统】产生的洁净废水【的回收和再利用【设施： ， ，