9.4【  循环冷却—。水，系统 【 ： 9.4.1 【。。 多晶硅工厂设备】冷却水系统的设计】应符合现行国—家标准？工业循环《。水冷却设计》规，范GB？／T 5010【2和工业循环冷却】水处理设《计规范GB》 500《50的有《关规定 — 9.》4，.2 ？。。 循环水系统—应根据水温》、水：压、水质及》。设备运行要求设置分！设不同循环水系统 ！ 9.4】.3  《硅，芯拉：制，炉、单晶炉和还【。原炉电极的循环【水系统必《须，采取相应的保—安措施 【 9.《4.4？ ， 循环水系统应根据！。水质：情，况，合理设置水质—稳定处理《装置：稳，定循环？水水质减少系统排污！。量 ： ，