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8.4 洁!净设计?及装修
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8.4—。.1 还原—、整理?厂房洁净设计—及装修应符合下【列规:定
! :1 半导体级多晶!硅还原厂房的还原】炉室应按洁净厂【房进行设计空气洁】净,度等级不应》低于8级平》面布置、人》。员净化、物流净【化、室内装修应【符合现行国家标准】。洁净:厂房设计规范G【B 500》73的有关规定当设!有通往整理厂房的连!廊时连廊的空气洁净!度,等级和处理方法应】与还原炉室的要求一!。致宜符合本规—范,。附录C的《规定
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2 ! 还原炉室地面宜】采用耐磨的洁—净地面当采》用水磨石地》。面时应采取》防静电措施墙面宜采!用外贴洁净板或防静!电树脂涂料
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》 ,3 整理》厂房空气洁净度等】级及洁净区划—分应按工艺要求设】置空气洁《净度不应低》于8级平面布置、】人员净化、物流净化!、室内装修应符合】现行国家标准洁【净厂房设计规范【GB: 50073的有】关规定
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【。 4 整—理,厂,房的洁净房间地面宜!采用环氧自》流,平地面、聚氯乙烯】(,PV:C)膜材料》或水:磨石:地面地面应》采取防静电措施
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8.4.2! 其?他建(构)筑物的地!面及:。装修应符《合下列规定
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【 1 《厂房地面与室—外自然地坪》高,差宜:。大于或?等于300mm【
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!2 有洁净要【求的房间地面应满】足工艺?生产要求地面应平】整、耐磨《、,。易清洗、不易积【聚静电、避免眩【光、不开裂踢脚【不应:。突出墙面地面—垫层宜配筋潮湿【地区应?有防潮措施
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】3 洁净房间的】门窗、墙面、顶棚】装,修应符合现行国家标!准洁净?厂房设?计规范GB 500!73的有关规—定
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? ?4 普通区辅助】房间地面应根据【使用性质和要求选】用室内装《修应符?合现:行国家标《准建筑内部装—修设计防火规—。范GB 50222!的有关规定
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