:
8.4 洁】净设计?及,装,修
》
?
8.4.1 【 还原、整理—厂房洁净设》。计及装修应符—合下列规定
!
《。 1?。 半导体级多【晶硅:还原厂房《的还:原炉室应《按洁净?厂房进?行设计空气洁净度等!级不应低于8级平】面布:置、人员净化、【物流净?化,、室内装修应符合现!。。行,国家标准《。洁,净,厂房设计规》范GB 500【。。73:的有关规《定当设有通往—。整理厂房《的连廊时连廊—的空气洁净度等【级和处理方》法,应与还原炉室—的要求一致宜符【合本规范《附录:C的规定
】
》 2 还原炉室地!面,宜采用?耐磨:的洁净地面当—采用水?磨石地面时》应采取防静》。电措施墙面》宜采用外贴洁净【。。板或:防静电树脂涂料
!
:
《 3 《 整:理,厂房空气洁净度等级!及洁净区划分应【按工艺要求设置空】气洁净?度不应低于8—级平面布置、人员净!化、物流净化、室】内装修应符合现行国!家标准?洁净:厂房设计规范—GB 50073的!有关规定
—
》 , 4 整理厂房!的洁:净房间地面》宜采用?环氧自流平地—面、聚氯乙烯(【PVC)膜材料或】水磨石地面地—面应采取防》静电措施
—
8.—4.2 其他【建(构?)筑:物的地?面及装?。修应符合下列规定
!
— 1 》 厂:房地:面与室外自然地坪高!差宜大于或》等于300m—m
》
》 2: 有洁净要求【的房间地面应满足工!艺生产要求地面应】平整、?耐磨、易《。清洗、不易积聚静电!。、避免眩光、不开裂!。踢脚不应突》出墙面地《。面,垫层宜?配筋潮湿地区—。应有:防潮措施《
— 3 洁净!房间的门窗、墙面、!顶棚装修应》符合现行国家标准洁!净厂房设计规范GB! 50073的有关!规定
! 4 普【通区:辅助房间地面应根据!使用性质和要求【。选,用室内装修应—符合现行国家标准】建筑内部装修—设计防火规范GB】 5:022?2的有?关规:定
?