安全验证
8.4 】 洁净?设计及?装修 》 》8.4.1  还原!、,整理厂房洁净—设计及装修》应符合?下列规定 》     !1  ?半导体级多晶—硅还原厂房的还原炉!室应按洁《净厂房进行设—计,空气:洁净度等级不应【低于8级平面布置】、人员净《化,、物:流净化、室内装修应!符,合现行国家标—准洁净厂房设计规】范GB 5007】3的有关规定当设】有通往整理厂房的连!廊时:连廊:的空气洁净度—等级和处理方法应】。与还原炉《室的要?求一致宜符合本规】范附录C《的规定 —    — 2  还》原炉室地面宜采用耐!磨的洁净《地面当?。。采用水磨石地面时】应采:取防静电措》施墙面宜采用外贴】洁净板或防静电树脂!涂料 》    — 3  《整,。理厂房空气》洁净度?等级及?洁净区?划分应按工艺要求】设置空气洁净—度不应低《于8级?平面布置、人—员净化、物流净【化、室内装修应【符合现行国家标准洁!净厂房设计规范GB! 50?073?的有关规定 【。 ,     4 ! 整:理厂房的洁净房【间地面宜采用—环,氧自流平地面—、聚氯乙烯(PVC!)膜材料或》水磨石?地,面地:面应采取防静电【措施 8!.4.2《  其他建(构)】筑物的地《面及装修应符合【下列规定《 , ?     1 】 厂房地面与室外】自然地坪高》差,宜大于或等于—30:0mm?    ! 2 ? 有:洁净要求的》房,间地面应满》足工艺生《产要求地《面应平整、耐磨、易!清洗:、不易积聚静电、避!免,眩光、不开裂踢【脚不应?突出:墙面地?面垫层?。宜配筋潮湿地区应有!防潮措施 】 :。    3》  洁净房》间的门窗、墙面、】顶棚装修应》符合现行国家—标准洁?。净厂房设计规—范GB 50—073的有关规定 !    】 4:。 ,。 普通区辅》助,房,间地面应《根据使用性质和要求!选用室内装修应符】合,现行国家标准建筑】内部:装修设计《。防火规范G》B 502》22:。的有关规定 【