8.—4, , 洁净?设计及装《修
!8,.4.?1 还原、整理】厂房洁净设计及装】修应:符合下?列规定
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《 1 》半导体级多》晶硅还原厂房的还原!炉室应按洁净—厂,房进行设计空气洁净!度等:级不应低于8—级平面布置、人员】净化、物流净化、室!内装修应符合—现行国家标》准洁净厂房设计规】。范GB 50073!的,有关规定当设有通】往整理厂房》的连廊时连》廊的空气洁净度等级!和处理方法应—与还原炉室的要求一!。致宜符合《本规范附录C的规】。定,。
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: 2 还】原炉室地面宜采用耐!磨的洁净地面当【采用水磨石地面时】应,采取防静《。电措:施墙面宜采用外【贴洁净板《或防静电树脂涂料
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3— 整理厂房空气洁!。。净度等级《及洁净区划分—。应按工艺要求—设置空气洁净度不】应低于8级平面布】置、人员净化、物】流净化、室》内装修应符》合现行国《家标准洁净厂房设】计,规范GB 500】7,3,的有关规定
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【 4 整理厂房】的洁净房间》地,面宜:采用环氧自流平地】面、聚氯乙烯—(PVC)膜材【料或:水磨石地面地面应】采取防静《电措施
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8.4—.2 其他建(】构)筑物的地面及】装修应符合下列规】定
!。 1 厂—房地面与室外自【然地坪高差宜大于或!等于300》mm
! , 2 有洁净】要求:的房间地面应—。满足:工,艺生产要求地面应平!整、耐?磨、易清洗、不易】积聚静电、》避免眩光《、不开裂踢脚不应】突出墙面《地面垫层宜配筋潮湿!地区应有防潮措施】
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? 3?。 洁净《房间:的门窗、墙面、顶棚!装修应符合现—行国家标准洁—净厂房设计规范GB! ,50073的有【关规定
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4 】普,通区辅助房间地面】应根据使《用性:质和要求选用室内装!修应:符合现行国》家标准建《筑,内部装修设计防火】规,范GB 5022】2,的有关?规定
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