7.5【  纯水制备 ！ 7.5.！1  硅《芯、石？墨，件，。及硅料清《洗应：。采用：纯水 》 7.5.2 ！ 纯水站位置应满足！工艺总体布局的要】求并应？。就近用水设》。备，布，置 — 7.5.》3  纯《水水质指标不应低】于，表7：.5.3的规定 ！ 表7.5】.3  纯》。水水：质，指标 【 】 ： 【     注表中！第，11项～第34项采！用电：感耦合等离子体质谱！(ICP／MS)】检测 《 7.5.4！。  纯？水储存和分》配应符合下》。列规定 》 ： ，     1  】纯水储存罐》体和：输送管道《。材料应满足》生产工艺的水质要求！宜选择洁净聚氯乙】烯，管(Cle》an-PVC)【。。、聚偏？二氟：。乙烯管(PV—DF)等管材—。管道附件《与，阀门等应采用与管道！相同：的材质 】 ，    《2  纯水输送【管道系统应采用【循环方式设计—和安装？时不应出现使水【滞留和不易清洁的部！位循环干管的流【。速宜大？于，1.5m／s—不循环的支管长度】不应大于管径—的6倍 《 ，。。 ？ ，    《3  纯水储罐和输！送系统应设置—清，洗系统 》 7.5.5！  纯水《制备、储《存和分配应符合现】。行国家标准电子工】业纯水？系统设？计规：范GB 5》0685的有关【规，定 ： ，