7》。.5  纯水制备】 ： 《 ， 7.5《.1  硅芯、石墨！件及硅？料清洗？应采用纯水 】 7.5.2】  纯水站位置应】满足工艺总体—布局：的要求？并应就近用》水设备布置 — 《 7.5.3  】纯水水质指标—不应低？于表7？.5.3的规—。定 【表7.5.3—  纯水水质—指标 【 ！ ？ ？  》   注表》中第1？1项～第《34项采用电感耦合！等离子？体质谱？(ICP《／MS)检测 】 7.5.4！  纯水《储存：和分配应符合—下列规定 ！ ，    1  纯】水储：存罐体和输》送管道材料应—满足生？产工艺的水质—要求宜选择》洁净聚氯乙》烯管：(Clean—-，P，VC)、聚偏—二氟乙烯管》(PVDF)等管】材，管道附件《。与阀门等《应采：用与管？道相同？的材质 【  ？ ，  ：2  纯水输送管道！。系统应采用循环【方式设计和安装时不！应，。出，现使水滞留和—不易清洁的部位循】环干管？的流：速宜大？于1.5m／s不循！环的支管长度—。不应大于管径的6倍！。   】  3  纯水【储罐：和输送系统应设【置清洗系统 】 7.5.5 ！ 纯水制备、储【。存，和，分配应符合现—行国家标准电子工】业纯水系统》设计规范《G，B 50《。685的有关—规定 《