。 7.5 】 ，纯水制备《 】7.5.1 — ，硅，芯、石墨《件及硅？料清洗应采用—纯水 7！.5.2  纯水站！位置应满足工艺【总体布局的》要求并应《就近用水《设备布置 【 7.》5.3  》纯，水水质指标》不应低于表7.5.！3的规定 】 表7.5.3】  纯？水水：质指：。标 【 — ， — 《     注表中】第，11项～《第34项采用电感】耦合等离子体—质谱(ICP／【MS)检测 【 7》.5.4  —纯水储存和分—配应符合下》列，规定 【     1  纯！水储：存罐体和输送管道材！料应满足生产工艺】的水质要求宜选【择洁：净聚氯乙烯管—(Cl？ean-《PVC)、聚偏二氟！乙烯管？(PVDF》)等管材《管道附件《与阀门等应采用与管！。道相同的材质— —    2》  纯？水输送管《道系统应采用循环】方式设？。计和安装时不—。应出现使水滞留【和不易清洁的部【位循环干管》的流速宜大于1.5！m／s？不循：环的支管长度—不应大于管径—的6：倍   ！ ， 3  纯水储罐和！输送系统应设置清】洗系统 】 7.5.5  纯！水，制备、储《存和：。分配：应，符合：现行国家标准电子】工业纯水《。系统设计规范GB ！。50685的有关】规定：。 ：