7.—5  纯水制备【 【 7.？5.1 《 硅芯、石墨件【及硅料清洗应采用纯！。水 7】.，5.2 《 纯水站位置应满】。足工艺总体布局的】要求并应就近用水】。设备布置 】 7.《5.3  》。纯水：水质指标不》应低于表7.5.3！的规定 ！表7.5.3 【 纯水水质指标 ！ 》 — ？ —     —注表中第《11项～第34【项采用电感耦合等】离子体？质谱(ICP／M】S)检测 》 7.【5.4  纯水【储存和？分配：。应符：合下列规定 】 ：。     1  】纯水储存罐体和输送！管道材？。料应满足生产—工艺的水质要求宜选！。择洁净聚氯乙—。。烯管(Clean】-PVC)、聚偏】二氟乙烯管》(PVD《F)：等管材？管道附件与阀门【等应：采用与管《。道，相同：的材质 》。 《 ，   2  —纯水：输送管道系统应采】用循：环方式？。设计和安装时—不应出现使水滞【。留和不易清洁—的部：位循：环干管的流速宜大于！1.5m／s不【循环的支《。管长度不应大于管】径的：。6倍 【 ，  ：。  3  纯水储】罐和输？送系统应设置清洗系！统 ？ ， 7.5.5】  纯水制备—、储存？和分配？应符合现行国—家标准电子》工业：纯水系统设计规【范GB 5068】5的有关规定 【 ，