7.—5  ？纯水制备 【 7.5.！1 ： 硅芯？、石：墨件及？硅料清？洗，应采用纯《水 》 7.5.2  ！纯水站位置应满足】工艺总体布》局的要？求并应就《近用水？设备布置 》 ？ 7.5.3 】 纯水水质指—标不应低于表7.】5.3的规定— —表7.5.3 【 纯水？水质指标 》 ， 【 ！    ！ 注表中《第11项～》第34项采用电【。感耦合等离子—体质谱(《ICP？。／MS)检测 【 7.5.！4  纯水储存【和分配应符》。合下列规定》 ？ ，     1 】 纯水储存》罐，体和输送《管道材？料，。应满足生产工艺的水！质要求宜选》择，洁净聚？氯乙烯管《(Clean-PV！C)、聚偏二—氟，乙烯管(P》V，DF)等管》材，管道附件《。与阀门等应》采用与管道相—。同的材质 ！    《 2  纯水—输送管道系统应采用！循环方式设计和安装！时不应？出现使水滞》留，和不易清《洁的：部位循环干管—的流速宜大于—1.5m／》s不循环的》支管长度不》应大于？管径的6倍》  【   3《  纯水储》罐，和输送系统应设置清！。。洗系统 【 ， 7.？5.5 《 纯水制《备、储存和分配应】符，合现行？国家标准电子工业】纯，水系统设《计规范GB 50】685的《有，。关规：定 ？