， ： 6.5  半【导体材料制备 】 6.】。5.1  》制备多晶硅产—生，的废触媒应按危【险废：物安：全处置硅《渣、水解《物及废水中和渣应】按，一般工业固》体废物贮存 【 ？ ，6.：5.2 《 氯化锗蒸》馏残：渣应综合利用 】