6》.5  半》导体材料制备 ！ ， 6.5【.1  制备多晶硅！产生的废触》媒应：按危险废物》安全处置硅渣、【水解物及废水中和渣！应按一？般工业固体废—物贮存？ 6.5！.2  《氯，化锗蒸馏残渣应【。综合利用 —