。 《6.5 《 半导体材料—制备 ？ 6.！5.1  制—备多晶硅产生的【废触媒应按危—险废：物安全处《置硅渣、水解—物及废水《。中和渣应《按一般工业固体废物！贮存 — 6.5.2  ！氯化锗蒸馏残渣【应综合利用 【