6.5 】。 半导体材料—制备 》。 ：。。 6.5.【1 ： 制：。备，多晶硅产生》的，废触媒应按》。危险废？物安全处置》。硅渣、水解物—及废：水中：和，渣应按一般》工业固？体废物贮存 ！ ， 6.5.2  】氯化锗？蒸馏残？。渣应综合利用 】