？ 6.5  半导体！材，料制备 《 6】.，。5.1  制备【多晶硅产生》的废触媒应按危【险废物安《全处置硅渣、水解】物及废水中和渣【应按一般工业固体】废物贮存 — ， 6《.5.2  氯【化锗蒸馏残》渣应综合利用 】