6.5【  ：半导体材料制—备 ？ ？ 6.5.【1  制《备多晶硅产》生的废？触媒：。应按危险废物—安全处置硅渣、水】解物及废水中和渣】应按一般工业—固体废物贮存 】 ？ 6.5.》2  氯化锗蒸【。馏残渣应《综合利用《 ， ，