6.5【  半导体材料制备！ 》。 6.5.1 ！ 制备多晶硅产生】的废触媒应按危险废！物，安，全处置硅《渣、水解物及废水】中，。和渣应按一般工业】固体：废物贮存 【 ，。 ， 6.？5.2  氯化锗】蒸馏残？渣，应，综合利？用 ？