《5.5 《 ，半导体？材料：制备 《 ？。 5.5.【1  硅、》锗材：料制备的生产—废，水处理？应符：合下列要求 【    【 1  制备多晶】硅的生产废水—应中：和处：理后回用或达标【排放 】    2 —。。。 硅片加工过程产】生的浆料应》回收利用 —    【 3  制备氯【化锗产生的蒸—馏残液、水解母液以！及废气淋洗液应中】和处理 》    【 4  《单晶硅、《单晶锗酸《洗产：生的酸性《废气：淋洗液应中》。和处：理 ？     】。5 ： 产品检《测产生的《含铬废？液必：须单独？收集或回用不能【返回工艺或作—其他利用的》含铬：废液：中的总？铬及六价《铬必须达《。标后再送全厂污水】处理站进一》步处理 ！5，.5.2《  制备砷化—。镓产：生的含砷《废，。水(液)必须单【独收集且应》首先：回收砷；不能—回收时应将三价砷】转变为五价砷—再进：一步进行脱砷净【化处理？ ：