： ， ，5.5  半—导体材料制备—。 》 ： 5.5.》1  硅、锗材料制！备的生产废水处【理应符合下列要【。。求 ？ 《。    1》  制备多晶—硅的生产废》水应中和处》理，。后回用或《。达标排放 》 ？     2【  硅片加工—过程产生的浆料【应回收利用》 —    3  【制，备氯化锗产生—的蒸馏残液、—水解母液以及废气淋！洗液应中和处理 ！ ，   》  4  单晶硅、！单，晶锗酸洗产》生的酸？性废气淋洗》液应中和《处理  ！   ？5  产品检—测，产生的含《铬废液？必须单独收集或【回用不能返回—工艺或作其他利【用，。的含铬废液中的【总铬及六价铬—必，须达标后再送—全厂污水处理站进】一步处理 — 5.5.】2  ？。。制备砷化镓产生的】含砷废水《(液)必须单独【收集且应《首，先回收？砷，；不能回收》时应将三《价砷转变为五—价砷再进一步—进行脱砷净化处理】 ：