： 11.4—  热压《及涂层表面》。处理 — 1》1.：4.3  涂层表】面处：理的化？学气相沉积炉成套控！。制装置在线可—调温度、压力及沉积！时，间如何正确反—映基体？温度及精《细调：节是：。衡量该装置性—能的要点 —