11.4 ！ ，热压及涂层表—面，处，理 》 11.4.！3  涂层表面【处理的化《学气相？沉积炉？成套：控制装？置在线可《调温度？、压力？及沉积时间如何正】确反映基体温—度及精细《调节是衡量该装【置性能的要点 【 ，