11.4 ！ 热压及涂层表面】处理 【 11.—4.3  涂层【表面处理的化学气相！沉积炉成套》控，制装置？在线可调《温度、压力及沉【积时间如何正确【反映基体《温度及精细调节是】衡，量该装置性能的要】点 ？