9》.4 自动控【制
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9《。.4.1 》 洁净厂《房设置一套较完整】的自动监控装置对】确保洁净厂房的正常!生,产和提高运行管理水!平十分有《利但建设《投资增加各类洁净】厂,房内包括洁净—室空:气洁净度《、温度和湿度的【监控洁净室的—压差监控高纯气体、!纯水的?监控:气体纯度、》纯水水质的监—测等的要求是不同】的并且各行各业的】。洁净室(区)的规】模、:。面积也是不同的【所以自动《监控装置《的功能应视工程具体!情况确定宜设计成】各种类型的监测、控!制系统只有相当规模!的洁净厂房宜—设,计成集散式》计算机控《。制和管理系统为【此,本次:修订将本条改—为,。推荐性条《。文
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9.4.2 !净化空?调系统的空气—过滤器?随运行?时间的增加阻力逐】渐增大?为保持送风风量【经常手动调》节系统中的风阀以】。增加风量调整—很,麻,烦;在空气调节系统!调试中系统启动时为!使风机空载启动首】先将风?机出口处风阀关【闭风机?启动后由于风阀【上承受压力很—。大打开十分》困难当?采用空气过》滤器前后《压力差的《变,化控制送风机—。的变频?调速:装置后送风》量的调节变得十分】容,易送风压力稳定同】时洁净室净》化空调系《。统的送风机采—用变频调速后节能十!分显著
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9.4.【3 ?为避免?净化空调系统—因风机停转无风或超!温时:电加热器继续—送电加?热会造成设备—损坏甚至发生火【灾本条强制性规【定应设置无风、【超温断?电等:。。保护装置
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