？ 9．4  自【动控制 ！ ：9．4．1》  洁？净厂：房，设置一套较》完整的自动监—控，装置对？确保洁净厂房的【正常生产和提高运】行管理水平》十，分有利但建设投【资增加？各类：。洁净厂房《内包括？洁净室空气》洁，净度、温《度，和湿度？的监控洁净室的压】差监：控高：。纯气：体、纯水的监—。控气：体纯度、纯水水【质的监测等的要【求是不？同的并且各行各业的！洁净室（区》）的规模《、面积也是》不同的所以》自动：监控装置的》。功能应视工程—具体情况《确定宜？设计成各种类型【的监测？、，控，。制，。系，统只有相当规模【的洁净厂房宜设【计成集？散式计算机控制和管！理系统为《此本次修订将本条】改为：推荐性条文 — 9．4】．2  净化—空调系统的空气【过滤器随运行—时间的增加阻力逐】渐增大？为保持送《风风量经《常手动调节系统【中的风阀以增—加风量调整很麻烦；！在空气调节系统调】试中系？统启动时为》使风机空《载启动首《先将风机出口处风阀！关闭风机启》动后由于《风阀上承受压力很】大打开十分困难当】。采用空气过》滤器前后压力差的变！化控：制送风机的变—。频调速装置后—送风量的调》节变得十分容—易送风压力稳定同时！洁净室净化空—调系：统的送风机采—用变频调速后—节能十？分显著 ！9．4．3  为】避免净化空》调系统？因风机停转无风或超！温时电加热器继【续送电加《热会造成《设，备损：坏甚至发生火灾本】条强：制性：规定应设置无风、超！温断电等保护装置 ！ ，