9.—4 自动》控制:
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9.4.1【 , 洁净厂房设置一】套较:完整的自动》。监控装置对》确保洁净厂房的正常!生,产和提?。高运行管理水—平十分有利但建设】投资:增加各类洁净厂房内!包括洁净室空气洁】净度、温《度和湿度《的监控洁净室的压】差监控?高纯气体、纯水的监!控气体纯度、纯【水水质的监测—等的要求是》不同的并且各行各业!的洁净室(》区)的规模、—。面积也?。是不同的《所以自动《监控装?置的功能应视工程】具体情况确定宜设计!成,各种类型的监—测、控制系统—只有相当规模的洁】净,厂房宜设计成集散式!计算机控制和管理】系统为此《本次修订将》本条:改为推荐《性条文
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?9.4.2 — 净化空调系统【的空气过滤器随【运行时间的增—加阻力?逐渐增大为保持送风!。风量经常手动调节系!统中的风阀》以增:加风量?。调整很麻《烦;在空气》调节系统调》。试中系统启动时为使!风机空载启》动首先?。将风:机出口处风阀关【闭风:机启动后由于风阀】上承受压力》很大打开十分困【难当采用《空,气过滤?。器前后?压力差的《变化控制送风机的】变频:调速装?置后送风量的—调节变?得十分容易送风【压,力稳定同《时洁净室净化空【调系统的送风机采用!变频调速后节—能十分?显著
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9.4】.3 为避免【净化空?调系:统因风?机停转无风或—超温时电加热器【继,续送电加热会—。造成设备损坏甚至发!生火灾本条》强制性规定应设置无!。风、超温断电—等保护装《置
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