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6?.3: 气流流型和【送风量?
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【6.3.1 — 洁净室《的气流流型应考虑】避免或减少涡流【这样可以减少—二,次气流有利于迅速有!效地排除粒子
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—对于空气洁净度【要求不同的洁净室(!区):所采用的气流流型】亦应不同《近年在电子工厂洁】净厂房或医》药工业洁净厂—房内:为,减少建设工》程造价、降》低能量消耗常常采用!同,。时具有单向流—。和,非单向流的混合【流洁:净室即使在微电子】生产洁净厂房中【要求1级~3级的空!。气洁净度等》级的生产环境—也采用混《合流洁净室即—在洁净厂房的洁净】生产:区采用5级》。仅在局部或微—环境内采《用1级~《3级根据上述—。情况本?条进行了新的规【定并修改为》推荐性条文
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6.《3.2 洁—净室(区)的—。。送风量是确保其【正常:运行的基本条件本】条规定的洁净室【。(区)送风量应取三!项中:最大值?是多年来国内外【的经验?总结如果不是“最大!值”则将使建造后】。的洁净室达不—到所要求《的洁净度等级或环境!条件达不《到要求或作业人【员健康得《不到保障为》此本条规定为—强制性?条文:
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6.3.3 【 洁净室送风—量计算所用的数据是!参照国际标准洁净】室及相关《受控:环境第四部分设【计、施工和启动IS!O 14644【-,4-2001中【表B.2而编制的】其中换气次数系【根据我国实际—情况确?定的
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(1】。。), 表6.3.3【空气:。洁净度?等级系指静态而【。。言其编制理由如下
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》 1?) 工程《。施工前?。的空气洁《。净度测?试一般都是在空态】或静态下进》行的;
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2)!。 国内外标准中大多!已明确规定按静态进!行空气洁净度—测试:如果设计时业主提】出须按?动态进行验收时则】另行处理
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— (2?。) 参照已经发【布的国际《标准洁净室》及相关受控》环,境第四?部,分设计、施工和【启动ISO —14:644-4中对【微电子?洁净室、医药工业】洁净室?的送风量的规—定以及在本规范修订!过程中对国》内已投入《运行:的各类洁《净厂房实际》运行状况的调查研】究经:分,析表明洁《。净室及相关受控环】境,第四部分设计—、施工和《启动ISO 14】644-4-2【。001中表B.2对!不同等级的洁—净室送风量、—平均风速的相关数】据基本合《理编:写组结合《国内的?实际状况作了必要】的调整?现将表B.2摘【录,于表8
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表8 【微电子洁净室实例】
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注《1 制定最佳设计】条件之前《首先应明确使用环境!的,ISO级《。。别有关的《。占,用状:态;
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2 气流流!型符:号的意义U为单向】流流型;N为非【单向流流型M为混合!流,流,型,(单向流和非单【。向流的组合流型【);
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《3 平均风速通常适!用于单向流流型单向!流平:。均流速大小与被控制!空间的?形状:和热气流温》度有关?单,向流流速不》是指过滤器面风【速;
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4 ?单,位面积送风量适用于!非单向?流流型和混合—流,流型单?位,面积送?风量的推荐值适用于!层,高为:3,。。.0m的洁净—室;
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5 在洁净室【设计中须《考虑密封措施;【
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6 对于污染【源以及污《。染区可用隔板或空】气幕予以有效分隔
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!由于本条规定—。的洁净?。送风量主《要是依据目前国【内外的实际状况【的经验总结各类工业!产品的生产工艺【的差异和不断进【。步使其?洁,净室的送风量有【所差异所以》本次修?订将本条改为推荐性!条文
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