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《6.3  气流【流型和送风量 !。 》6,.,3,.1  洁净室的气!流流型应考虑避免】或,减少涡流这样—可以减少《二,次气流有利于—迅速有效《地排除?粒子 ?   【  对于空气—。洁净度?要求不同的洁净室】。。(,区,),所采用的气流流【型亦应不同近年在】电子工厂洁净厂房】或医药?工业洁净厂房内为减!少建设工《程造价、《降低能量消耗—常常采用同时具有】单向流和非单向【流的:混合流洁净室即使在!微,电子:生产洁?净厂房中要》求1:级~:3级的空《。气洁净度等》。级的生?产环境?也采用混合流洁净室!即在洁?净厂房?。的洁净生产区采用5!级仅在局部或微环境!。内采用1《。。级~3级《。。根据上述情况本条】进行了新的规定【并修改为推荐性条文! —6.3.2  洁净!室(区)的送—风量是确保其—。正常运行的基本【条件本条《规定的洁净室(区】)送风量应取三项中!最大:值是多年来国内【外的经验总结如【果不是“最大值【。”则将使建》造后的洁净室—达不到所《要求的洁《净度等?级或环境条件—。达不到?要求或作业人员【健康得不到保障为此!本条规定为强—制性条文 】 6.3.3 】 ,洁净室送风量计算】所用的?数据是参照》国际标准《洁净室及相》关受控环《境第四部《分设计、施工—和启动?ISO 146【44:-4:-2001中表B.!2而编制的》其,中换气次数系—根,据我:国实际情况确定【。的 《     【(1) 表6—.3.3空》气洁净度《。等级系指静态而言其!编制:理由:如下 【     1) 工!程施:工前的空气洁净度测!试一:。般都是在空态—或静态下进行的【; ? , :     2—) 国内外标准中大!多已明?确规定按静态—进,。行空气洁净度测【试如果设计》时业:主,提出须按动态进【行验收时《则,另行处理 】     (【。2) 参照已—经发布的国际标准洁!净室及相关受控环境!第四部分设》计、施工和》启,动IS?O 1464—4-4中对微电子】。洁净室?、医药工业洁—净室的送风》量的规定以》及在本规范修订过程!中对国内已投入运】。行的各类《洁净厂房《实际运行状》况的调查《研究经分析表明洁净!室及相关《受控环境《第四部?分设计、《。。施工和启动ISO !14644》-,。4-20《01中表B.2对不!同等级的洁净室送风!量、平均风速的【相关数?据基本合理编—写组结合国内的【实际状况《作了必要的》调整现将表B—.2摘录于表8 】 , 表8 【。微电子洁净室实例 ! 【 , 注1 制定最!佳设计?条件之前首先—应明确使《用环:境的ISO》级别有关的占用【状态; 》 2》 ,。。气流:流型符号的意—义U为?单向流流型;N为非!单向:流,流型M为混》合流流型(》单,向流和非单》向流的?组合流型); 【 3 平均!风速通常适用于单向!流流型单向流平【均,流速:大小与被控制—空间:的形状和《热气流?温度有关单向流流速!。不,是指过滤《器面风速; — : 4《 单:位面:积送风量适用于【非单向流《流型和混合流—流型单位《面积:。送风量的推》荐值:适用于层高》为3.0m的洁净】室; ? , 5 在洁净!室设计?中须考虑密封措施;! 6 对!于污染源《以及:污染区可用隔板【或空气幕予以—有效:分隔  !   由于本条规定!的洁净送风》量主要是依据目【前国内?外的实际状况—的,经验总结《各类工业产》品的生产工艺的差】异,和不断?进步使其洁净室的送!风量有所差异所【以本次修订将本条】改,为推荐性条》文 ?