安全验证
6》.3  《气流流?型和送风《量 】 6.3.》1  洁《净室的气流流—型应考?虑避免或减少涡【流这样可以减少二】次气流有利于迅速】有效地排除粒子 】   【  对于《空气洁净度要求【不同的洁净室(区)!。所采用的气》流流:型,亦应不同《近年在电子工厂洁】净厂房或医药—工业洁净厂房—内为减少建设工程造!价、:。降低:能量消耗《常常采用同》时具有单向流和非】单向:流的混合《流洁净室即使在微】电子:生产洁净厂》房,中要求1级~—3级的空气》洁,净度等级的生产【环境也采《用混合流洁》净室即在洁净厂房的!洁净生产区采用【5,级仅在?局部或微环境内【采用1级~3级根据!上述情况本》条进行了新的规定并!修改为推荐性—条,文 6.!。3.2  洁—净室(区)的—送风量是确保其【正常运行的基本条】件本条?规定的洁《净室(区《)送风量应取三项】中最:大值是多年来国内外!的经验总结》如果不?是“最大值”则将使!建造:后,的洁净室达不到【所要求的《。洁,净度等?级或环境条件达不到!要求或?作业人员健康得【不到保障为此本条规!定为强制性条文 】 6.3】.3 ? 洁净?室送风量计算所用】的数据是参》照,国,际标准洁净》室及相关受控环【境第四部分》设计、施工和启动】ISO 《14644-4【-,2001中表—B.2?而编制的其中—换气次?数系根据我国实际情!况,确定的 【   《  (1《) 表6.3.【3空气洁净度等级】系指静态而》言其编制理由—如下  !   1)》。 工程?施工前的空气洁净度!测试一般都是在【。空态或静《态,。。下进行的; —   【  2?) 国内外标准中】大,多已明确规定—按静态?进行空?气洁净度测试—如果设计时业主提】出须按动《。态进行?。验收时则另行处【理  】。   ?(2) 参照已经】发布的国际标—。。准洁净室及》相关:。受控环境第四部【分设:计、施工和启动IS!O 1464—4-4中对微电【子洁净室、医药【工业洁净室》的送风?量的规定以及—在本规范修订—过,程中对国内已投【入运行的各类洁净厂!房实际?运行状况的调查研】究经分?析表明洁《净室及相关受控环境!第四部分设计、施】工和启动《ISO 1》4644-4-【200?1,中表B.2对不同等!。级,的洁净?室送风量《、平均风速的相关数!据基本合理编—写组:结,合国内的实际状况】作了必要《的调整?现将表B《.2摘录于表8【 表8 !微,电子洁净室实例 ! — 注1 【制定最?佳设计条件》。。之前首先应明确使用!环境的ISO级别有!关的:占用状态;》 , 2— 气流流型符号【的意义U为》单向流流型;N为非!单向流流型M为混合!流流型(单向流【和非单向流的—组合流型);— 》 ,3 平均风速通常适!用于单向流流—。型单向流平均流速大!小与被控制》空,间的形状和热气流温!度有关单向》流流速不是指过滤器!面风速; 【。 4 单位【面积送风量》适用于非单向流流】型和混合流流型单位!面积送风量的推荐值!适用于层高为—3.0m的洁净室;! 5 在!洁净:室设计中《须,考虑密封《措施; 》 6》 对于污《染源:以及污染《区可用?隔板或空气幕—。予以:有效分隔 》    】 由于本条规定【的,洁净:送风量主要是—依据目前《国内外的实际状况的!。经验总?结各类?工业产品的生产【工,艺的差异和不断进步!使其:洁净室的送风—量有所差异所以本次!修订将本条改为推荐!性,条文 《