？ 6．3《  气流《流型和送风量 ！ ， 6》．3．？1  洁《净室的气流流型应】考虑避免《或减少涡流这样【可以减少二》次气流？有利于迅速有效地】排除粒子 【。  《   ？对于：。空气洁净度要求不同！的洁净室（区）所】采用的气流》流型：亦应不同近年在电子！工厂洁净厂》房或医？药工：业洁净厂房》内为减少建设工【程，造价：、降低能量》。消耗常？常，采用同时具》。有单向流和非—。单向流？的混合？流洁净室即使在微】电子生产洁净—厂房中要求1级～3！级的空气洁净度【等级的生产环境也采！用，。混合流洁净室即【在洁净厂房的—洁净生产《区采用5级仅—在局部或微环境【。内采用1级》～3级根据上述情】况本：条进行了新的规定并！修改为推荐》性条：。文 6．！3，．2：  洁净《。室（：区）的送《风量是确保其—正常运行《的基本条《件本条规定的—洁净：室（区）送风—量应取三项中—。最大值是多年来国内！外的经？验，总结如果不是—“，最大：值”则将使建造【后，的洁净室达不到【所要求的洁》净度等级或环境条】。件达不到要求或作】业人员？健康得？。不，到保障为此本条规】定为强？制性条？文 — 6．3《．3  《洁净室送风量—计算所用的数—据是参照国际—标准洁净《室及：相，关受控环境第四【部分设计《。、施工和《启动ISO》 14644-4-！2001中表B．2！而编制的其中换【气次数系根据我国】。实际情况确定的 】 ，。  》   (1) 表6！．3：．3：空气洁净度等—级系指？静，态而言？其编制理由》如下 ？ ？ ：   ？ 1) 工》程施工前的空气洁】净度测试一》。般都是在《空态或静态下进【行的； 《     ！2) 国内外标准中！。大多已明确规定【按静态进行空—气洁：净度测？试如果？设计：时业：主提出须按动态【进行验收《时则：另行处理 —     (！2) 参照》已经发？布的国？际标准洁净室及相关！受，控，环境第四部分设计】、，。施工和启动I—S，O， 14？。64：4-4中对微电子】洁净室、医》。药工业洁净室—。的送风量的》规定以及在本规范】修订过程《中对国内已投—入运行的《各类洁净厂房实际运！行状况的调查研【。究经分？析表明洁净室—及相关受控环境第】。四部分设计、施【工和启动IS—O 1？4，644-4-—2001中》表B．2对不—同等级？。的洁净室送风量、】。平，均风速的《。。相关：。数据基？本合：理编写组《结合国内的》实际状况作》了必要？的调整现将表B【．2摘录于表8 】 表8【 微电子洁》净室：实例 ？ 】 注1 制定】最佳设计《条件之前首先应【明，确使用环《境的ISO级别【有关的占用状态【。； ：。 《 2 ？。气流流型符号—的意义U为单向【流流型？；N：为非单？向流流型M为混合】流流型（《。单向流和非单向流的！组合流型《）； 《 《3， 平：均风速通常》适用于？单向流流型单向流】平均流速大小与被控！制空间？的形状和热气流温度！有关：单向流流速不是指过！滤器面风速》； ？ ： 4 单位—面积：送风量适用》于非单向流流型和混！。合，流流型单位面积送风！量的：推荐值适用》于层高为3.—0m的洁净室； ！ 5》 在洁净室》设计：中须考？虑密封措施； 】 6 对【于污染源以及污染】。区可：用隔板或空气幕【予以：有效分隔 》 ，    【 由于？本，。条规定？的洁净送风量主【要是依据目前国【内外：的实际状况的经验总！结各类工业产品的生！产工艺的差异—和不断进步使—其洁净室的送风量有！。所差异所以本次修】订将：本条改为推》荐，性条文 》