6.3 !气流流型和》送风:量
:
:。
6—.3.1 洁净室!的气流流型应—考虑避?免或减少涡流这样】可以减少二次气流】有利于迅速》有效地排《除粒子
! 对于空【气洁净度要求不同的!洁净室(区)—所采用的气流流型亦!应不同?近年在电子工厂【洁净厂房或医药【。工业洁?净厂房?内为减少《建设工程造价、降】低能量消耗常常【采用同时《具有单向流和非单】。向流:的,混合流洁净室即使在!微电子生《产洁净?厂房:中要求?1级:~3级?的空气洁《净度等级的》。生产环?境也采用混合流洁净!室即在洁《净厂房的洁净生产】区采用5级仅在局部!或微:环境内采用1—级~3级根》据上述情《况本条进行了新【的,规定并修《改为:推荐性条文》
6.】3.2 洁净室】(区)的送风量是】确保:其正常运行的基本条!件本条规《定的洁净室(区)】送风:量应取三项》中最大值是多—年来国内外的—经验总结如果不是“!最大值”则》将使建造《后的洁净室达—不到所?要求的洁净》度等级或环境条件】达不:到要求或作业人【员健康得不到保【障为此?本条规定为强制性条!文
》
6.3.3 】 洁净室《送风量计算所用的】数据是?参照国际标》准洁净室及》。相关受控《环境:第四部分设计、施】工和启动《ISO 《1464《。4-4-2》。0,。01中表《B.2而编制的【其中:换气次数系根据我国!实际情况确定—的
:
】。 ,(1:) :表6.3《.3空气洁净度等】级系指静态》而言其编制理由如下!
:
?
《 1) 工程—施工前的《空气洁净度测—。试一般都是在—空,态或静态下进行【的;
【。
, 2) 国】内外标准中》大多已?明确:规定按静态》进行空气洁净度【测试如果设计时业主!提,出须按?动态进行验收时则】另行处理
】
—(2) 《参照已经发》布的国际《标准洁净室及相关】受控:环境第四部分设【计、施工和启动IS!O 14644-】4中对微《电子:洁净室、医药工【业,洁净室?的送风量的规定【以及在?本规范?修,。订过:程中对国内已投入】运,行的各类洁净—厂,房实际运行状—况的调查研究经分析!表明洁净室及相关受!控环境第四部分设计!、,施工和启动I—SO 14644】-4-2001中】表B.2对》不同等级的洁—。。净,室送风量、平—均风速的相关数据】基本合理编写组结】。合国内的实际状况】作,了必要的调整现【将表B.2摘—录于表8
】
:表8 微电子洁净】室实例
】
《
注1》 制定最佳设计条件!之前:首先应明确使—用环境的ISO级别!有关的占《用状态;
【
?2 气流流型符号】的意义U为单向流流!型;:N为非单向流流【型M为混合流流型】(单:向流和非单向—流的组?合,流型);
》
:
3 平—均,风速通常适用—于单向?流流:型,。单向流平均流速大小!与被控制空间的形状!和热气流《温度有关单向流流】速不是指过滤—。器,面风速;
【。
4 单位面】积送风量适用—于非单向流流型和】混合流流型单—位面积送风量—的推:荐值适用于层高【为3.0m的洁净】室;
】5 在洁净》室设:计中须考虑密封措施!;
6 !对,于污染?源以及污染区—可用隔板或空气【幕予以有效》分,隔
:
】 由于本条规—。定的洁净《送风量主要是依据】目前国内《外的实际状况的经】验总结各类工业产品!的生产工艺的差异和!不断:进步:使其洁净室的—送,风,量有所差异所以【本次修订将本条【改为推?荐性条文
—