《6.3 《 气流流型和—送风量
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6.3.】1 洁净室的气】流,流型应?考虑避免或减少涡流!这样可以减少二次气!流有:利于迅速有效地排】除,粒,子
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》对,于空气洁净度要求】不,同的:洁净:室(区)所采用【的气流流《型,亦应不同近年—。在电子工厂洁—净厂房或医药—。工业洁净厂房内【为减少建设工程造】价、降低能量消耗】常常采?用同时具有单向流和!非,单向流的混合流洁净!室即使在《微电:子生产洁净》厂,房中要?求1级~3级的空气!。洁净度等《级的生产《环境:也采用混合》流洁净室即在—洁净厂房的》洁净生产区采用5】级,。仅,在局部或微环境【内采用1《级~3级根据—。上述情况《本,条进行了新的规定】并修:改为推荐性》条文
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6.《3.2 《 洁:。净室(区)的—送,风量是确保其正常运!行的基?。本条件本条规定的】洁净:室(区)送风量【应取三项中最大值是!多年来国内外的【经验总结《如果不是《。。“最:大值”则将使—建造后的洁净室【达不到所要求—的洁净度等》级或环境《条件达不到》要求或作业人员健】康得不到保障为此本!条,规定为强制性—条文
】6.3.3 【洁净室送风》量计算所用的数据】是参:。照国际标准洁净【室及相?关受控环境》第四部分设计、施】工和启动IS—O :14644-4【-,2001中表B.2!而,编制的其中换气次数!。系根据我国实际【情况确定的
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: 《(,1) 表6.—3.3空《气洁净度等级系【指静态而言其编制】理由如下
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》 1) 工程【施工:前的空气洁净度【测试一般都是—在,。空态或静态下—进行的;
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2【) 国内外标准【中大多已明确—规,定按静态《进行:空气洁净度》测试如?。果设计时业》主提出须按动—态进行?验收时则另行—处理
】 : (2《) 参?照已经发布的—国际标?准洁净室《及,相关受控环境第四】部分:设计、施工和启动】ISO 1》。。4644《-4中对《微,电子洁净室、医药工!业洁净室的送风量】的规定以及》。在本规?。范修订过程中对国内!已投:入运行的各类洁【净厂:房实际运行状—况的:调查研究《经分:析,表明洁净《室及相关受控环境第!四部分设计、施工和!启动ISO 146!44-?4-:2001《中表B.2对不【同等:级的洁净室送风【量、平均风速的相关!数据基本《合理编写组结合国】内的实际状》况作了必《要的:。调整现将表B.2摘!录于表8
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表8 》微电子洁净室实例】
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注》1 制定最》佳,设计条件《之,前首先应明确使用环!。境的ISO级别有】关的占用状态;
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2 气流流—型,。。符号的意《。义U为单向流流型】;N为非《。单向:流流型?M为混合《流流型(单》向,流和非单向流—的组:合流型);
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3 平》均风速?通常适用于》单向流流型单—向流平?均流速大小与—被控制?空间的形《状和热气流温度有】关单向流流速不是】指,过滤器面风》速;
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4? 单位面积送风量】适用于非《单向流流《型,和混合流《流型单?位,面积送风量》的推荐值适用于层】。。高为3.0m的【洁净室;
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5 在—洁净:室设计中《须考虑密封措—施,;
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》6 对于污染源以及!污染区可《用隔板?或空气幕《予以有效分隔
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— 由于本—条,规定的洁净送—风量主要是依据目前!国内外?的实际状况的经验总!结各类工《业产品的生产工艺的!差,。异,和不断进步使其洁净!室的送风量有所差】异所以本次修订将本!条改为推《荐性条文《
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