安全验证
。 6.—3  气流流型和】送风量 》 6.】3,.1  洁净—室的气流流》型应:考虑避免或减少涡流!这样可以减》少二:次气流有《利于迅速有效地排】除粒子 —。 :     对于空气!洁净度要求不同【的,洁净室(区)—所采用?。的气流流型亦—。应不同近年在电【子工厂洁《净厂房或医药—工业洁净厂房—内为减少建设工程】造,价、降低能量—消,耗常常?采用同?时具有单《向流和非《单向流的混》合流洁净室》即使:在微电子生产洁净】。厂房中要《求1级~3级—的空气洁净度等级】的生产环境》也,。采用混合流》洁净室即《在洁净?厂房的洁净生产区采!用5级仅在》。。局部或微环境—内采用1级~—3,级根据上《。述情况本条进行【。了新的规定并修改为!推荐性条《文 【6.3.2  洁净!室,。(区)的《送,风量是确保其—正常运行的基本【条件本条《规定的洁《净室(?区)送风量》应取三项中最大值是!多年来?国内外的经验总结】如果不是《“最大值”》则将使?建,造后:的洁净室达》不到:。所,要求的?洁净度等级或环【境条件达不到要求】或作:。业人员健《康得不到保》障为此本条规定为】强,制性条文 ! 6.3.3  洁!净室送风量计算所用!的数据是《。参照国际标准—洁净室?及相关受控环境【第四部分设》计、施工《。和启动ISO 【1464《4-4-200【1中表?B.2?而编制的其中换气次!数系根据我》国实际情《况确定的 !     (—1) 表6.3.】3空气洁净》度等级系指静态而】言其编制理由如下 !   【  1) 工程【施工前?的空气洁《净度测试一般—。都是在空态或静态下!进行的; 》 ?     2) !国内外?标准中大多已明确】。规定按静《态进行空气洁—净度测试如果设【计时业主提》出须按动态进行验收!时则另行处理 【。 《     (2) !参照已经发布的国际!标准洁净《室及相关受控环境】第,四部分设计、施工和!。启动ISO 14】644-《。4中对微《。电子洁净《室、医?药工业洁净室的送风!。量的规?定以及在本规范修订!过程中对《。国,。内已投入运行的【各类洁净厂房实际运!行状况的《调查研究经分析表明!。洁净室及相关受控】环,境,第四部分设计、施工!和启动ISO 【14644-4-】2001中》表B.2对不同【等级的洁净室送【风量、平均风速的】相关数据基》本合理编写》组,结合国内的实际状况!作了必要的调—整现将表B.2摘录!于表8 】 表8 微电子洁净!室实例 】 》 , 注1 制定—最佳设计条件之【前,。首先应?明确使用环境的IS!O级:别有关的占用状态】; : 》2 气流《流,型符号的意义U为单!向流:流型;N为非单【向流流?型,M为混合流流—型(:单向流和非单向流的!组合流型)》; : : 3 平均风】速通常?适用:于,单向流流型》单,向流平均流速大小与!被控制空间的形状和!热气流温度有—关单向流《流速不是指过滤器】面,风速; 《 4 单位!面积送风量适用于非!单向流流《型和混合流流型单】位面积?送风量的推荐值适用!于层高为3》.0:m,的洁净?室;: 5【 在洁净室设计中须!考虑密封措》施; 【 6 ?对于污染源》以及污染区可—用隔板或空》气幕予以《有效分隔 》 ?     —。由于本条规定的洁】净送风量主要—是依据目前国—内外的?实际状况的》经验总结各类工【业产品的生产工【。。艺的:差异和?不断:进,步使其洁《净室的送风》量有所差异所—以本次修订将本【条改为推荐性条文 ! ,