6．—3  气流》流型和？送，风量 《 ， 6．【3．1 《 ，洁净室？的气流流型应考【虑，避，免或减少《涡流这样可以减【少，二次气流有利于迅】速有效？地排除粒子 【 ：     —对于空气洁净度要】求，不，同的洁净室（区）】所采用的气流流【型亦：应不同近《年在电子工厂洁净厂！房或医药《。工业洁净厂房内为减！少建设工程造—价，、降低能《量消耗常常采用【同时具有单》向流和非单向流【的混合流洁净—室，即使：在，。微电：子生：产洁净？。厂房中？要求1级《～3：级的空气洁净—度等级的《生产环境也采用混】合流洁净室即在洁净！厂房的洁净》生产区采用5级【仅在局？部或：微环境？内采用1级～—3级根据上述情况】本条：进行了新《的规定并修改—为推：荐性条文 】 6．《3．2  洁净室（！。。区）的送风》。量是确保其正—常运行的基》本条件本条规定的洁！净室（区）》送风量应取三项【中最大值是多年来】国内外的经验总结】如果不是“》最大值”则将—使建造后的洁净室达！。不到所要求的洁【净度等级或环境条】件达不到要》。求或作业人员健【康得不到保障—为此本条规定—为强制？性条文？ 《 6．3．3  ！洁净室？。送风量计算所—用的数据《。是参照国《际标准洁净室及相】关，受控：环境第？四部分设计、—施工和启动》ISO 1464】4-：。。。4-20《01中？表B．2而编制【。的其中换气次数系】根，据我国实际情况【确定的 】     (1【) 表6．3．【3空气洁净度等【级系指？静态而言《其编制理由如—下 ： 》    1) 【工程：施工前的空气洁净度！测试一般都是在空态！或静态？下进行的； 】  《   2) —国内外标准》中大多已明确规【定按静态进行—。空气：洁净度测试如果【设计时业主提出须】按动态进行验—收时则另行处—理 —     (2)】 参照已经发布的国！际标准洁净室及【相关受控环境第四部！分设计、《施工和启动ISO】 14644-4】中对微电子》洁净：室、医药工业—洁，净室的送风量的【规定以及在本规范】修订过程中对国【内已投入《运行的各类洁净厂房！实，际运行状况的调查研！。。究经分析表明—洁净室及相》关受控环境第四部分！。设计、施《工，和启动IS》O 14644【-4-20》01中表B．2对不！同等级的洁净室送】。风量、平均风速【的相关数据基本合】理编写组结合国【内的：实际状况作了必要】的调整现将表B【．2摘录于表8 】。。 表8【 微电子洁》净室实例 【 》 注1 制】定最佳设计条件之】前首先应明确使用环！境的ISO级—别有：关的占用状态—； 2 ！气流流型符号—的意义U为》单向流流型；N为非！单向流？。流型M为混合—流流型（《单向流？和非单？向，。流的组？合流型）； 】 ，。。 3 平均风速通！常，适，用于单？向，流流型单向流平均流！。速大小与被控制空间！的形状和热气流温度！有关：单向流流速》不是指过滤器—面风：速； —。 ：4 单？位面积送风量适用于！非单向流《流型：和混合流流型单位面！积送风量《的推：荐值：适用于？层高为3《.0m的洁净室【； 5】 在洁净室设—计中：须考虑密封措施； ！ 《 6 对于污染【源以及污染区可用】。隔板或空气》幕，予以：有效分隔 【    — 由于本《条规定的洁净送风量！主要是？依据目前国内外【。的实际状况的经【验，总结各类工业产【品，的生产工艺的差异】和不断进步使其洁净！室的送风量有所差】异所以本次修—订将本条改为推【荐，性条文 《 ，