A.—3 洁净室主要】测试方法
【
?
A.《3.1 》风量或风速测试应符!合下列规定
】
【。1 对于单向【流洁净室采用室【截面平均风速和截面!乘积的方法确定【送风量测点位于【高效:。过,滤器出风面约150!。。mm~300—mm,垂直气流处的!截面作为《采,。样截面截面上测点】间距不宜大于0【.,6m测点数不—应少于4点所—有读:。数的算术平均值作为!平均风?速
! 2 对于非】。单向流洁净室采【用,风口或风管》法,确定送风量可按现】行国家标准通风与】。空调工程施工质量】验收规范GB 5】02:43规定的》方法执行
!
A.3.2 【 静压差《测,试应符合下》列规:。定
! :1, 静?压差的测定应在【洁净:室(区)的风速【、,风量和送《风均匀性《检测合格后进行【。并应在?所有的门关闭时【检测
?
!2 仪《器宜采用各种微【差压力计《仪表灵敏度应小于】1.0Pa
】。
A《.3.?3 : 已安装过滤—器检:漏测:试应符合下列规定
!
:
,
》 1 检漏方【法有光?度计法和粒子计数器!法
》
2 !在过滤?器上风侧《应引入?测试用气《溶胶在过滤器下【风侧用?光度计或粒》。子计数器的等动力】采样头放在距离被】检过滤器表面2【cm~3c》m处以5mm/【。s~1?。5mm?/s:的扫描速度移动并】应注意安装交接处】的扫描
】
,A,。.3.4《 , 密:闭性:测试:应用于?。确认有无被污染的】空气从相邻洁净【。。室(区?),或非洁净《。室(区)通过吊【顶、隔墙等表面或】门、:窗渗漏?入洁净室(区)【一般适用《于1级至5级的【洁,净,室(区)进行测试】采用光度《计法和?粒,。子计数器法进行【。测,试
?
:
A.3.5 !洁净度的检》测,应符合?下列规定
】
《 1 使用采】样量大于1L/mi!n的光学粒子计【数器在仪器选用【时应考虑粒径鉴别能!力、粒子浓度适用范!围和计数效率仪器】应有有效的标定合格!证,书,。
》
2 】最少采?样点数应按》下式计算
【。。
?NL=A0.5 】 ! (A.3.5】-1)
【。
式中NL最!少采样点;
!。
A!洁净室或《被控洁净区》的面积(m》2)
《
《 3 采】样点应均匀分布于洁!净室或洁净》区的整个面积内并位!于工作?活,动的高度活动高度宜!距地面0.》8m;每《。个采样点的最小采样!时间为1min【
《
? 4 每一采!样点的每次采—样量:应至少为《。2L采样量应按下式!。计算
》
! , 式中VS每—个采样点的每次采】。样量以L表示;当V!S很大时可使用顺序!采样法;
》
》 — Cn·》m,被测洁净室空气洁净!度等级的《。被测粒径的限值【(pc/m3—);
! 《 : 20在规》定被测粒径粒子的】空气洁净度等级【限值时?可测到的《粒子颗数(》。pc:),。
《
》 5 《当洁净?。室或洁?净区仅?有一个采样》。点时则在该点应至少!采样3次
》
A.3.!6 对《超出等?级,范围粒?子的检测《应符合下列》规定
—
《 1 在产品】生,产工艺有《要求时可按等级【粒径范围之外的粒子!。浓度规?定空气?洁净度?的水平此类》粒子的最大允许浓】度和检测方法—应由客?户与建造《商,。协商确定
【
》 2? 当需评价—小于0.《1,μm的粒子造成的】污染危险《时应采用符合—这类粒子具体—特性的?采样方法《和,装,置,;可独立应》用U描述符说—明超微粒子浓—度也:可将它?。作为悬浮粒子—空气洁?净度等级的补充说明!。。
:
》 , U描述符用“U!(χy)”》表示其中χ为超微粒!子,的,最大允许浓度—(pc/m3)y】为,以微米计的粒径
!。
— :例如粒径范围等于或!大,于0.?01μm的最大【允许超微粒子的浓度!为,1,40 ?000?个/m3应表示为“!U(140 —00:00.01μm)】”
!。 , 3 《当需评价大于—5μm的《粒子造成的污染危险!时应采?用符合?这类粒子具体特【。性的采?样装:置和方法可独立应用!M描述符说》明大:于5μ?m的粒子浓度—也可将它作为—悬浮粒子空》。。气洁净度等》。级的:。补充说明
】。
,
M描述】符用“M(ab);!c”表示其中a为】大粒子的最大允【许浓度?(p:c/m3)b—为与规定的大粒【子测量方法相应【的当量?直径(μm)—c为规定的测量【方法
! 例如采—用显微?镜对:多级撞?击采样器采集—的粒:子进行检测测—量,得到10μm~20!μm粒?。径范围的悬浮—粒子浓度为10【00个/m3则用M!描述符表《示,为“:M(100》0;10μ》m~20μm);多!级,撞击采样器》以显微镜测定粒【径并:计数”
》