A》.3 ?。 洁净?室主要测试方法
】
》
:A.3.1 风】量或风速测试—应符合?下列规定《
! 1 《对于单向流洁净室】采用室截《面平均风速和截【面,乘积的方法确定送】风,量测点?位于高效过滤—器出风面约150m!m~300mm【,垂直气流处—的截面作为采样截面!截面上测点间距【不宜大于0.—6m测点数不—应,少于4点所有读数】的算术平均值作为平!均风速
】
, , , 2 对—于非:单向流洁净室采用】风口或风管法确定送!风量可按现行国家】。标准通风与》空调工程《施,工质量验收规范GB! 50243规定的!方法执行
】
A.3.—2 静《压差测试《应符合下列规定
!
【 1 《。静压差的测定应在洁!净室(区)的—风速、风量和—送风均匀《性检测合《格,后进行并应在所有的!门关闭时检测—
— 2 仪】器宜采用《各种微差压》力计仪表灵敏度【应小于?1.0Pa
【
A.3.】3 已《安装过?滤器检漏测试应符合!下列规?定
?。
《 1》 检漏方法—有光度计法和粒子计!数器法
】
2 在!过,滤器上风侧应引【入测试用气溶胶在过!滤,器下风侧《。用光:度计或粒《子计数器的等动力采!样头放在距离被检】过滤器?表面2cm~3【cm处以5mm/】s~1?5mm/s的扫描速!度移动并应注—意安装交接处—的扫描
《
,
A》.3.4 密闭性!测试应用于确—认有无被污染的空气!从相邻洁净》室(区)或非洁【净,室(区)通过吊【顶、隔墙等表面或】门、:。窗渗漏入洁净室【(区)一《般适用?。于1级至《5级的洁净室(区)!进行测试采用光度】计法和?。粒子计数器法—进,行测:试
A】.3.5 —洁净度的检测应符合!下,列规定
》
1! , 使用采样量大于】1L/min的光学!粒子:计数器在仪器选【用时:应考虑粒径鉴别能力!、粒子浓度》适用范围和计数【效率仪?器应有?有效的?标定合?格证书?
:
】。2 最少采样点数!应按下式《计算
【
NL=A0.5 ! ! (A.3.【5-1?)
?
》 式中N《L最少采样点;【
【 ? A洁净室—或被控洁净》区的面积(》m2)
【
3【 采样《点,应均匀分布》于洁净室或洁—。净,区的整个面积内并】位于:工作活动的》高度活动高度宜距地!面0.8m;每【个采:样点的最小采样【时间为1min
!。
— 4 每一采样!点的每次采样量【应至少为2L采【样量应按下式计算
!
,。
》
式】中V:S每个采样点的每】次,采样量以L表示;】当VS很《大时可使用顺序【采样法;
【
【 C》n·m被测》洁净室空气洁净度】等级的被测粒径【的限值(《pc/?m3);《
— , 【20:在规定被《测粒径粒子》的空:气洁净度等级—限值时可测到的【粒子颗数(pc【)
—
5— 当洁净室或洁】净区仅有一个采样】点时则在该点应至】少采样3次》
?
A.3—.6 对超出【等级范?围粒:子的检测应符合下列!。规定
【
1 】在,。产品生产工艺有【要,求,时可按?等级:粒径范围之外—的粒子?。浓度规定空气洁净】度的水平《此类粒子的最大【允,许浓:。度,和检测方《。法应由客户与建【。造商协商确定
!
2】 当需评价小【。于0.1《。μm的粒子造成【的污染危险时应采用!符合:这类粒子具体—。特性的采样方法和装!置;可独《立应:用U描述符》说明超微粒》子浓度也《可将它作为》悬浮粒?子空气洁《。净度等级的》补充说明
【。
,
—U描述符《用“U(《χy)?。”表示其中》χ为超微粒子的最大!。允许浓度(pc【/m:3,)y为以微米计的粒!径,
【 : 例如粒径》范围等于或大—于,0.01《μm的最大允许【超微粒子《的浓:度为140 00】0个/m3应—表示为“U》(140 0—000.01μm】)”
【
:。 ?3, 当需评价大【于5μm的粒子造】成的污染危险时应】采用符合这类—粒子:具体特性的采—样,装,。置和方法可独立应】用M描述符说—。明大于5《μm的粒子》浓度也?可将它作为悬浮粒】子,空气洁净度等级的补!充说明?
《
? : M描述符用—“M(?ab);c”—表示其中a为大【粒子的最大允许【浓度(p《c/m3)b—为与:规定的大粒子测【量方法相应的当【量直径(μm)c】为规定的测量方法
!
:
? 例如采用显!微镜对多级撞—击采:。样器采集的粒子进行!检测:测量得到10—μm~20》μm粒径范》围的悬浮粒子浓度】为1:。000?个/m3则用M描述!符表示为“》M(1?000;10—μm~20μm);!多级撞击采样器【以显微镜《测,定粒径并《。计数”
》