A．3 】 洁净？室主要？测，试，方法 【 A．》。3．1？  风量或风—速测试应符合—下，列规定 】。    《 1  对于—单向流洁《净室采用室》截面平均风速和截面！。乘积的方法确定送风！量测点位于高效过滤！器，出风面约《150mm～3【00mm,》垂直气流《处的截面作》。为采样截面截面上测！点间距不宜大于【0.6m测点数【不应少于4点所有】读，数的算术平均值作为！平均风速 】 ，     2  】对于：非单向流洁净室采用！。风口或风《管法确定送》风量可按现行国【家标准通风与—空调工程施工质【量验收规范GB 5！0243规定的方】法，。执，行 — A．3．2 【 静压？差测试应《符合下列规定 ！ ，     1 】 静压？差的测定应》在洁：。。净室（？区）的风速、风量和！送风均匀性检测合】格后进？行并应在所有—的，门关闭时检》测 《    — 2：  仪器宜采用各种！微差压力计仪表灵敏！度应小于1》.0P？a ？ A．3【。．3  已安—装过滤器检》漏测试应《符合下列规定 ！     1】。  检漏方法有光度！计法和粒《子计数器法 【     2！  在过滤器—上风：侧应引入测》试用气溶胶在—过滤器下风侧—。用光度计《或，粒子计数器的等动】力采样头放在距离】被检过滤《器表：面2cm～3c【m处以5m》m/s～15—mm/s《的扫描？速度移动并应注【意安装交《接处的扫描 】 A．》3．4  密闭性】测，试应用？于确认有无被污染】的空气从相邻洁【净室（区）》。或非洁净室》（区）通过吊顶、】隔墙等表面或门、】窗渗漏入洁净室（】区）一般适用于1】级，至5级的洁净室（区！），进，行测试采用光—度计法？和粒子计数器法进】行，测，试 《 A．3．5 ！ 洁净度的》检测应符《合下列规定 】     1 ！ 使用？采样量？大于1L/m—i，。n的光学粒子计数】器在仪器《选用时应考虑粒径】鉴，别，能力、粒子浓度适】用范围和计数效率仪！器应有有效》的标定？合格证书 —。     2！  最少采》样点数应《按下式计算》 —NL＝A《0.5？       【    《 (A．3》．5-1) 【 ？   ？式中：NL最少采样点【； 《      】 A洁净室》或被控洁净区的【面积：(，m2) —     【3  采样点应均匀！分布于洁净室或【。。洁净区的整个面积内！并位于工作活动【的高度？活动：高度宜距地面0.】8m；每个》采样点的《最小采样时间为1m！in  ！   4  每一采！样点的？每次采？样量应至少为2L】。采样量应按下式计算！ 【 《 ，。  式中《VS每个采样点的每！次采样量《以L表？。示；当VS很大时可！使用顺序采》样法； 《    】   ？  Cn·m被【测洁净室《空气洁净度等级的】被测粒径的》限值(？pc/m《3)； ！ ，  ：     20在】规定被测粒径粒子】的空气洁净度等级限！值时可？测到的粒子颗数【(pc)《 》  ：   5  当洁】净室：或洁：净区仅有一个采样点！时则在？该点应至少采样【3次 — A．3．—6，  对超出》等级范围《粒子：的检测？应符合？下，列规定 》   —  ：1  在《产品生产《工艺有要求时可【按等级粒径》范围之外的粒—子浓度规定空气洁净！度的水平此类—粒子：的最：大允：许浓度和检》测方法应由》客户与建造商—协商确定 】    》 2  当需—评价小于0.—1，μm的粒子》造成的？污染危险《时应采用符合—这，类粒子具体特性的】采，样方法和装置；可】独立应用U》描述符说明超微粒】子浓度也可将它作为！悬浮粒子空》气洁净度等级—的补充？说明 【     》U描述符用“U(χ！。y)”表《示其中？χ为超微粒子—的最大？允许浓？度，(pc/《m3)？y，为以微米计》的粒径 】     》例如粒径范围等【于或大于0.—01μm的最—大允许超微粒子的浓！。度为：140 000【个/m3应表示【为“U？(140 000】0.0？1μm)” 【 ？     3 【 当：需评价大于5μ【m的粒子造成—的，污染危险时应采用】符，合这类粒子具体特性！的采样装《置，和方：法可独立应》用M：描述符说明大于5μ！m的粒？子浓：度也可将它作为悬】浮粒子空气洁净【度等级的补充—。。。说明：    ！ M描述符用—“M（？ab）；《c”表示其中a【为，大粒子的最大允【许浓度(pc—/m3)b为与规定！的大粒子测量方法相！应的当量直径(μm！)c为规定》的测量方法 】     【例如采用显微镜【对多级撞击采样器采！集的粒子进行—检测测量得到—10μm～2—0μm？粒径范围《的悬浮？粒子浓？度为1000个【/m：3则用？M描述符表》示为“M(》。1000；10【μm～20μ—m)；？多级撞击采样器【以显微镜测定粒径并！计数” 》