安全验证
A》.3  洁净室主要!测试方法 》 【A.3.1  风量!。或风速测试应符【合下列规定 【 :    》 1:  对于《。单向:流洁:净室采用室》截面平?均,风速和截面乘积的方!法确定?送风量测点》位于高效《过滤器出《风面约?150mm~30】0mm,垂直气流】处的截面作为—采样截?面截面上测点间距】不宜大于0.6【。m测点数不应少于4!点所有读数的算【术平均值作为—平均风速 —     2!  对于非单向【流洁净?室采用?风口或?风管:法,确,定送风量可按—现行国家标准—。通风与空调工—程施工质量验—收规范GB 50】243规定》的方法执行 】 A《.3.2  静【压差测试应符—合下:。列规定 》 ,     1】 , 静压差《的测定应《在洁净室(区)的风!速、风量《和送风均匀》性检测?合格后进行并应【在所有的《门关闭时检测— ?     【2  仪器宜采用各!种微差压力计仪【表灵敏度应》。小于1?.0P?a A】.3.3  —已安装过滤器检漏】测,。试应符合《下列:规定 】    1》 , ,检漏方?法有光度计法—和粒子计《数器法 —   》  :2  在过滤器上风!侧应引入测试用气】溶胶:在过滤器下风—。侧用光?度计或?粒子:计数器的等动力采样!头放在距离》被检过滤器表面2】cm~3cm处以】5mm/s~1【5m:m/s的扫》描速度移动并应注】意安装交接处—的扫描 — A.》。3.4  密闭性测!试应用?于确认有无被污染的!空气从相邻洁—净室(区)》或非洁净室(区)通!过吊:顶、隔墙等表—。。面或门、窗渗漏入】洁,净室(区《)一般适《用于1级至》5,。级的洁净室(区【)进行测试采用【光度计?法和粒子《计数器法进行测试 !。 A.3.!5  ?。洁净度的检测应符】合下列规定 】   》  1 《 使用采样量大于1!L/min的光【。学粒子计数》器在仪?器选用时应》考虑粒径鉴别能力、!粒子浓度适用—。。范,围和计数效率仪【器应:有有效的标定合格证!书 —     2 【 最少采《样点:数应按下式计—算 ? NL=【A0.5     !       (A!.,3.5-1》。) ?。 :   式》中,NL最?。少采样点;》。 ,。     !。。  :A洁净室《或被控洁净区—的面积(m2—) :   【  3  采样【点,应均:匀分布于洁净—室或洁净区》的整个面积》内并:位于:工作活动的高—。度活动高度宜距【地面0.8m;每个!采样点的最小采样时!间为1?mi:n  】   4《  每一《采样点的每次采样量!应至少为2L采样】量应按下式计—算 —  】 式中VS》每个采样点的每【次采样量以》L表:示;当VS很—。大时可?使用:顺序采?样法; !        】Cn·?m被:测洁净室空气洁【净度等级的被—。测粒径的限》。值(pc/m3【);  !。   ? ,   20在规定被!测粒径粒子的空【气洁净度等级限值】时可测?。到,的粒子颗数(—pc)?。。 :    【 5  当洁净室或!洁净区仅有一个采样!点时则?在该点应至少—采,样3次? A.】3.6 《 对超出等级范围粒!子,。的检测应符合下列规!定,  【   1《  在产《品生产工艺有要【求时可按等级粒径】范围之外的粒—子浓度规定空气洁】净,度的水平此》类粒子的最》大允许浓《度和检测方法应由】客户与建造商—协商确?。定 —     》2  当需评价【小于:。。0.1μm的—。粒,子造成的《污染危险时应—采用符合这》类,粒子具体特性的采】样,方法和装置;可独】立应用U描述—符说明超微粒子浓】度也:可将:它作为悬浮粒子【空气:洁净度等级的—补充:说明 《 ?     U—描述符?用“U?(χy)”表示其】中χ为超微粒子的】最大允许浓》。度(pc/m3【)y为以微米计的】粒径 ? 《     例如粒】径范围等于或大于0!。.,01μm《的最大?允许超?微粒:。子的浓度为1—40: 000《个/m3应表示【为“U(140 】0000.01μm!)” 《。 ?    《 3  当需评价大!于5μm《的粒子造成的污染】危险时应采用—符合这类《粒子具?体特性的采样—装置:和方法可独》。立应用M描》述符说明《。大于5μm的粒子】浓度也?可将它作为悬浮粒】子空气洁净度等级】的,补,充说:明  】   ?M描述符用“M(a!b);?c”表示其中—a为大?粒子的最大允许浓度!(pc/m3—。)b为与规定的大】。粒子测量方法相应的!当量直?径(μ?m)c为《规定的测量方法 !。 ?     例—如采用显微镜对【多级撞击采样器【。采集的粒子进行【检,测测量得到》10:μm:~20μm》粒径范围《的悬浮粒子浓度为1!0,00:个/m3则用M描述!。符表示为“》M(100》0;10《μm~20》μm);多级撞击采!。样器以显《。微,镜测定粒径并计【。数” 《