A．3 】。 洁净室主要测试】方法 — A．3．1！  风？量或风速测试—应，符，合下列规定 】 ，     1 】 对于单向流洁净】室，采用室截《面平均风速和—截面乘积《的方法？确，定送风量测》点位于高《效过滤器《出风面约15—0mm？～3：00mm,》垂，直气流处的截—面作为采样截—。面，截面上测点间距【。不宜大于0》.6m测《点数不应少于4点】所有读数的算术平】均值作为平均风【速 ？  》 ，  2 《 对于非单向流洁】净室采？用风口？或风管法《确定送？风量可按现行国家】标准通风《与空调工《程施工质量验—收规范GB 502！43规？定的方？法执行 《 《 A．？3．2  》静压差测《试应符？合下：列规定 ！    1》 ， 静压差的测—定应在？洁净室（区）的【风速、？风量和送风均匀【性检测合格后—进行并应在所有的】门关闭时检测—    ！ 2  仪器—宜采用？各种微差压力计仪表！灵敏度应小于—1.：0Pa ！A．3．3  已】安装：过滤：器检：漏，测试应？符，合下列规《定 【 ，   1  检漏方！法有光度《计法和？粒子计？数器法 ！  ： ， 2  在过滤器】上风侧应引入测【试用气溶胶在过【。滤器下风侧用—。光，度计或粒子计数器】的等动力采样—头放在距离被检过滤！。器表面2cm～【。3cm处《以5mm/s～1】5，mm/s的》扫描速度移》动，。并应注意安装交【接处的扫《描 【A．3．4》  密闭性测试应用！。于，确认有无被污染【的，空气从相《邻洁净？。室（区？），。或非洁净室（区）通！过吊顶、隔》墙等表面或门、窗渗！漏，入，洁，净室（？区）一般《适用于？1，级至5级的洁—净室（区）进—行测试采用光—度，计法和？粒子计数器法进行】测试 【 A．3．5 【 洁：净度的检《测应符合《下列规定 ！  ：。   1  —使用采样量大于1】L/m？in的光学粒子【计数：器在仪器选用—时应考虑粒径鉴别能！力、粒子《浓度适用范围和计数！效率仪？器应有有效的标定】合格证书 》 》    《。2  最少采样点】数应按下《。式计算？ ？ ： NL？＝A0.5》     》       (】A．3．5-—1) 》 ：。   式中NL【最少采样点；—    ！   ？A洁净室或被控洁净！区的面积(》m2：) 【    3 — ，采样点应均匀—分布：于洁：净室或洁净区的【整个：面积：内并位于工作活动】的高：度活动？高度宜距地面0【.8m；《每个采样点的最小采！样时间？为1min》   】  4  每一【采样：点的每？次采样量应至少为】2L采样量应按下】式计算 》。 — ？  ： 式中VS每—个采样点的每次采样！量，以L表示；当—VS很大时可使用】顺序采样法； 【 ，     】    Cn·m】被测洁净室空—气，。洁净度等级的—被测：粒径：。的限值？(p：c/m3)》； —       【  2？0在规定《被测粒径《粒，子的空？气洁净度等级限值时！可测到的粒子颗数(！pc) 【     —5  当洁净—室或洁净区》仅有一个采样点时】则在该点应》至少采样3》次 ？ A．—3．6  对—超出等级《。范围粒？子，的检测应《符合下列规定 】    【 1  在产品【生产工艺有》要，求时可按等》级粒径范围之外的】粒子：浓度规定空气洁净】度，的水平此类粒子【的最大允《许浓度？和检测方《法应由客户与—建造商协商》确定 》     2】 ，。 当：。需评价小于》0，.，1μm的粒子—造成的污染危险时应！采用符合《这类粒子具体特【性的采样方法和装】置；可独《立应用？U描述符说明—超微粒子浓度也可】将它作为悬》浮粒子空气洁净【度等级？的补充说明 【    【 U描述《符用“U(χy)”！表示其？中χ为超微粒子【的最大？允，。许浓：度(pc/m3)】y为以微米计的粒径！ ，    】 例：如，。粒径：范围等于或大于0】.，01μm的》最大允许《超微粒子《的浓度为14—0 00《0个/m《3应表示为“U(1！40 000—0.01《μm)” 】   《  3  当需评价！大于5μm的粒子造！成，的污染危险时应采】。用符合这类粒子【具，体特性的采样装置】和方：法可：。独，立应用M《。描述符说《明大于5μm—。的粒：子，浓度也可将它—作为悬浮粒子—空气洁净度等级【的补充说明》   】  ：M描：述符用“M（ab】）；c”《表示其中a为大粒子！的最大允许浓度(】pc/m3)b【为与规定的大粒【子，测量方法相应的【当量直径(μm)c！为规定的测量方法 ！     ！例如采用显微镜对多！级，撞击采样《器采集的粒子进行】检测测？量得到10》μm～20μm粒径！范围的悬浮》粒子浓？。度为1000—个/m3则用M描述！符表示为“M(1】000；10μm～！20μ？m)：；多：级撞击采样器以显】微镜：测定粒？径并计？数” 《