。
：。
，
A．3 洁净室！主要测试方法—
《
A．3【．1 风量或风】速测试？应，符合下列规定
】
，
《 1 —对于单向流洁净室】采用室截面平均风速！和截面乘积》的方法确定送—风量测？点位于高效过—滤器出风《面约150m—m～30《0mm,垂直气流处！的截面作为采样【截面截面上测点【。间距不宜大于0.6！。m测点数《不应：少于4点所有读【数的算术《平均：值作为？平均风速《
】 2 《。 对：于非单向流洁净【室采用风口或—风管法？确定送？风量可按现行国家标！准通风？与空调工程施工质】量验收规《范GB 50243！规定的方法执行
！
《A．3．2 — 静压差《测，试应符合下列—规定
》
— 1： ：静压差的测定应在洁！净室（？区）的风速、风【量和送风均匀性【检测合格后进行并】应在所有的门关闭时！。检测
【
， ？ 2 ？。。 仪器宜采用—各，种微差压力计仪表】灵敏度应小于1.】0Pa？
，。
？
A．3．3 】 已安装过滤—。器，。检漏测试应》符合下？列规：定
—
1 【 检漏方法有光度】计法和粒子计—数器：法，
】。 2 在过滤】器上风侧《应引入测《试用气溶胶在过滤】器下风侧用光—度计或粒子计—数，器的等动力采—样头放在距离被检】过滤器？。表面2？cm～？3cm处以5mm】/s：～15m《m/：s的扫描速度移动】。并应注意安装交【接处的扫描
【
A．—3．4 密闭性】测试应？用于确认有无被【污染的空《气从相邻洁》净室（区）》或非洁净《室（区）《通过吊顶、隔墙等】表面或门、》窗渗：漏入洁净室（区）】一般适用于1级至5！级的洁净室（区）】进行测试采用光【度，计法和粒子计数【器，法进行测《试
《
：
A．3．5— 洁净度》的检测应符合下列规！定
！ 1 使用采】样量大于1》L/mi《n的光？学粒子计《。。数器：在，仪器选用时》。。应，考，虑粒径鉴别能—力，、粒子？浓度适用范》围和计数效》。率仪器应《有有效的标定合格】证书
？
【。。 2 最少采】样点数？应按下？式计算？
：
NL＝A】0.5 】 》 (A．3—。。．，5-1)《
》
， 式中N》L最少采样点；【
：
—。 A洁—。净室或被控洁净区】的面：积(m2)
】。
3 ！ 采样点应均匀分】布于洁净《。室，或洁净区的整—个面积？内并位？于，工作活动的高度【活动高度宜距地面0！.8m；每个采【样点的？最小：采样：时间为1m》in
》
》 ， 4： ，。 每一采样点的每次！采样量应至少为2】。。。L采样量应按下式计！算
？
】
《。式中VS《每，个采样点的每次采】样量以L表示；当V！S，很大时可使》用顺序采样法；
】
？
【。 ？Cn·？m被测洁净》。室空气洁净度等级的！被测粒径《的限值(pc/m】3，)；
》
：
， — 20在规定被测！粒径粒子的空气洁净！度等级限值时可测到！的粒子颗数》。。(pc)
—
？。
？ 5？ 当洁净室或洁净！区仅：有一：个采样？点时：则在该点《应至少采样3次
！
A．3【．6 对超出【等级范围《。粒子的检测应—符合下列规》定
？。
，
— ，1， ：在，产品生产工艺有要】求时可按等级粒径】范，围之外的粒子浓度】。规定空气洁》净度的水平》此类粒子的最大【允许浓度和检测【方法应由《。。。客户与建造商—协商确定
【
【。2 当需》评价小于0.1【μm的粒子造—成的污染危》险时应采《用，符合这类粒子具体特！性的采？样方法？和装：。置；可独立应用U描！述符说明超微粒子浓！度也：可将它作为悬浮粒】。子，。空气洁净《。度等级的补》充说：明
】 ？U描述符用“U(χ！。。y)”表示其中χ为！超微粒子的最—大允许浓《度(pc/m—3)：y为以微《米计的粒径
—
》 《例如粒径范围—等于或大于》0.01《μm的最大允—许超：微粒子的浓》度为140 —00：0个/m3》应表示为“U(1】40 0000【.，01：μm)”
！
3 】当需评价大》于5：μm的粒子造—成的污染危》险时：应采用符合这类粒】子具：体特性的采样—装置和方《法，。可独立应用M描【述符说明大于5μm！的粒子浓度也—可将它作为悬浮【粒子空气《洁净度？等级的补充说—明
？
？
M—描述符用“M—（ab）；c”【表示其中a为大【粒子的最大允许浓度！(pc/m3—)b为与规》定的大粒子测量方】。法相：应的当量直径(μ】m)c为规定的【测量方法
—
—。。 例如采用显【。微镜：对多级撞击》采样器？采集的粒子进行检】。测测量得《到1：0μm～20μm】粒径范围的悬浮【粒子浓度为1—000个/m3【则用M？描述符表《示为“M《(1000；10】μm～20μ—m)：；多级撞击采样器以！显微镜测《定粒径并计数”
】
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