A．3  ！洁，。净室主要《测试方法 — 》 A．3．1—  风？量或：风速测试《应符：合下列规定 ！。     —1  对于》单向流？洁净室采用室截【。面平均风《。速和截面乘积的方法！确定送？风量测点位于高效】过滤器出风面约【15：。0，mm～？300mm,垂【直气流处的截面作为！采样截面截面上测点！间距不宜《大于0.6m—测，点数不应少》于4点？所有读数的算—术平均值作为—平均风速 【。 ？   ？ 2 ？ 对于非《单向流洁净室采【用风口或风管—法确定送《风量可按现行—国家标准通》。风与：空调工程施》工，质量验收规范G【B， 5024》3规：定的方？法，执行 — A？．3．？2  静压》差测：试应符合《下列规定 】 ：    1  静压！差，的，测定应在洁净—室，（区）？的风速、《风量和送风均—匀性检测合》。格后进行《并应在所有的门关闭！时检测 —   》  2  》仪器宜采用各种【微差压力计仪表【灵敏度应小于1【.0Pa《 ？ A．3．3 ！。。。 已安？装过滤器《检，漏测试应符合—。下列规定 】。     1  ！检漏方法有光度计】法和粒子《计数器法 》 》    《2  ？在，过，滤器上风侧应—。引入测试用》气溶胶在过》滤器下风侧用光度】计或粒子《计数器的等》。动力采样头放在【距离被检过》滤器表面2cm【～3cm处》以5mm/s～15！mm/s的》扫描速？度移动并应注意安】。。装交接？处的扫描 — ： A．3．4【  密闭性测—试应用于确认—有无被污染的空气从！相邻洁净《。室（：。。区）：或非洁净《室（区）通过—吊顶：、隔墙等表面—或门、窗渗漏入洁】净室（区《）一般适《用于：1级至5级的洁净】室（区）进行测试】。采用光度计法和粒子！计数器法《。进行测试 》。 ：。 A．3—．5  《洁净度？的检测应符合下列规！定 《     1 ！ 使用采样量大于1！L/mi《n的光学粒子计数】器在仪器选用—时应考？虑粒径鉴《别能力？。、粒子浓度适用【范围：和计数？效率仪器应有有效的！标定合格证书—    ！ 2  《最少采样《点数应按下式—计算 】NL＝A0》.5      】 ，     (A．】3．：5-1) 》 ？   《式中NL最少采【样，点； ？  —     A洁净室！或被控洁《净，区的面？积(m2) 【 《    3》  采样点应均匀】分布于洁净室或洁净！区的整个《面积内并位》。于，工，作活动的高度活【动高度宜距地—面0.？8m；？每个采样点》的最：小采样时间为1【min 《 《     4—  每一采样点的】。每，次采：样量：应至少为2L采样】量应按下式计—算， —。 ？   式中V】S每个采样点的【每次采？样，。量以L表示；当V】S很大时可使用【顺序采样法； ！。 ？。      —。  Cn·m被测】洁净室空气洁净【度，等级的？被测粒径的限—。值(pc/m3)】； 《。   》     》 20在规定—被测：粒径：粒子的空气洁—。净度等级限值时【可测到？的粒子颗《。数(pc) 】     5 ！ 当洁净室或洁净】。区，仅有一个《采样点时《。则在该点应》至少采？样3次？ A【．3．？6，  对超《出等级范《围粒子的检测应【符合：下列规定 》 》  ：  1  在产品】生产工艺有要求【时可：按等级粒径范围【之外的粒子》浓度规定空气洁【净度的水平》此，类粒子的最大允许】浓度和？检测方法应由客户与！建造商协商确—定 —  ：   2  当需评！价小于0.1μm】。的粒：子，造成的污染危—险时应采用符合这】类粒子具体特性的采！样方法和装置；【可独：立应用U描述符【说明超？微，粒子浓度也可将它】作，为悬浮？粒子空气洁》净度等级的补充【说明 】    U描述符】用“U(χy)”表！示，其中χ为超微—粒子：的最大允许浓—度(pc/m3【)y为以微米计的】粒径 】    例如粒【。径范围？等，于或大于0.0【1μm的最大允许】超微粒子的》浓度为140— 000个/—。m3应？表示为“U(140！ 00？00.01μm)”！。。    ！ ，3  当需评—价大于5μm的【。粒子造成的》污染危险时应采【用，符合这类粒子具体】特性的采样装置【和方：法可独立应用M【描述：符说明大于5μ【m的粒子浓》度也可将《它作为悬浮粒子空】气洁净度等级的补充！说明：  【   M描述符用】“M（ab）—；c”表示》其中：a为：大粒子的最》大允许浓度(—pc/m《3)b？为与规定的大粒子测！量方法相《。应，的当量直径(—μm：)c为规《。。定的测量方法 】 ， ： ，  ：  例如采用显微镜！对多级撞击采—样器采集的粒子【进行检？测测量得到10μ】m～20《μm粒径范围的悬浮！。粒子浓度《为1000个—/m：3，则用：M描述符表示—为“M(《1000《；10μm》～20μm)；多级！撞击采？样器以显微镜测【定粒径并计数” 】 ，