《4，．5  微振控制 ！ 【4．5．1  有】微振控制要》求的洁净厂》房设计应《符合下列规定— 》     1  】在结构选型》、隔振缝设置、【壁板与地面》、，壁板与？顶棚连接《处应按微《振控制要求设计 ！  》 ，  2  洁—净室与周围辅助性】站房内有强烈振动】的，设备：及连：接管道应采》取主动隔振措施 】 ，   —  3  应—测定：洁净厂房内、外【各类：振源对洁净厂房精】密设备、精》密仪器仪表位—置处的综合振动【。影响以决定是否采取！被动隔振措施 】 4．5．2！  精？密设备？、精密仪器仪—表的容许振动值应】由生产工艺和设备制！造部门提供当生产工！艺和设备制造部【门难以提《供容许？振动：值，时可按现行国家标】准隔振设计规范G】B 5？。0463的》有关规定执行— ： 4．5．3！  精密设》备、精密《仪器仪表的被动隔振！设，计应具？。备下列？条件：  【   1  周围】振源对其综合影【响的振动数据 】  》  ： 2  设备、【仪器仪表的》型号、规格》及轮廓尺寸》图 ？ ？     3— ， 设备、仪器仪【表的：质量、？质，心位置及质量惯性】矩 《  《   4《。。  设备、仪器仪】表的底座外轮廓图附！属装置？管道位置《及坑、？沟，、孔洞？尺寸地脚螺栓及预】埋件位置等》 —    5  设备！、仪器仪表的—调平要求 》 《     》6  设备、—仪，器仪表的容许振动】值 》。 ：    7  所选！用或设？计的隔振《器或隔振装置的【技术参数、外—形尺寸及安装条件】 ： ， 4．5．4 ！ 精密设备、精密】仪器仪？表的被动隔振设【计应符合下列—。规定 —     1  ！隔振：台，座应具？有足：够的刚度 》   【  2  隔振台座！应，。采取倾斜校正措【施   ！  3  》隔振：系统：各向阻尼比》不应小于0.15 ！。    】 4  隔振措施】不应影响洁净—室内的气流流型 】 4．【5．5  精密【设备、？精，密仪器仪表的—被动隔振措施—宜采用能自动校正】倾斜的空气弹—簧隔振装置对供应】空气弹簧用的气源】应进行？净化处理 —