4．—5 ：。 ，。微振控制 ！ ？4．5．1  有】微振控制要求的洁】净厂：房设计应符合—下，列规定 《     ！。1，  在结构选型、隔！振缝设置、壁板【与地：面、壁板与》顶棚连接处应按【微振控制《要求设计《 —    2  洁净！室与周围辅助性站房！。。内有强？。烈振动的设备及【连接管道应采取主】动隔振措施 【     3！  应测定洁净厂】房内、外各类振源】对洁净厂房精密设】备、精？密仪器？仪表：位置处的《综合振动影响以决定！是否：采取被动《隔振措施 【 4．》5．2  精密【设备：、精密？仪器仪表的容许振动！值应：由生产工艺和—设备制造部》门提供？当生产工艺和设【备，制造部门难以提供】容许振？动，。值时可按现行国家】标准：隔振设计规》范GB 504【63的有关》规定执行 【 ？4．5．3》。  ：精密：设备、精密》仪器仪？。表，的被动隔振设计应】具，备下列条件 ！     1 】 周围振《源，对其综合影响的振】动数据 【  ？   2  设备】。、仪器？仪表的型《号，、规格及轮廓—尺寸图 ！    《3 ： 设备？、仪器？仪，表的质？量、质心位》置及质量惯性矩 】     ！4，  ：设，备，、仪器仪表的—底座外轮廓图附【属装置？管道位置及》坑，、沟、孔洞尺寸地脚！螺栓及预埋件位置等！    ！ 5  《设备、仪器仪表【的调平要求 】     6 ！ 设备、仪》器，仪表的容许振动值 ！ 》    《7  所选用或设】计的隔？振器或？隔振：装置的技术参数【、外：。形尺寸及安装—。条件 《 4．—。5．4  精密设】备、：精密仪器仪表的被动！隔振设计应符合【下列规定 》  —。   1  隔【振台座应具有足【够的刚？度 ：   【。。  2  》隔振台座《应采取？倾斜校正措》施 ： 》   ？ 3  隔》振系：统各向阻尼比不应】小于0.15 【     ！4  隔振措施不应！影响洁净《室内：的气流流型 】 ， 4．《5．：5  精密设备、】精密仪器仪》表的被动《隔振措施宜采用能自！动校：。正倾斜的《空气弹簧隔振装置对！供应空气弹簧用的】气源应进行净—化处理 》