4．5【 ， 微振控制 】 4—．，5，．1  有微振【控制要求的》洁净厂房设计应【符合下列《规定 ？    】 ，1  在结》构选型、隔振缝设置！、壁板与地》面、壁？板，与顶：棚连接处《应按微？振控制要求》设计 《。 ？    《。 2  洁净室与】周围辅？助性站房内有强【烈振动的设》备及连接管》道应采取主》动隔振措施 】 ？    3 — 应测定洁净厂房内！、外各？类振源对洁净厂房精！密设备、精密仪【器仪表位《置处的综合》振动影响以决定是否！采取被？动隔振措施》。 《 4．5．2  ！精密设备、精密仪器！。仪表的？容许振动《值应由生《产，工艺和设备制造部】门提：供当生产工艺和【设备制造部门难【以提供？容许振动值时可【。按现行国家标准隔】振，设计规范GB 50！463的有关规定执！行 【4．5？．3 ？ ，精密设？备、精密仪》器仪表的被动隔振设！计，应具备下《列条件 ！    1  周】围振源对其》。综合影响《的振动？。数，据   ！  ：2  设《。。备、仪？。器，仪表的型号、规格】及轮：。廓尺：寸图 【     3—  设？。备、仪器《仪表的质量、质心】位置及质量惯—。性矩 【     》4  设《备、仪？器仪：表的底座外轮廓图附！属装：置管道位置及坑、沟！、孔洞尺寸地—脚螺栓及预埋件【位置等？。  【   5  设备、！仪器仪表的调平要求！   】  6 《 设备、仪器仪表】的容许振动值—。 ？。  《   ？7  所选用或设】计的隔振器或隔振装！置的技术参数、【外形尺？寸及安装条》件 》 4．5．—4  精密设—备、精密仪器—仪表的被动隔振设计！应符合？下列规？定  】 ，  1  隔振台】座，应，。具有足够《的，刚度  ！。   2《  隔振台座应采】取倾斜校正措—施 《   》  3  》隔，振系统各向阻—尼比不应小于0【.15 【 ， ，    《4 ： 隔：振措施不应影响洁】净室内的《气，。流流型 — ？4．5．5  精】密设备、精》密仪器仪表》。的被动？。隔振措施宜》采用能自动校正倾斜！的空：气弹簧隔振》装置：对供应空《气弹簧用的气源应】进行净化处》理 ？