。 ？ 4．5  微振】控制 ！ 4．？5．1  有微振控！。制要求的洁净厂【房设计应符合下【列规定 —  《 ，  1  在结构选！型、隔振缝设置【、壁板？与地面、壁板—与顶棚连接处应按】微振控制《要求设计 】。 ，     2  洁！净室：。与周围辅助性站房内！有，强烈振动《。的设备及连接管道应！采取主动隔振措【施 ？。。     3！  应？测定洁净厂房—内，、外：各，类振源？对洁净厂房》精密设备、精—密仪器仪表位置处】的综合振动影响以】决定是？否采取被《动隔振？。措施 》 4．》5．2 《 精：。密，设备、？。。精密仪器仪表的【容许振动值应由生产！工艺：和设备制造》部门提供当生产工艺！和设备制造部门【。难以提？供容许？。振动值时可按现行国！家标准隔《振设计规范G—B 504》63的有关规—定执行？ 《 4．《5．3  》。精密设备《、精密仪器仪表【的被动隔振》设计应具备下列条】件 ？ 《   ？ 1 ？ ，周围振源对其综合影！响的振动数据 ！   》  ：2  设备》、仪器？仪表：的型号、规格及轮】廓尺寸图 【   》  3  设备、】仪器仪表的质量、】质心位置《。及质量惯《性矩 ？  —   4  设备、！。仪器仪表的底座【外轮廓图附属装置管！道位置及坑》、沟、孔洞尺—寸地脚螺栓及预埋】件位置等 ！     5—。  设备《、仪器仪《表，的调平要求》 ？     【6 ： 设备？、，仪器仪表《的，。容，许振动？值 《     【7  所选用或设计！的隔振器或隔振【装置：。的技术参数、外【形，尺寸及安《装条件 【 4．《5．4？  精密设》备，、精密仪《器仪：表的被动隔振设【计应符？合下列规定 ！  ？   1  隔振】台座应具《有足够的刚度—。 《。 ：    2 — 隔：振台座应采取倾斜校！正措施 《     ！3  隔振系统各向！阻尼比不《应小于0《.15 】     4 【 ，隔振措施不应—影响洁净室内—的气：流流型？。 《。。 ，。 4．5．5  精！密设备、精密仪器仪！表的被动隔振—措施宜采用能自动】。校正倾斜的空气【弹簧隔振装》。。置对供应空气弹簧】用的：气源：应进行净化处理【。 ：