，。 ：。 ，4．5  微振控】制 《 ： 4．5．1 ！ 有微振控制要【求的：洁净厂房设计应符】合下：列规定 ！    1 — 在：结构选？型、隔振缝设置、】壁板与地面、—壁板与顶棚》连接处？应按微振控制要求设！计， ： ？    《 2  洁》净室与周《围辅助性《站房内有强烈振动】的设备及连接管道】。应采：。取主动隔《振措施 》     3！  应测定》。洁净厂？房内、外《各类振源对洁净厂房！精密：设备、精密仪—器仪表？位置：处的综合振》动影响以决》定是否采取被—动隔振措施 ！ ：4．5．2  精密！设备、？精密仪器仪》表的容许振动值应由！生产：工艺和设备制造部】门提供当生产工艺和！设备制造部门—难以提供容许振【动值：时可按现行国家标准！隔振设计规范G【B， 50463的有关！规定：执行 — ：4．5．3》 ， 精：密设备、精密仪器】仪表的被动隔振设】计应：。具备下？列条件 —  《   1  周围】振，源对其综合影响的振！。动数据 】     》2  设备》、仪器仪表的型号、！规格及轮廓尺—寸图 【。 ，    3 — 设备、仪器仪表的！质量、质心位置及】质量惯？性，矩 》 ： ，   4  设【备，、仪器仪表的—底座：。外轮廓图附》属装置管道位—置及坑、《。。沟、孔洞《尺寸地脚螺》栓及预埋件位—置等 ？ ，  》   5  设【备、：仪，器仪：表的调平要》求   ！  6  》设备、仪器仪表的容！许振：动值 ？ 《  ：   7  所选用！或设计的隔》振，器或隔振装》置，的技术参《数、外形尺寸及【安装条件 — 4》．5．4  —。精密设？备、精密仪器仪表】的，被动隔振设计应符】合下列规定》 ？  《   1《  隔？振台座应具有足够】的刚度？ 》     2  隔！振台座？。应采取倾斜校—正措施 】     》3  隔振系统【。各向阻尼比不—应，小于0.《15 》  《   4  隔振措！施不应影响洁净室】内的气流《流型： —4．5．《5  精密设备、精！密，仪器：仪表的被动隔振措】施宜采？用能自动《。。校正倾斜的》空气弹簧隔振装【置对供应空气弹簧用！的，气源应进《行净化处理》。 ：