《4．5？  微振控》制 — 4．5．1 ！。 ，有，微振控制要求的洁净！厂房设计应符—。合下列规定 】 ：   ？  1  》在结构选型、隔振缝！。。设置、？壁板与地面、—壁板：与顶棚连接处应按微！振控制要《求设计 《   【  2  洁净室与！周围辅助性》。站房内有强》烈振动的设备及连接！。管道应采《。取主：动，隔振措施 —     3！  应测《定，洁净：厂房内、外各类振】源对洁净厂》房精密设备、精密】仪器仪表位置处的综！合振动影响以决定】是否采取被动—隔振措施 【。。 4．5．2】  ：精密设？备、精密仪》器仪表的容许振【动值应由生产—工艺和设《备制造部门提供当生！产，工艺和设备制造部】门难以提供容许振动！值时可按《。现行国家标准—隔振设计规范GB ！50463》的有关规定》执行 【。 ，4．5．3  精密！。设备、精密》仪器仪表的被动隔】振，设计应具备下列【条件 — ，    《 1  周围—振，源，对其综合《。影响的振动数—据 —     2 【 设备、仪器仪表的！型号、？规格及轮廓》尺寸图 【     —3  设备、仪【器仪表的质量—、，质心位置及质量【惯性矩 【     4  ！设备、仪器仪表的】底座外？轮廓：图附属装置管道位】置及坑、沟、—孔洞尺寸地脚螺栓及！。预埋件位置等 】    【 5  《设备、？仪器仪表的调平要求！    ！ 6：  设备《、仪器仪表》的容许振动值 【   【。。  7  所选用或！设计：的隔振器或隔振装】置的技术参数—、外形？尺寸及安装》条件 《 ： ：4．5．4  精密！设备、精密仪器【仪表的被《动隔振设计应符合下！列规定 【  ？ ，  1？  ：隔振台座《应具有足够》的刚度 ！    2  【隔振台座应采取倾斜！校正：措施 》 ？    3 — 隔振系《统各：向阻：尼比不应小于0.】15 ？  —   4  隔【振措施不应影响洁净！室内的气流》流型 》 4．5—．5  《精，密设备、《精密仪器仪表的【被动隔振措施—宜采用能自动校【正倾斜的空气弹【簧隔振装置对供应】。空，气弹簧用的气源应进！行净化？处，理 ？