4.2 】 ，系统设置《 4！.2.1  在电】子工：程中依废气污染处理！方式通常将》工艺废气划分为【酸性废气、碱性【废气、有机(V【OC：s)废？。气、苯类废》气、含尘废气、焊】锡烟：气、有毒废》气等 【     》酸性废？气主要来源于使用氢！氟酸、盐酸》、，硫酸、硝酸、磷【酸等各种酸液对【制造电子元件、电】子器件的材料、加工！件、零部件进行酸腐！蚀、氧化、抛—光的表面处理、对芯！片进行？表面清洗《芯片外延、扩散【、干刻、金属—化、：CVD等酸性工艺尾！气多晶硅制备—的还原/热分—。解工艺尾气氰—化银/金电镀—工艺等主《要污染？物为氟化物、氯【。化氢、硫酸雾—、氮氧化《物，、，氯气、氰化氢—等，。   】 ， 硝酸雾实际上是】以氮氧化物(—NO：x)：。形式存？在其中主要是二氧化！氮(NO2》。)和三氧化二氮(】N2O3《) 【    碱性—废气主？要来：源于脱脂、刻蚀、】剥膜、扩散、—清洗、外延、化学气！相沉积、热分—解等工序使用碱液(！NaOH、N—a2CO3》)、：氨气、氨《水、有机胺类—。溶剂主？要污染物为氨气(】NH3)、恶臭【。（胺类污染物如【乙胺、？乙二醇胺、二—乙基羟胺等》）  】   有机废—气主要来源于—表面涂层《工艺（电子》元器件、电子—组件、电路板—组，件、整？机机壳等）》使用溶？剂型：涂料表面清洗工艺（！包，括芯片清洗、电子组！件清洗？、电路板清洗等）使！用有：机脱脂？剂、脱水剂感光成】像工艺中的》光刻：胶稀释剂《、显影剂、脱胶剂】、液态阻焊》。。膜，剂、去膜剂等使【用有机溶剂涉及的挥！。。发，。性有机化《合物常见的》有，甲醇：、乙醇？。、异：丙醇(IP》A，)、乙二醇、—丙，酮、丁？。酮（：甲基乙基酮）、环】戊酮、甲《。基异丁基酮》。(MIBK)、环】。已酮、醋酸乙—酯、：醋酸丁酯、醋酸戊】酯、三氯乙烯、二】氯甲烷、丙》二醇甲基醚(—PGEM)》、丙二？醇甲基醚《酯(PGE》MA：)，、乙二醇乙醚、乙】二醇丁醚、乙醇【胺、光？刻，胶等30多种其【中主要是以150】℃以下？的低沸点有机—。。溶剂为主（用于【清洗剂、稀释—剂，）去光刻胶类化合物！如DMSO、ME】A、N？MP、？DMAC、DGA则！属于高沸点》。的硫：。类和胺类之有机溶】剂且具？有恶臭？主要污？染物为非甲烷总烃】（碳）？  【 ，  苯类废气主【要，来源于电子产品外】壳表：面，喷漆、电《路板组件《三防喷？漆、零？部件浸漆（如—变压器等）、—漆包：。线包漆等表》面涂装作《业，使用各种油漆—和稀释料主》要污染物为苯、甲】苯，、二甲苯和非甲烷总！烃（碳）《    ！ ，含尘废气主要来源】于电子产品外壳表】面喷塑作业使用树】。脂粉末涂料工艺【电路板？。机加工工艺光电器件！的玻璃基板划线、】去边、切割工序等】主要：污染物为颗》粒物 】    焊锡烟气主！要来源于微电子【组装、？电路板组装、线路板！。热风整平等工—艺中使用锡焊料、助！焊剂在？。。熔化：温度(220℃～】2，75℃)下除挥【发出：松香树脂等》烟尘微粒外》还，含有微？量，铅、锡金属烟—尘（蒸气《）、C？O、CO2、—乙醇溶？剂等有害气》体主要污染物为铅和！铅化合物、》锡和锡化合物 【 ？ ：  ：  有毒废气（毒性！工艺尾？气）主要来源于【半导体器件制造【的氧化、干》法蚀：刻、外延、扩散、离！子注入掺杂、化学】。气相沉积(CVD】)、金属化等工【序光电子器件制造】的磊晶、薄膜—生长：、干法蚀刻、—CVD等工序—使用多种高纯特【殊工艺？气体：如SiH4（—硅烷）、SiH3C！H3（？甲，基硅烷）《、SiC《l4、SiH—Cl3(三》氯硅烷简《称TCS)、—SiH？2Cl2（二—氯硅烷简称DC【S)SiF4、【CF4（全氟甲烷）！、CHF3（氟甲烷！）、C2H2F6】、WF6、SF6、！NF3、B》。Fl3？、B：Cl3、《P，H3（磷化氢）、】AsH3（砷—化氢）、《GeH3（锗烷）、！H，Br等 】   ？  1  “不相】容”原？。则是指两种》或几种？物质混合能》引起：燃烧：、爆：炸或形成危害更大】的物质例如S—iH4和《NF：3相混合有发生【爆，炸和火灾的可能性按！。“不相容”的—原则需？要分别设计独立的】收集系统与净化【系统： ？     酸性！废气与碱《性（氨）废》气宜：分别：设计独立的收集系】。统与净化系统—以避免因《酸碱气体混》流产生？如氯化铵微》粒子：形成白烟处理—效率：下降增设除雾—器可以？改善处理效》率 —  ：  ： 2  本款—为强制性条文由【于有：毒废气？毒性大同时亦有【高度的腐蚀性—和爆炸性《因此作？为安全生产的必要】。条件这类有毒—气体应受到》。严，格，管理污染处理系【统独立？设置并且各企业生产！过程中一《般都：设，有在：线报警装置 ！ 4.2.2  ！本条：是关于废气污染防】治末端？处理系统的集气罩】。、排风量的规定 ！ ：。     密闭式！集，气罩：的设置是为了—尽可能？多的捕集污染物达】到无明显的》无，组织排放源合—理的吸？气口位置、》结构和风速》易于使集气罩—内形成均匀负压以防！止有：毒有害气体》外，泄；系统排风量也】不宜过大系统排风量！过大既增加了—能，耗也不利于废气处理！。净化效？率因此需要合理计】算集：气，口面积、系统风量】有条件？时可采用实测—数据 ？    】 集气罩吸气口的】布置应充分》利用气流的》运动作用防止集气】罩周围的紊流尽可】能避免或《减弱干扰《气流、穿《堂风和送《风气流？等对吸气气流—的影响 【     —排风量？应满：足现行？国家标准工》业企业卫生设计【标准GBZ 1【的，相关要求并使作业场！所有毒有害物—质浓度达到现行国家！标准工作场所有害因！。素职业接触限值G】BZ 2的要求 】。 4.【2.3  本—条是关于排风系【统管路配置的规定 ！。    【     —1，  应？按照废气《性质和废气温—度并考虑耐酸—、耐碱、《抗腐蚀、耐》高，温、防火等特性对】排风系？统管：路材质进行选择【 《。     2【  ：管路内易形》成积液的排风系统】其排：风管道应采取可靠】的密：封措施防止积—液从管道接口—等处渗漏影响生【。产管道应设》置一定？的坡度坡向低—点并在低点设置排】液收集口排》液应排至相应—的废水收集和处【理系统 ！    3 — ，。本，款，。的目的是防止粉【尘沉积在《产尘源处《。和管道内 —    【 ，6  为《。了得到较高的烟气台！升高度？使排：放，的气体迅速扩散至】大气中防止排（烟）！气下沉排《气筒出口《排（烟）气流速【不得低于该排—气筒出口处环—。。境大气平均风速的】1.5？倍并不？宜小于15m—/s 》 4.2.【4  本条是关【于废气净化系统选择！的规定 【 ，    《 针对电子工程产】生的废气《以下列？举国内外一般所【采取的末端》处理方法 ！     (1)对！酸性废气、碱性（】含，氨）废？气可采用湿式吸【收法处理《处理：系统主要由》废气吸收塔、风机、！。管道：和吸收液循环—泵等：组成净化装》置可选用喷》淋吸收塔、填充式洗！涤塔、无泵吸—收塔、板式》吸，收塔等 【。 ：    《(2)对喷漆—。漆，雾废：气可采用水帘-【水洗：法处理？废气处理系》统主要由水帘—-水洗式喷漆室（】喷漆柜）、汽水【分离器、风机—、排气管、集水【池和水循环泵（或无！泵利用风机引—力，）等组成 】。 ，     》(3)可采用活【性炭固定《床吸：附法处理中》、低浓度苯》类废气、有机废气】(VOCs)、焊锡！烟气处理工艺可选】用半连续式流程【由预处理器（—除雾器、除湿器）】、活性炭固定床、蒸！汽或热空气供给【系统、溶《剂回收装《置、：风机和温度》探，测器等组成》溶剂回？收装置主要由—冷凝器和分》离器组成将》水和疏水性溶剂【分离并回《收有机溶剂废水进】行处理对水溶性【。的溶剂则用精馏的方！法进行回《收 ：   【  半连续式流程可！用两台活性炭—固定床其中一—台，进行吸附操作程序】另一台进行脱—附操作程序当—脱附周期大于吸附】周期时？则设计为《三台固定床并联【。。     】     (4)！可采：用直接催《化燃烧？法处理如漆包—线包漆作业、涂【层固化作业》等中、高浓度苯【类废气、有机废气(！VO：Cs)处理流程由】预处理（《。去除雾滴、颗粒【、，催化剂敏感有毒物】）、预热器、催化】反应器？、换热器《、，。。阻火器、温度探【测器、？风机、电《控柜和安全报警器】等组成 《  —   (5)可采用！活，性炭吸附浓缩催【化燃烧法处》理低浓度苯类废【气、有机废气—(VOCs)由预过！滤器、活性》炭吸附床、》催化燃烧床、—热交换器、阻火器】、温度探测》器、：风，机、电控柜和安【全报警器《等组：成当活？性炭吸附达到—饱和后用热空气脱附！使活性炭得到再【生脱附后《的有机溶剂送—往催化？燃烧床（温度—低于着火点）进行】催化燃烧废热气经】换热器又用于加热】空气对活《性，炭脱附再生形成利用！废热进行吸附-【脱附：-催化燃烧的废气净！化过程 】     (6)】可采用转《轮浓缩？燃烧法、转轮—浓缩蓄热《燃烧法、沸石转轮】活性炭吸附浓—缩燃烧？法处：理大风量《低浓度有机废气沸】石转轮浓缩燃烧法系！统由风机、高硅沸】石转轮？、热交？。换，器和：浓缩气体燃》烧器等组成转轮由】一组电机带》动旋转通《过机械变《换控制转速整个系统！通过吸附-解吸-冷！却3个过程周而【。。复始动态《循环 —。  ？  ： (：7)可采用蓄热燃】。烧法(RTO)、蓄！热式触媒氧化—器(：R，C，O，)处理大《风量低浓度有机废】气蔷热燃烧法系【统至少包括2个蓄热！床、进气控制设备、！加热及温《度，。控制设备蓄热床【内填充石质》或陶瓷蓄热材—。料欲处？理的V？。OCs？废气先进入一蓄【热床（A床）预【热至一定温度以【热氧化反应分—解成二氧化碳和水被！去除氧化反》应后高温《气体通过另》一蓄热床（B—床）时气体热—能被原已《冷却的？。蓄热材储《。存蓄热气《体则以较低的—安全温度《。排放待一定》时间：后欲处理废气则导入！该高温床（B床【）预热反应》后高温气体热量则】储存于？A床如此经由2个蓄！热床交互切》换燃烧与蓄热—（，热回收率95％以上！）完成“废》。气预热-VO—Cs燃烧分解-蓄】热降温排放》”的操？作循环 》 ，     (8！)可采用《转轮：浓缩：-低温？。冷凝回收处理如N】。MP：（N-甲基》吡，咯烷酮）《、DMAC(二甲基！乙酰胺？)等高沸《。点的有机溶剂系统】由过滤器、热交换器！、，冷却器、分子筛【转轮、再生》加热器、风机—和溶剂回收罐及循】环冷却水系统组成】分子筛转《轮由电机带动—缓慢旋转经过处理区！、冷：却区和再《生区周而复始—进行循环由》。于，流过：转，。。轮再生区的废—气流量是《转轮处理区》的废气流量的10％！～20？％废气中的有—。机溶剂浓《度被浓缩可达到【。20：倍经低温冷》凝后回收 》。 》  ：  (9)可采【用低温冷凝回—收-：吸附浓缩-脱—吸-再？冷凝回收处理如生】产塑料光纤的—。正丁硫醇、》甲基丙烯甲》酯(MMA)—。提，纯工艺？尾气、树脂挤—出，工艺废气《。等，有机溶剂类》和树脂类的》有机废气(VO【Cs：)冷凝回收系统由除！雾器、热交换器【、冷凝？器、集液槽、—活性炭吸附床—、分离器、真空【泵等组成 【     (】10)可采》用纤维过滤器+活性！炭吸附器处理焊锡】烟气采？用由粗效过滤—器、HEPA高密】度纤化玻《璃过滤材料和活【性炭组成的盘式过】滤器去除挥发的【松香树脂《等烟尘微《粒、锡、铅金属【烟尘（蒸汽）、乙醇！。溶剂等？有害性气《体组合？。。过滤效率可》达到99.5％以上！。 —    (11)可！采用滤？芯回收？法处理喷塑含尘废】气喷塑废气宜采用旋！风，。多管滤？芯粉末回收循环【系统粉末回收循【环，。系统：。。由离心？。风机、？风道：和滤网组成风机用】来，排风也？是整个系《。统气流流动的动【力风道定风向滤网是！最后：一道：防护分离出粉—末的洁净空气返【回到喷？粉室内以维》持喷粉室的微负压由！此，不外排？废气：回收的粉末》通过粉泵和》筛粉器后再使用【总体粉末回收—利用率平均达—。到98%（其—。余为树脂粉末废【渣）  ！ ，  (？12：)在电路板机加【。工，如备料、钻孔—、，冲切、刻槽》、磨边及光电—器件的玻璃基板划线！、去：。边、切割等工位上应！设有局部排风集尘】系统宜采用袋式除】尘器回收粉尘后【。的废气？从排气筒排》放，。 —    (13)】对硅烷、磷烷、【砷烷、硼《烷、溴化氢》等特殊有毒废—气应：。进行“源头处理【”(po《in：t of use】POU)根据有毒】尾气特性可采用等】离子体-三级水洗、！电热氧化-三级水洗！、催化分解-—三，级水洗、高温燃烧-！三级水洗、干式【吸附法等直接—在工艺点上配置【毒性：尾气：处理设备《和控制系统当P【OU系统出现问题】时工艺设备应停【止工作？为确保安全》处理后的尾气—应再：经中央湿法洗涤塔】。进行二次处理 【 《     (14)！对燃气锅炉》烟气、燃油》。锅炉烟气可直接采用！烟囱排放由》于使用清洁能源在】很多情况下》一般都能满足现行国！家标：准，锅炉大气污染物排放！标准GB 1327！1的要求 】  ？  ： 本条第4款—为强制性《条文为了《使剧毒废气在任何时！候都得到有》效处理确《。保生命安全因此规】定处理剧毒物质的】废气净化《装置应设置备—用一：般按N＋1配置【。。 4.】2，.5  《本条是关于废气净化！设，施布置的一》般规定 ！4.2.6  【本，条是关于排风系统】风机供电负荷等【级的规？定， —    1  一】般排风系统风机的】供电负荷等》级，应与该系《统对应的工艺—设备相？同 —     2 【 本款为强制性条】文之所以《规定“事《故排风及有毒有【害排：风系统的风》机必须设置应急电】源”是因为》该系统风机一旦【停电有毒、有害废气！将得：不到及？时排除并可能会扩】散至工作《场所对工作人员造】成伤：害 ？