？ ，4.2  系—统设置 》 4.2！.1  在电子工】程中依废气污—染处理方式通常将】工艺废气划分为【。酸性废气、碱—性废气、《有机(？VOCs《)废气、苯类废【。气、含尘《废气、焊锡烟气、有！毒废气等 ！    《 酸：性废气主要来源于使！用氢氟酸《、，。盐，酸、硫酸、硝—酸、磷酸等各—种酸液对制造电子元！件、电子器件的【材料、加工》件、：零部件进行酸腐蚀】、氧：化，、抛光？的表面处《理、对芯片进行【。表面清洗芯片外【延、：扩散、？干刻、金属化、C】VD等酸性工艺【尾气多？晶硅：制备的还原/热分解！工，艺尾：气氰化？银/金电镀工艺等主！。。要污染物为氟化物、！氯化氢、《硫酸雾？、氮氧化物、氯【气、氰化《氢等 》     【硝酸：。雾实际上是以氮氧】。化物(NO》x)形式《存在其中主要—。是二：氧化氮(《NO2)和》三氧化二氮(—N2O3) 】 ， ：    碱性废气】主，要来源于脱脂—、刻蚀、剥膜、扩】散、清洗、外延、】化学：气相沉积《、热分？解等工序使》用碱液(NaO【H、Na2》CO：3)、氨气、氨水、！有机胺类溶剂主要】污染物为氨气(【NH3)、恶—臭（胺类污染物如乙！胺、：乙二：醇胺、二乙》基，羟胺等）《   】  ：有机废气主要来源】于表面涂层工—艺（电子元器件、】电子组件、电路板组！件、整机机壳等）】使用溶剂型涂料【表面清？洗，工艺（包括芯片清洗！、电子组件清洗【、电路板清洗—等）：。使用有机脱脂—剂、脱水剂感—光成像工艺》中的光刻胶稀释剂】、显影剂、脱—胶剂、？液态：。阻焊：膜剂、去膜剂—等使：用有机溶《剂涉及的挥发性有】机化合物常见—的有甲醇《、乙醇、异》丙醇(IP》。A)、？乙二：醇、丙酮《、丁酮（甲基乙基酮！）、：环戊酮？、甲基异丁》基酮(MI》BK)、环已酮【、醋酸乙《酯、醋？酸丁：酯、：醋，酸戊酯、三》氯乙烯、二》氯甲：烷、丙二醇》甲基醚(PGE【M)、丙二醇甲【基醚酯(P》G，EMA)、乙—二，醇乙醚、乙二—醇丁醚、乙醇胺、光！刻胶等30多—种其中主《要是以150℃以下！的，低沸点有机溶剂为】主（用于清》洗剂、稀《释剂）去光刻—胶类：。化合物如D》MSO、ME—A、NM《P、：DM：A，C、DGA》则属于高沸点的【硫类和胺类之—有机溶剂且具有恶臭！主要污染《。物为非甲烷总烃（碳！） ： ？     苯类】废气主要来源于电】子产品外壳表面【喷漆、电路》板，组件三防喷漆—、零：部件浸？漆（：如变压器等）—。、漆包线包》漆等表面涂装—作业使用各》种油漆和稀释料主】要污染物为苯、甲】苯、二甲苯》和非甲烷总烃（碳】） 》     含尘废！气主要来源于—。电子产品《外壳表面《喷塑作？业使用树脂粉—末涂料工艺电路板】机加工工艺》光电器件的玻—璃基板划《线、去边、》切割工序等》主要污染物为—颗粒物 【     焊锡烟！气主要来源于—微电子组装、—电，路，板组装？、线：路板热？风整：平等工艺中》使用：锡焊料、助焊—剂在熔化温度(2】2，0℃～275℃)】下，除挥发出松香树脂等！烟，尘微粒外《还含：有微量铅、锡金【属烟尘（蒸气）、】CO、C《O2、？乙，醇溶剂等有》害气体主要污染物】为铅和铅化合物【、锡和锡化合—物 【 ，   有毒》废气（毒性工艺尾】气）主要来源于半】导体器件制造—的，氧化：、干法？蚀刻、外延、扩【散，、离子注入掺杂【、化：学气相沉积(CV】D)、金属化等工】序光：电子器件制造的【磊晶、薄膜生长【、干法蚀刻、—CVD等工序—使用多种高》纯特殊工艺》气体如S《。iH4？。（，硅烷：）、S？。iH3CH》3（甲基硅》烷）、Si》Cl4、SiH【Cl3(《三氯硅烷《简称TCS)—、SiH2Cl【。2（二氯硅》烷简称DCS)【SiF4、CF4】（全氟甲烷）—、CH？F3：（氟甲烷）》、C2H《2F6、WF6、S！F6、NF》。3、BF《l3、BCl3【、，。。PH：3（磷化氢）—、AsH《3（砷化《氢）、GeH3【（锗烷）《、HBr等 】     1 ！ “不？相，容”原则是》指，两种或几《种物质混《合能引起《燃烧、爆炸》或形成危害更大的物！质例如SiH4【。和NF3相混合有发！生爆炸和火灾—的可能性按“不相容！。”的原则需要分别】设计独立的收集【系统与净化》系统：  【  ： 酸性废气》与碱性（氨）废气】宜分别？设计独立《的收集系统与净【化，系统以避免因酸【碱气：体混流？产生：如，氯化铵微粒子形成白！烟处理效率下降增设！除雾：器，可以改善处理—效率 《     2！  本款《。为强制性条》文由于有毒》。废，气，毒性大？同时亦？有高度的腐蚀—性和爆炸性因—此作为安全生—产的：必要：。条件这类有毒气【体应受到严格管【理污染？处理：系统独立设置并【且各企业生产过【程中：一般都设有在—线报警？装置 — 4.《2.2  本条是关！。于废气污染防治【末端处理系统—的集气罩、排风量】的，规定 ？ 》    密闭式【集气罩的设置—是为了尽可能多【。的捕集污染物达【到无：明显的？无组织？排放源合理的吸【。气口位置、》结构和风速易—。于使集气罩内形成均！匀负压以防止有毒】有害：气体外泄；》系统排风量也不宜】过大系统《排风量过大既—增，加，了能耗也《不，利于废气处理净化效！率因此需要》合理：计，算集气口面积—、系统风量有条【件时可采用实测数】据 》 ：    集气—罩吸气口《的布置？。应充分利用气—流的运动作》用防止集气罩周围的！紊流尽？可能避免《或减弱干扰》气流、穿堂》风和送风气流等【对吸气气流的影响 ！ 《     排风量应！满，足现行国家》。。标准工业企业—卫生设计标准G【BZ ？1的相关要》求并：使作业场所》有，毒，有害物质浓度达到现！行国：家标准工作场所【。有害：。因素职？业接触？限值GB《Z 2的《要求： 4.】2.：3  本《条是：关于排风系统管【路配置的规定—     】  ？   1  应按照！废，气性：质和废气温度并考虑！耐，酸、耐碱、抗腐【蚀、耐高温、防【火等特性对排风系】统管路材质》进行：选择  ！ ，  2 《 管路内易》形成积？。液，的排风系统其排【风管道应采》取可：靠的密封措施—防止积液从管—。道接口等处》渗漏影响生产—管道：应，设置一定的坡度坡】向，低点并在《低点设置排液—收集口排液应排至】相应的？废，水收：。集和处理系统— ：  》  ： 3  本》款的：目的是防止粉尘【沉，积在产尘源》处和管？道内 【   ？  6  为了得】到较高的《。。烟，气台升高度》使排放的气体迅【速扩散？至，大气中防止排（【烟）气？下沉排气筒出口排】（烟）气流》速不得低于该排气筒！出口处环境大—气，平均风速的1—。.5倍并不宜小【于15？m/：s ？ ？ 4.2.4  本！条，是关：于废气净化系统【选择的规《定  】   针对电子工】程产生的废气以下列！举国：内外一般所》采取的末端处理【方法  ！   (1)对【酸性废？气、碱性（含—氨）废气可采用【湿式吸收法处理【处理系统《主要由废气吸收塔、！风机、管道和吸收液！循环泵等组成净化装！置可选用喷淋吸收塔！、填充式洗涤塔【、无泵吸收塔、【板式吸收塔》等 》     —(2)对喷》漆漆雾废气》可采用水帘》-水洗法《处，理废气处《。理，系统主要由水帘-水！洗式喷漆室（喷漆柜！）、汽水分离器、】风机：、排气管《、集：水池和水循环泵（】。或无泵？利用风机引力）【等组成 ！    (3)可采！用活性炭固定床【。吸附：。法处理中、低浓度苯！类废气？、有机废《气(VO《。Cs)？、焊锡烟气》处理：工艺可选用半连续式！流，程由预？处理器？（除雾器、除湿【器，）、活性炭固—定床、蒸汽》或热空气供给—系统：、溶剂回收装—置、风机和温度探】测器等组成溶剂回收！装置：主要由冷《凝器和分离器—。组成将水和疏水性】溶剂分离《并回收有机溶剂废水！进行处理对》水溶性的溶》剂则用精馏的方法进！行回收 》 ：    》 半连续式》流程可用两台活【。性炭固定床其—中，一台进行吸》附操作？程序另一台》进行：脱附操？作程序当脱附周期大！于吸附周《期时则？设计：。为三台固《定床并？联    》 ？  《。   (4)—可采用直接催化燃烧！法处理如漆包线【包漆作？业，、涂层固化作业等中！、高浓度苯》类废气、有机—废气(V《OC：s)处理流程由【。预，处理（去除》雾滴、颗粒、催化剂！敏感有毒物》）、预热器、催化反！。应，器、换热《器、阻？火器、温度探测器、！。风机、电控柜和【安全报警器》等组成 》 ：     (5】)，可，采用活？性炭：吸附浓缩催化燃烧】法处理低《浓度苯类废气、有】机废气(VOCs】)由：预过：滤器、活性炭吸附床！、催化燃烧》床、热交换器、阻】火器、温度探测器、！风机、电控柜和安】全，报，警器等？组，成当活性炭吸—附，达到饱和后用热空气！脱附使？活性炭得《到，再生脱附后的有机溶！剂送往催化燃烧【床（温度低于着【火点）进行催化燃】。烧废热气经换热【器又用于加》热空气对活性炭【脱附再生形成利【用废热进行》吸附：-脱附-催化燃烧】的废气净化》过程：  【   (6)可【。采用：转轮浓缩燃烧—法，、转轮浓缩》蓄热燃烧法、—沸石转轮《。活性炭吸附浓缩燃烧！法处理大风量—低浓：度有机废《气沸石转轮》浓缩燃烧法系—统，由风机、高硅沸【石转轮、热交换器】。和浓缩气体燃烧器等！组成转轮由一组【。。电机：带动旋转《通过机？械变换控制转速整】。个系统通《过吸附-解吸—-冷：却3个过程》周，而复始动《态循环 】。     (—7)可采用蓄—热燃烧？法(RTO》)、：蓄热式？触媒氧化器(—RCO)处理大风】量低浓？度有机废气》蔷，热，。燃烧法？系统至少《。包括2个《蓄热床？。、进气控制设备【。。、加：热及温度控制设【备蓄热床内填—充石质或陶》瓷蓄热材料欲处理的！VOCs《废气先进入一蓄【热，。。床（A床）预热【至一定温度》以热氧化《反，应分解成二》氧化碳和水》被去除氧化反—应后高？温气体通《过，另一蓄热床（B床】）时气体热能被原已！冷却：的蓄热材储存蓄【。。热，气体：。则以较低的安全温】度排放待《一，。定时间后欲处—理废气则《导入该高温》床（B床）预热反应！后高温气体热量【则储存？于，A，床如：此经由2个》蓄，热床交？互切换燃《烧与蓄热（热回收】率95？％以上）《完成“废气预热-V！OCs燃烧分—解-蓄热降温—排放”？的操作循环 ！ ，  ：   (8》)可采用转轮浓缩-！低温冷凝回》收处理如NMP（N！-甲：基吡咯烷酮》。），、DMAC(—二甲基乙酰胺—)等高沸点》的有机溶剂系统由】过滤器、热交—换器、冷却器、分子！筛转轮、再生—加热器、风机和溶剂！。回收：罐及循环冷却水系统！组成分子筛转—轮由电机《带，动缓慢？旋转经过处》理，区、冷却区和再生】区周而复始进行【循，环，由于流过转轮再【生区的废气流量是】。转轮处理《区，。的废气流量的10％！～，20％？废气中的有机溶剂浓！度被浓缩可达—到2：0倍经？低温冷凝《后回收 【     (9)！。可采用低温冷—凝回收-吸》附浓缩？-脱吸-再冷凝【回收处理如生—。产塑料光纤的正丁硫！醇、甲基丙》烯甲酯(MMA)】提纯工？艺尾气、树》。脂挤出工艺废气【等有机？溶剂类和树脂类【的有机废气(VO】。Cs)冷凝回收系】统由除雾器、热【交换器、《冷凝器？、集液槽《、活性炭吸附床、】分离器、真空—泵等组成 【    — (1？0)可？采用纤？。维过滤器+活—性炭吸附器处—理焊锡烟气采—用，由，粗，效过滤器、HEP】A高密度《纤，化玻璃过滤材料【。和活性炭组成的盘式！过滤：器去除挥发的松【香树脂等《烟，尘微粒、锡、—铅金属烟尘》（蒸汽）、乙醇溶】剂等有？害性气？体组合过滤效—率可达到99.5％！以上 《   —  ：(11)可采—用滤芯回收法处【理喷塑含尘废气喷塑！废气宜采用旋风多管！滤芯粉末回收循【环系统粉末回—收循：环系统由离心风机】、风道和滤网组【成风机用来排风也】是整个？系统气流流》动的：动力风道定风—。向滤网是最后—一道防护分离出【。粉末的？洁净空气《返，回，到，喷粉室内以维—持喷粉室的微负压由！此不外排废气回【收的粉末《通过粉泵和筛粉器后！再使用总体粉末【回收利用率平均达到！98%（其余—为树：脂粉末废渣》）   ！  (1《。2)在电《路，板机加工如备料、钻！孔、冲切《、刻槽、磨边及【光电器件《的玻璃基板划线、去！边、切割等》工位上应设有局【。部排：风集：尘系统？宜采用袋式除尘【器回收粉尘后的废气！从排气筒排放 ！。 ： ，    (》13)对硅》烷、磷？。。烷、：砷烷：。、硼烷、溴化氢【等特：殊，。有毒：废，气应进行“源头处理！”，(poin》。t of useP！OU)根据有毒【尾气特性可采—用，等离子体-三—级水洗、电热氧化-！三级水洗、催化分解！-三级水《洗、：高温燃烧-三—。。级水洗、干式吸【附，法等：直接在工艺点上【配置毒性尾气处理设！备和控制系》统，当，POU系统出现问题！时，工艺设备《应停止工《作为：确保安？全处理后的》尾气应再经中央湿法！洗涤塔进行二次处理！。 ？   》  (？14)对燃气锅炉】。烟气、燃《油锅炉烟《气可直？接采用烟囱排放由于！使用清？。洁能源在很》。多情况下一》般都能满足现行国家！标准锅炉大气—污染物排《放标准GB 132！71的要求 】   》  ：本条第4《。款为强制《性，条文为了使剧毒废】气在：任何：时候都得到有效处理！确保：生命安？全因此规定处理剧毒！物质的废《气，净化装？置应设置备》用一般按N＋—1配置 】 ，4.2.5  本】条是关？于废气净化》设施布置的一—般规定 【。 4.《2，.6  本条是关】于排风系《统风机供电》负荷等级的规定 】 》 ，   1《  一般排风系【统风机的供电负荷等！级应与该系》统对应的工艺设备相！同 【  ：  ：2 ： 本款？为强制性条文—。之，。所以规定“事故排】风及：有毒有害《。排风系统的》风机必须设置应急】。电，源”是因为该—系统风机一旦停【电有：毒、有？害废气将得不—到及时排除并—可能会？扩散至工作场所【对工作人《员造成伤《害 ？