。 4.2【  ：系统设置 ！。 4.2.【1  在电子工【程中依废气污染【处理：方式通常将工艺废】气，划分为酸性废气、碱！性废气、有机(VO！Cs)？废气、苯类废—。气，、含：。尘，。废气、？焊锡烟？气、有？毒废气等 — ， ？    酸》性废气主《要来源？于使用氢氟酸、【盐，。酸、硫酸、硝酸【、磷酸等各种酸【液对制造电》子元件、电子器【件的材料、加工【件、零？部件：进行酸腐蚀、—氧化、抛《光的表面《处，理、对芯片进行表】面清洗芯片外延、扩！散、干刻、金属【化、CVD等酸【。性工艺尾气多晶硅】制备的还《原/热分解工艺尾】气氰：化银/金电镀工艺等！主要污染物为—氟化物、氯化—氢、硫酸《雾、氮氧化物、氯】气、氰？化氢等 ！    《硝酸：雾实际？上是以氮氧化物(N！。。Ox)形式存在其中！主，要是二氧化氮—(，NO：2)和三《氧化二氮(N2O3！) 【    《碱性废气主要—来源于脱脂、刻蚀、！剥膜：、扩散、清》洗、外延、化学【气相沉？积、热分解等—工序使用《碱液(NaO—H、Na2CO3】)、氨气、氨水、有！机胺类溶剂主要污】。染，。。物为氨气(NH3)！、恶臭（《胺类污？染物如乙胺、乙【二醇胺、《二，乙基羟胺《等，）  】   有机废气主要！来源于表面涂—。层工艺（电子元器件！、电子组件》。、电路板组件、整】机机壳等《）使用溶《。剂型涂料表面清【洗，工艺（？包括芯片清》洗、电子组》件清洗、电路板【清洗等）使用有机】脱脂剂、脱水—。。剂，感光成像工艺中的】光刻胶稀释剂、显影！剂、脱胶剂、—。液态阻？。焊膜剂、去》。。膜剂等使《用有机溶《。剂涉及的挥发—性有机化合物常【见的有甲醇、—乙醇、异丙醇—(IPA)》。、乙二醇、丙酮、】丁，酮（甲？基乙基酮）、—环，戊酮：、甲基异丁基酮(M！IBK)、》环已酮、醋酸乙酯】、醋酸丁酯、醋【。酸戊酯、三氯—乙烯、二《氯甲烷、《。丙二醇甲基醚(【。PGEM)、—丙二醇？甲基醚酯(PGEM！A，)、乙二醇乙醚、乙！二醇：丁醚、乙《醇胺、光《刻胶等30》多种：。其中主要是以—150℃以下的【低沸点有机溶剂为主！（，用于清？洗剂、稀释剂—）去：光刻胶类化合物如D！MSO、MEA【、N：MP、DMAC、】DGA？则，属于高沸点的硫类】和胺：类之有机溶剂且【具有恶臭主要污染物！为非甲烷《。。。总烃（碳） ！     —。苯类废？气主要来源》于电子产品外壳表面！喷漆、电路板组件】三防喷漆、零部件】浸漆（如变压器等】）、：漆包线包漆》等表面涂装作业使用！各种油漆和稀释料】主要污染物为苯、】。甲苯、二甲苯和非】甲烷总烃（碳） 】 ？     含尘】废气：主，要来源于电子产品外！壳表面喷塑作业使】用树脂粉末涂料工】艺电路板机加工工艺！光电器件的玻璃【基板划？线、去边、切割【工序等主《要污染物《为颗粒物 ！     》焊锡：。烟气主要来源于【。微电子组装、电路】板组装、线路板热】风整平等工艺中【使用锡焊料、助【焊剂在？熔，化温度(220℃】。～2：75℃？)下除？挥发出松香树脂等烟！尘，微粒外还含有微量铅！。、，锡，金属烟尘（蒸气）】、CO、CO2、】。乙醇溶剂等有害气】体主：要污染？物为铅和铅化合物】、锡和锡化》合，物 ？ 《  ：。  有毒废气（【毒性工艺尾气）【主，要来源于半导体器件！。。制造的氧化》、，干法蚀刻、外延、】。。扩散、离子注入掺】杂、化学气》相沉积(C》VD)、《金属化等《工序光电子器—件制造的磊》晶、薄？膜生长、干法蚀刻】、CV？D等工序《使用：多种高纯特殊—工艺：气体如SiH—4（硅烷《）、SiH3CH3！（，甲基：硅烷）、SiC【l4、S《iHCl3(三【氯，硅烷简称TC—S)、Si》H2Cl2（二【氯，硅烷简称DCS)】。SiF4、》。CF4（全氟甲烷）！、CHF3（氟甲】烷）、C2H2F6！。、WF6、S—F6、NF3、B】Fl3？、，BCl3《、PH3（磷化【。氢）、A《sH3（砷化—氢）、？GeH3《（锗烷）《、HBr等 【 《    1》  “不相容—”原则是指两种或几！种物质混合能—引起：燃烧、爆炸》。或形成？危害更大的物质例】如SiH4和NF】3相混合有发—生爆炸和《火灾的可能性—按“不？相容：”的原？则需要分《别设计独《立的收集系统—与，净化系统 ！     酸—性废气与碱》。性（氨）废气宜【。分别设计《独立的？收集系统《与净化？。系统以？避免因？酸碱气体《混流产生《如氯化铵微粒子形】。成白烟？处理效率下》降增设除《雾器可以改善处理效！率 ：     ！2  本《款为强制性》。。条文由于有毒—废，气毒性？大同时亦有高度的】。腐蚀性和爆炸性【因此作为安》全生产的《必要条件这类有毒气！。体应受到严格管理污！染处理系统独立设】置并：。且各企业生产过【程中一般都设有在】线报警装置》 4.】2.2？。  ：本条是关于废气污染！防治末端《处理：系，统的集气罩、排风量！的规：定 ：  —   密闭式集【气，罩的设置《是为了尽可能多【的捕集污染物达到无！明显的无组织排放】源合：理，的吸气口《。位置、结构》和风速易于使集气】罩内形成均匀负压以！防止有毒有》害气体外泄；系【统，排风量也《不宜：过大系？统排：风量过？大既增？加了能耗也不—利于：废气处理净化效率因！此需要合理计算集】气口面积、系统【风量有条件时可【采，用实测数据 【 ，   》  集？气罩吸气口的布置】应，充分利用气流的运动！作用防止《集，气罩周？围的：紊流尽可《能避免或减弱干【扰，气流、穿堂风和【送风气流等对吸气】气流：的影：响 ？   —。  排风量应—满足现行国家—标准工业企业卫生设！计标准GBZ 1的！相关：要求并使《作业场所有》毒有：害物质浓度达到【。现，行国家标准》工作场所有害因素职！业接触限值G—BZ 2的要求 】 4.2.！3  本《条，是关于？排风系统管路配置】的规定   —  ：    】。 1  应按照【废气性质和》废气：温度并考虑耐酸、】耐碱、？抗腐蚀、耐高—温、防火等特—性对排？。风，系，统管路材质》进行选择 — ？     》2  管路内易【形成积液《的排：风系统？其排：风，管道应采取可靠的密！封措施防止积液从】管道接口《等处渗漏影响生产管！道应设置一定的坡】度坡向低点并在【。。低点设置排液收【集口排液《应排至？相应的废水收集【和处理系统 】 ，     —3，  本款的目—的是防止粉尘沉积】。在产尘源《处和管道内 】  《   6  为【了得到较高》的烟气？台升高？度，使排放的气》体迅速扩散至—大气中防《止排（烟《）气下沉排气筒出】口排（烟）气—流速不得低于该排气！筒出口处环境大【气平均风速的1【.5倍并不宜小于】15m/s 】 4.》2.4  本条是关！于废气净化》系统选？择的：规定 【     针对【电子工程产生的【废气以下列举国【内，外一般所采取的末】端处理方法》  【   ？(1)？对酸性废气、碱性】（含氨？）废气可采》。用湿式吸收法处理】处理系统主要—由废气吸《收塔、风机、—管道和吸《收液循？环泵等？组成净化装置可选用！喷淋吸收塔》、，填充式洗涤塔、无】泵吸收塔《、板式吸收塔等 ！ ？     (2)】对喷漆？漆，雾废气可采用水帘】-水洗法《处，。理废气处理系统主】要由水帘-水—洗式喷漆室》（喷漆柜）、汽水分！离器、风机、—排，气管、集水池和【水，循环泵（或》无泵利用风机引【力）等组成 — ：    — (3)可采用活性！炭固：。定床：。吸附法处理中、低浓！度苯类废气、有机废！气(VOCs)【、焊：锡烟气处理》工艺可选用半连续式！流程由预处理器【（除雾器、除湿器）！、，活性炭固定床、蒸】汽或热空气供给系统！、，溶剂回收装置、风机！和温度探测器等组】成溶剂回《。收装置主要由冷凝器！。和分离器组成将水和！疏水性溶剂分离【并回收有机溶剂【废，水进行处理对—水溶性的溶剂则用】精馏的方法进行回收！ ？ ：  ：   ？半连续？式流程可用两—台活：性炭固定床其中一】台进行吸附操作程】序另一台《进，行脱附？操作程序当脱—。附周期大于吸—附，周期时则设计为【三台固定床并联  ！   】 ，   (《4)可采用直接催】化燃烧法处理如【漆包线包漆作业【、涂层固化作—。业，等，中、高浓度》苯类废？气、有机废气(V】OCs？)处理流程由预处】理（：去，除雾滴、颗粒—、催化剂敏》感有毒物）、—预热器、催化反【应器：、换热器、阻火【器、：温，度探测？器、：风机、电控柜—和安：全报警器等组成 ！ ：    》。 ，(5)可采用活【性炭吸附浓缩催【化燃烧法处》理低浓度苯》类废气、《有机废气《(VOCs)由【预过滤？器、活性《炭，吸附床？、催化燃《烧床、热交换—器、阻火器、温度】探测器、《风机、电《控柜和安全报警器等！组成当活性炭吸附达！到饱和后用》热，空气：脱附使活性》炭得到？再生：脱附后的有机溶【剂送往催《化燃烧床《（温度低于着火点）！进行催化燃烧废【热，气经换热器又用于】加热空气对活性炭脱！附再生？形成利用废热—进行吸附-》脱，附-催化燃烧的【废气净化过程— ， ，     (！6)可采《用转轮浓缩燃烧法】、转轮浓缩》蓄热燃烧法、沸石】转轮活性炭吸—附浓缩燃烧法—处理大风《量，低浓度有机废气沸】。石转轮？。浓缩燃烧法系统由】风机、高硅沸石转轮！、热：交换器？和浓：缩气体燃烧器等组】。成转轮由一组电机带！动旋转通过机械【变换控制转速—整个：系统通？过吸附？-，。解吸：-冷却？3个过程周而—复始动？态循环 】    《 (：7)可采用蓄热【燃烧法(RT—O)、蓄热式触媒】氧化器？。(RCO)处理大】。风量低浓度有机【废气蔷热燃烧法系】统，至少包括2》个蓄热床、进气控制！设备、加《热及温度控制—设备蓄？热床内填充石质【或陶瓷蓄《热材料欲处理的【V，O，C，s废气先进入一蓄】热床（A床）—预，热至一定《温度以热《氧化反应分》解，成二氧化碳和水被】去除：氧化反应后高温【气体通过《另一蓄热床》（B床）时气—体，热能被原已》冷却的蓄热》材储存蓄热气体则以！较低的安全温度【排放：待一定时间后欲处】理废气则导入该高温！床（B床）预热【反，应后高温气体热量】则储存于《A床如此经由2【个蓄热床《交互切换燃烧与蓄热！（热回收率》9，5％以上）》完成“废气预—热-：。VOCs燃烧分解-！。蓄热降温排放—”的操作循环 】   —  ：(8)可采用转轮】浓缩-低温冷凝回收！处理如NMP—（N-？。甲基吡？咯烷酮）、DM【AC(二《甲基乙酰胺)等【高沸：点的有机溶》。剂系统由过滤器、热！交换：器，。、冷却器、》分子筛？。转轮、再生加热【器，、风：机和：。溶剂：回收罐及循环冷却】水系：统组成分子筛—转轮：由电机带动》缓慢旋转经过处理】区，、，冷却区和再生区周而！复始进行循环由于流！。过，转轮再生区的废【气流量是转轮处理】。。。区的：废气流？量的10％～—20％废《气中的有机溶—剂浓度被浓缩可达到！20倍经低温冷凝】后回收 ！    (》9)可？采用低温冷凝回收】-吸附浓缩-脱吸-！再，冷凝回收处理—如生产塑料光—纤的正丁硫》醇，、，甲，基，丙烯：甲，酯(M？MA)？提纯工艺尾气、树脂！。挤出：。工艺废气等有机溶剂！类和树脂类的有【机废气(《VOCs)冷凝回收！系统由除雾器—。、热交换器、冷凝器！、集液槽、活性炭吸！附床、？分离器、真空泵【等，组成：  【   ？。(10)可》采用纤？维过：滤器+活性炭吸附】器处：理焊锡烟《气采用由粗》效过滤器、H—EPA高密度—纤化玻璃过滤材料和！活性炭组成的盘式】过滤器去除挥发【。的松香树脂等烟尘微！粒、：锡、铅金属》烟尘（蒸汽）—、乙醇溶剂等—有害性气体组合【过滤效率可达到99！.5％以上 【     】(11)可采用滤】芯回：。收法处理喷塑含【尘废气喷塑废气【宜，采用旋？风多管滤芯粉末回收！循环系统粉末回收】循环系？统由离心风机、风道！和，滤网组成风机用来】。排风也是整个系【统气：。流流动的动力—风道定？风，向滤网是最后一道】。防护分离出粉末【的洁净？空气返回到喷粉室】内以维持喷粉室的微！负，压由：此不外排废》气回收的粉》末通过粉泵和筛粉器！后再使？用总：体粉末回收利—用率平均《达到98%（其余为！树脂粉末废渣）【 》     (—12)在《电路：板机加工如备—料，、钻孔、冲》切、刻槽、磨边及】光电器件的玻璃基板！。划线：、去边、切割等【工位上应《设有局部排风—集，尘系统宜采用—袋式除尘器回—。收粉尘后的废气【从排气筒《排放 【     (13】)对硅烷、磷烷【。、，砷烷、硼《烷、：溴化氢等《特殊有毒废》气应进行“源头处理！”，(poin》t of us【ePOU《)根据有《。毒尾气特性可采用等！离子体-三级水洗】、，电热氧化-三级水洗！、催：化分解-《三级水洗、高温燃烧！-三级水洗、干式吸！附法等直接在工艺点！上配置毒《。性尾气处理设备和】控制系统当POU】系统出现问题—时工艺设备》应停止工作为—确保安全处理后【的尾气应再》。经中央湿法洗涤【塔进行二次处理 ！ ？ ，  ：  (14)对燃】。气锅：。炉烟气、燃油锅炉】烟气可直接采—。用烟囱排放由于使用！清洁：能，源在很多情况下【一般都能满足现行】国家标准锅炉大气污！染物排放标准GB】 ，132？71的要求 】     本】条，第4款为强制—性条文？为了使？剧毒废气在任—何时候都得到有效处！理确保？生命安全因》此规定处理剧毒物】质的：废气净化《装置应设置备用【。一般按N＋》1配置 — 4.2.5】。  ：本，条是关于废气净化设！。施布：置的一般《规，定 — 4.2.6 【 本条是关于排风系！统风机供电负—荷等级的规定 【    】 1 ？ 一般排风系—统风机的供电负荷】等，级，应与该系统》对应的工艺设备相】同 》   《  2？  本款为强—制性条？文之所以规定“【事故排风及有毒【有害排风系》统的风机必》。须，设置：。应急电源”是因为】该系统风机一旦停电！有，毒、有害废气将得不！到及时排除并可【能会扩散至工作场】所对：工作：人员造成伤害 【 ，