： 4.2》  系统设置— ？ 4.【2.1？。  在电子工程中依！废气污染处理方式】通常将工艺废—气划分为酸性—废气、碱性废—气、有机(VO【Cs)废气、苯【类废气？、，含尘废气、焊锡烟气！。、有毒废气等 【。     ！酸性废气主要来【源于：使用氢氟《酸、：盐酸、硫酸、硝酸、！磷酸等各种酸液对制！造电子元件、—电子器件的》材料、加工件、【零部：件进行酸《腐，蚀、氧化、》抛光的表面处理、】对，。芯片进行表面清洗】芯片：外延、扩《散、干刻《、金属化、C—VD等酸性工艺尾气！多晶硅？制备的？还原/热分解—工艺尾气《氰化银/金电镀【工艺等主要污染物】为氟化物、氯化氢、！硫酸雾、氮氧化【物、：氯气：、氰化氢等 ！     硝【酸雾实际《上是以？氮氧：化，物(NOx)形式】存在其？中主要是《二氧化？氮，(NO？2，)和三氧《化，二氮(N2O3)】 ：。 ，     碱】性废：气主要来源》于脱脂？、刻蚀、剥膜、扩】散、清洗、外延、化！。学气相沉积、—热分解等《工序：使用碱液(Na【OH、Na2—。。C，O，3)、氨气、氨【水、有机《胺类溶剂主要污染】物为氨气(NH3】)、恶臭（胺类【污染物如《乙，。胺、：乙二醇胺、二乙基】羟胺等） ！ ， ，  ： 有机废气主要来】源于表面涂层—工艺（电子元器件、！电子组件、》电路板？组件、整机机壳等）！使用溶？剂型涂料《表面清洗工艺—（包括？芯，片清洗、电》子组件？。清洗、电路板—清洗等）使用有【。机脱脂？。剂、脱？水剂感光《成像工艺《中的光刻《胶，稀释剂、《显影剂、《脱，胶剂、液态》。阻焊膜剂、去膜剂等！使用有机溶剂涉及的！挥发性有机化合物】常见的有《甲，醇、乙醇《。、异丙醇(I—PA)、《乙二醇、丙酮—、丁：酮（甲基乙基酮）】、环：戊酮、甲基异丁【基酮(M《IBK)、环已【酮、：。。醋酸乙？酯、醋酸《丁酯、醋酸戊酯【、三氯乙烯、—二，氯甲烷、丙二醇甲】基醚(PGEM)】、丙二醇《甲，基醚酯(PGE【M，A)、乙二醇乙醚、！乙二醇丁醚、乙【醇胺、光刻胶等【30多？种其中主要是以【150℃《以下：。的低：沸点有机溶剂—为主（用于》清，洗剂、稀释剂—）去光刻胶类—化合物如DMSO】、MEA《、，NMP、DM—。AC、D《GA：则属于高《沸，点，的硫类和胺类—之，有机：溶剂且具有恶臭【主要污染物》为非：甲烷总烃（碳） ！     苯！类废气主要来源于】电子：产品外壳表面喷【漆、电路《。板组件三防喷漆、零！。部件浸漆（如变压器！等）、漆《包，线包漆等表面涂装】作业使？用各种油漆和稀【释料主？要，。污染物？为苯、甲《苯、二甲苯和非【甲烷总烃（碳）【 ， ？     含尘废！气主要来源》于电子产品外—壳表面喷塑》作业使用树脂粉【末涂料工艺》电路：板机加工工》艺光电器件》的玻璃基板划线、去！边、切割工序等【主要污染物为—颗粒：物 ？     】焊锡烟气《主要来？源于：微电子组装、—。电路板组装、线路板！。热风整平等工—艺中使用锡焊料【、助焊剂《在熔化？。温度：(220《℃，～275℃》)，下除挥发出松香【树脂等烟尘》微粒外？还含：有微量铅、锡金【属烟尘（《蒸气：）、CO《、CO2、乙醇【溶剂等有害气体主要！污染物为铅和—铅化合物、锡和锡】化合物 — ， ，     有毒【废，气（毒性工艺尾气）！。主要来源于》。半，导体器？件制造的氧化、干】法蚀刻、外延、扩散！、离子注入掺杂、化！学，气相沉？积(CVD》。。)、金？属化等？工序光电子》器件制造的磊晶、薄！膜生长、干法—。蚀刻、CVD—等工序使用多—种高纯特殊工艺气体！如SiH4（硅烷）！、S：iH3？。CH3（《甲基硅烷）、S【。iCl？4，、S：。iHCl3》(，三氯硅烷简称TCS！)，、SiH2C—l2：（二氯硅《烷简称？DCS)SiF4】、CF？4（全氟甲烷）、】CHF3（氟甲烷】）、C2H2F【6、WF6、SF】6、：NF3、B》F，l，3、BC《l3、PH3（【磷化氢）、》As：。H3（砷化》氢）、GeH3（】锗烷）、HBr【等 ？ ？ ，    1  “】不相容”原则是指】两，种或几？种物质混合能引起燃！烧、爆炸或》形成：危害更？大的物质《例如S？iH4和《NF3相混》合有发？生爆炸和火灾的可】能性按“不相—容，”的原？则需要分别设—计，独立：的收：集系统与净化系统】 ，   【  酸性《废气与碱《性（：。氨）废气《宜分：别设计独立的收集】系统与净化系统以】。避，免因酸碱气体混流产！生如氯化《铵微粒子形成—白烟处理效》率下降增设除雾【器可：。以，改善处理效率 【   【。  ：2 ： 本款？为强制性《条文由？于有毒废《气，毒，性，大同时亦有高度的腐！蚀性和爆炸性因此作！为安全生产的—必要条件《这类有毒气体应受】到严格管理》污染处？理，系统独立设置并且各！企，业生产过程》中一般都设》有在线报《警，装置 4！.，2.2  》本条是关于废气污】染防治末端处理系】统的集气罩、排风】量，。的，规定 ？  —  ： 密：闭式集气罩的设置是！为了尽可能》。多的捕集污染物达】到无明显的无—组织排放源合理【的吸气口位置、结构！和，风速易于使集气罩内！形成均匀负压以【防，止有毒有害气体【外泄：；系统排风量也不宜！过大系统排风量过】大，既增加了能耗—也不：利于废气处》理净化效率因此【。需要合理《计算集？气口面积、系统【风量有条件》时可：采用：实测数据 ！     集气罩】吸气口的布置应充】分利用？气流的运动作用防】止集气罩周》围的：紊流尽？可能避免或减—弱干扰气流、穿堂】风和送？风气流等对吸气气】流的影响 】    》。 排风量应满足现行！国家标准《工业企业《卫，生设计标准G—BZ 1的相关要求！并使作？业场所有毒有害物】质浓度达《到，现，行国家标准》工，作场所有《害因：素职：业接：触限值？GBZ 《2的要求 ！ 4：。.2.3《  本？条，是关于排风系统管路！配置的规定》  ：   ？ ： ？    1  【应按：。照废气性《质和废气温度并考虑！耐酸、？耐碱、抗《腐蚀、耐高》温、防？火等特性对排—风系统管路材质进行！选择 ？ ：     【。2，  管路内易形成积！液的排？风系统其排》风，管道应采取》可靠的？密封措施防止—积液从管道接口【等处渗漏影响生产】管道应设置一定的坡！度，坡向低点并在低点设！置排液收集口排【液应排？至，相应的废水》收，集和处理系统 【 ？  ？ ，  3  本款的目！的是：防止粉尘沉积在产尘！源处和管道内 【   【。  ：6  ？为了得到较高的【烟气：台升高度使》排，放的气体迅速扩【散至大气中防—止排（烟）气下沉】排气筒出口排（烟】），气流速不得低于该】排气筒？出口处环境》大气平？均风速的1.—5倍并不宜小于15！m/：s 《 4.2.4】。  本条《是关于废《气，净化系统《选择的？规定 【。     针对电子！工，程产生的废》气以下？列举国内外一般【所采：取的末？端处理？方，法 【    (》1)对酸性废气、】碱性（含氨）废气可！采用湿式吸收—法处理？处理系统主要由【。废气吸收塔、风机】。、管道和吸收液【循环泵等组成净【化装置？可选用？喷淋吸收塔、填【充式：洗涤塔、无泵吸收塔！。、板式吸收塔等 】    】 (2)对》喷漆漆雾废气可【采用：水帘-？水洗法处理废气【处理系统主要由【水帘-水洗式喷【漆室：（喷漆柜）、汽水】分，。离器：、风机、排气管、集！水池和水《循环：泵（或无泵利—用风机引力）—等组成 】   ？ ， (3)可采用【活，性炭固定床》吸附：。法处：理中、低浓》度苯类废气、有【机废气(VOCs】。)、焊锡烟气处【理工：艺可选用半》连续式流程》由预处理器（—。除雾：器、除湿器》）、：活性炭固定床、蒸汽！或热空气供给—系统、溶剂》回，收装置、风机和【温度探测器等组成溶！剂回收装置》主要由冷凝器和分】离器组成将水和疏】水，。性溶剂分离并—回，收有机溶剂废水【进行处理对水—溶，性的溶？剂，。则用精？馏的方法进》行，回收  ！   ？半连续式流程可【用两台活《性炭固定床其中一】台进行吸附操—作程序另《一台进行脱附操作】程，序当脱附《。周期大于吸附—周期时？则设计为三》台固：。定床并联    】 ： 《    《(4)可采用直【接催化燃烧法—处理如漆包线包【漆作业？、涂层固化》作业等中《、高浓度苯类废气】、有机？废气(？VOCs)处理流】程由：预，处理（去除雾—滴、颗粒、催化剂】敏感有毒物）—、，预热器、《催化反？应，器、换热器、阻火】器、温？。度探测器、风机、电！控柜和安全报—警器等组成》 》   ？ ， (5)可采用活性！炭吸附？浓缩：催化燃烧法处理【低浓度苯类废气、】。有机废气《(VO？Cs)由预》过滤器？、活性炭吸附床、】催化燃？烧床、热交换器、】。阻火器、温》度探测？器，、风机、电控柜和安！全报警器等组成当活！性炭吸附达》到饱和后用热空气】。脱附使活性炭—得到再生脱》附，后的有机溶剂—。送往催化燃烧床【（温度低于着—火，点）进行催化燃烧】。废，热气经换热器又【用于加热《。空气对活性》炭脱附再《生形：成利用废热进—行吸附-《脱附-？催化燃烧的》。废气净化《过程 】    (6)可采！用转轮？浓缩燃烧《法、转轮浓缩—蓄热燃烧《法、沸石转轮—活性炭吸附浓—缩燃烧法处理大风】量低：浓度有机废气沸石】转轮浓缩燃烧—法系统由风机、【高硅沸石转轮—、热：交换器和浓缩气体燃！烧器等组成转—轮由一组电机—带动旋转《通过机械变》换控制转速整个系】统通：过，吸附-解吸-—冷却3个过》程周而复始动态【循环 —     (【7)：可，采用蓄热燃》烧法(R《TO)、蓄》热，式触：媒氧化器(R—CO)处理大风【量低：。浓度有机废气—蔷，热燃烧？法系统？至少包括《2个蓄热床》、进气？控制设备、加热及】温度控制设备蓄热】。床内填充石质—或陶瓷蓄热材料【欲处理的VO—C，s废气先《进入一蓄热》床（A床）》预热至一定温度以】热氧化反应分解【成二氧化碳和水被去！除氧化反应后高温】气体通过另一蓄【热床（B床）时气体！热能被？原已冷却的蓄—热材储存蓄热气【体则以较《低，的安全温度排—放待一？定时间后欲》处理：废气则导《入该高温床》（B床）预热反【应后高？温气体热《量则储存于A床如此！经由2个蓄热—。床交：互切换燃烧与蓄热（！热回收率95％以】上）完成“废—气预热-VO—Cs燃烧《分解-蓄热降温排】放”的？。操作循环 》   【  (8)可采用】。转轮浓？缩-：低温冷凝回收处理】如N：。MP（N-甲—基吡咯烷酮）—、，D，MA：C(二甲《基乙酰胺)》等高沸点《的有：。机溶剂？系，。统由过滤器、—热，交换器、冷却—器、分子筛转—轮、再生加热器、风！机和溶剂回收罐及循！环冷：却水系统组成分【子筛：转轮由电机带动缓慢！。。旋，转经过处理区—、冷却区和再生【区周：。而复始？进行循环由于流过】。转轮再生《区的：。废气流量是转轮处理！。区的废气流量的【10％？～，20：％，废气中的有机溶【剂浓度被浓缩可达到！20倍经低温冷凝后！回收 《。   —  (？9)可采用低温【冷凝：回收-吸附浓缩-脱！。吸-再？冷凝回？收处理如生产塑【。。料，光纤的正丁硫醇、】甲基丙烯甲酯(M】M，A)：提纯工艺尾气—、树脂挤《。出工艺废气等—有机溶？剂，类和树脂类的—有机废气(》VO：Cs)冷凝》。回收系统《。由，。除，雾器、热交换—器、冷凝器、—。集液槽、活性炭吸】附床、？分，离器、真空泵等组成！。 ，     ！(1：0)可采用纤维过滤！。器+活性炭吸—附器处理焊》锡烟气？。采用由粗效过滤器、！。HEPA高》密度纤化玻璃过滤】材料和活性炭组成】的盘式过滤器—去除挥发《的松香树脂等—烟，。尘微粒？、锡、铅金属烟尘（！蒸汽）、乙醇溶剂】等有害？性气体组合过—滤效率可达到99.！5％以上 ！    《 (：11)可采用滤【芯回收？法处理喷塑含尘废】气喷塑废气》宜采用旋风》多管滤芯粉末回收循！环系统粉《末回收循《环系统由离心风机、！风道和滤网组成【风机用来排》风也是整个》。系统气流流动的【动力风道《定，。风向滤网是》最后：一道防护分离出粉】末的洁净空气返回到！喷粉室内以》维，持喷：。粉室的微负》压，由此：不外排废气》回收的粉末通—过粉泵和筛粉器后再！。使，用总：体粉末回收利—用率平均达到9【。8%（其余》为树脂粉末废渣） ！     ！(12？)，在电路板机》加工如备料、钻孔、！冲切、刻槽》、磨边及《光电器？件，的玻璃基《板，划线、去边》、切割？等工位上应设—有局部排风》集尘：系，统，宜采用袋式除—尘器回收粉》尘后的废气从排气筒！排放 】 ，   (13)对】硅烷、？磷烷、砷烷、硼烷】、溴化氢《等特殊有《毒废气应进行“【源，头处理”(po【i，nt of》 usePO—U)根？据有毒尾《气特性可采用等【。离子：体-三级水洗—、电热氧化》-，三级水洗、催化分解！-三级水洗、高温】燃烧-三《。级水洗、干式—吸附法等《直接在工艺》。点上配置《毒性尾气处》理设备？和控制系统当POU！系统出现问题时工艺！。设，备应停？止，工，。。作为确保安》。全处理后的尾气【。。应再经中央湿法【洗涤：。塔进行二《次，处理  ！   (14)对燃！气锅炉烟气、燃油锅！炉烟气可直接采【用烟囱排放由于使】用清洁？能源在很《多情：况，下一般都能满足现行！国家标准锅炉大气】污染物排放标准【GB 132—7，1的要求 【    — 本条第4款—为强制？性条：文为了使《剧毒废气在任何时】候，都得到有效处—理确保生《命安全因此规—定处理剧毒物质的】废，气净化装《。置应设置备用一般】按N：＋1配置 》 》4.2？.5  本条—是关于废《气净化设施布置的一！般规：定 ： 4.2】.6  本条是关】于排风系统风机供电！负荷等级的规定 ！。 ：     1 】 一般排《风系统风机》的供：电负荷等《级，应与该系统对应的工！艺设备相同 】     2 ！ 本：款为强制性条文【之所以？规定“事故》排，。风，及有毒有害排风系统！的风：机必：须设置应急电源【”是因？为，该系统？风机一旦《停电有？毒、有害废气—将得不到《。及时排除《并可能会扩散—至工作场所对工作人！员造：成伤害 》