， 4.2—  系统设置 ！ 《 4：.，2.：1，  ：。在，电子工程中依废气】污染处理方式通常将！工艺：废气划分为酸性废气！。、，碱性：废气：、有机(VOCs)！废气、苯类废—气、：含尘废气、焊锡烟】气、有毒废》气等 【   ？  酸性废气主要来！。源于使？。用氢：氟酸、盐酸》、硫酸、硝酸、【磷酸：等，各，种酸：液对制造电》子元件、电子器件的！材料、加工件—、零部件进行—酸腐蚀、氧》化，、抛光的表面—处理、对芯片—。进行表面清洗芯【片外延？、扩散、干刻、【。金属化、CVD【等酸性工艺尾气多晶！硅制备的还原/热】分解：工艺尾气氰》化银/金电镀工艺】等主要污染物为【氟化物、《氯化氢、硫酸—雾、氮氧化物、氯气！、氰：化氢：等 【  ：  硝酸雾实际上】是以氮氧化》。物(NOx)—。形式存在其中主【要是二氧化氮(N】O2)和三》氧化：二氮(N2》O3：)， ， ：     碱】性废气主要来源【于脱脂、刻》蚀、剥膜、扩—散、：清洗、？外延：、化：学气相沉积、热【分解等工序》使用碱液(Na【OH、？Na2C《O3)、氨气、【氨水、有机胺类溶】。剂主要污《染物为氨《气(NH3)、恶】臭（胺类污染物如】乙胺、乙二醇胺【、，二乙基羟胺等） ！。 ？。 ， ，   有机废—气主：。要来源于《表面涂层工艺—（电子元《器件、电子组—件、电路板组件、整！机机壳？等）使用溶》剂型涂料表面清洗工！艺（包？括芯片清洗、电子组！件清洗、电》路板清洗等）使【用有机脱脂》剂、脱水剂感光成像！工艺中的光刻—胶稀：释，剂、显影剂、—脱胶：剂，、液态阻焊膜剂、】去膜：剂等：使用有机《溶剂涉及的挥—发性有机化合物【常见的有甲》醇、乙？醇、：异，丙，醇(IPA》)、乙二醇》、丙酮、丁》酮（甲？基乙基酮）、—环戊酮、甲基异丁基！。酮(MIBK)、】环已酮、醋酸—乙酯、醋酸丁酯、】醋酸戊酯《、三氯乙《烯、二氯甲烷、丙二！醇甲：基醚(？PGEM《。)、丙二醇甲—基醚酯(PGE【。MA)、《乙二醇乙《。醚，、，乙二醇丁《。醚、乙醇胺、光刻胶！等3：0多种其中主要是】以1：50℃以下的低【沸点：有机溶剂为主（用】。于，。清洗剂、稀释—。剂）去？。光刻胶类化合物【如DMSO》、ME？A、N？MP、DMAC【、DG？A则：属于高？沸点的？硫类和胺《类之有机溶剂—且具有恶臭》主，要污染物为非—甲，烷总烃（碳》） ？ ， ：     苯类废】气，主要来源于电—子产品外壳表面喷】漆、电路板》组件三防喷漆、【零部：。件浸：漆，（如变？压器等）《、漆包线包》漆等表？。面涂装作业使—用各种油漆和稀释料！主要污染物为—苯、甲苯、二甲苯】和非甲烷《。总烃（碳） 】    — 含尘废气主要来】源于电子《产品外壳表面—喷，。塑作：业使用树脂粉末涂】料工艺电路板—机加工工艺光电【器件的玻璃》基板划线、去边、】切割工序《等主要污染物为颗】粒，物 —     焊锡烟】气主要来源》于微电子《组装、？。电，路板组装、线路板热！风整平等工艺中使用！锡，焊，料，、助焊剂在熔化温度！(，220℃～275】℃)下除《挥发出松香树脂【等，。烟尘微粒外》还含有微量铅、锡】金属烟？尘（蒸气）、CO、！CO2、乙醇—溶剂：等有害气体主要污】染物为？铅和铅化合》物、锡和锡化—合物 】    有毒废【气（毒性工艺尾气）！主，要来源于半》导体：器件制造的氧化、】干法蚀？刻、外延、扩散、离！子注入掺杂、化【学气相沉积(C【VD)、《金属化等工序光电】子器件制《造的磊晶《。、薄膜生长、干法蚀！刻、：CVD等工序使【用多种高纯特殊【工艺：气体如SiH4（】硅烷）、Si—H3C？H3（？甲基：硅烷）？、SiCl4、Si！HCl3(三氯硅烷！简称：TCS)《、SiH2Cl【2（二氯硅烷—简称D？C，S)Si《F4：。、CF？4（全氟甲烷）、】CHF3（氟甲烷）！。、C2H2F6、】WF6、《SF：。6、NF3、BFl！3、BCl3、PH！3（磷化《氢）、As》H3：（砷化氢）》、GeH3》（锗烷）、HB【r等 《。。  》   1  “【不相容？”原则是指两种或几！种物质混合能引起燃！烧、爆炸《或形成危害更—大的：。物质例如SiH4】和NF3相》混合有？。发生爆炸和火灾的】可能性按“不相容”！的原则需要分别设计！独立的收集系统与】净化系统 【 ，。 ，。   ？  酸？性废气？与碱性（《氨）废？。气宜分别设计独立】的，收集系统与净化系】统以避免因酸碱气】。体混流？产生如氯化铵—微粒子？。形成白烟处理效率下！。降增设除雾器—可，以，改善：处，理效率？ 》   ？  2  本款【为强制？性条文由于有—毒废气毒性大—同时亦有高度的腐蚀！性和：。爆炸性因此作为安】全生产的《必要条？件这类有毒气体应受！到严格管理》污染处理《系，统独立设置并—且各企业《生产过程中一般都设！。有在线报警装—置 ？ 4.—2，.2  本》条是关于废气污染防！治末端处理系统的集！气罩、排风量的【规定 》     密】闭式集气罩的设置是！为了尽可能多的捕】集污：染物达到无明显的无！组织排放源合理【。的吸气口位》置、结构和风—速易：于使集气《罩内形成均匀负压以！防止有毒有害—。气体外泄《；，系统排风量也不宜过！。大系统？排风量过大》既增加了能》耗也不利于》废气处理净化效【率因：此，需要合理计算—集气：口面积、系统—风量有条件时—可采用实测数据【  【   集气罩吸【气，口的布置应充分【利，用气流的运动作用防！止集气罩周围—。的紊流尽可能避免或！减弱干扰气流、【穿堂风和《送风气流等》对吸气气流的影响 ！ ， 《。。   ？ 排：。风量应满足》现行国家标准工业】企业卫生设计—标准：GBZ 1的相关要！求并使？作，业场所有毒有—害，物质：浓度达到现》行国家？标准工作场所有害因！素职业接触限值G】BZ 2的》要求 【 4.2.3 【 本条是关于排风】系统管路配置的规】定    》 》     1  应！。按照废气性》质，和废气温度并考虑耐！酸、耐碱、》抗腐蚀、耐高—温、防火等特性【。对排风系统管—路材质进行选择 ！ 《    2》 ， 管路内易形成积】。液的排风系统其排风！管道应采取可靠【的密封措施防止积】液从管道接口等【。处渗漏影响生产管道！应设置一定的坡【度坡：。向低点并在低—。点设置排液收—集口排液应排至【相应的？废，水收集和《处理系统 — 《    3 — 本款的目的是【防，。。止粉尘沉积在产【尘源处和管》道内 】 ，   6  —为了得到较》高的烟气台升高度使！排放的？气体迅速扩散至【大气中防止排—（烟）气下沉—排气筒出口排（【烟，）气流速不得低于该！排气筒出口处环【境大气平均》。风速的？1.：5，倍并不？宜小于1《5m/s ！。 4.2.4—  本条是》关于废气《净化系统选择的【规，定 》 ，     针对电】子工程产生的废气以！下列举国内外一【般，所采：取，的末端处理方法【。 —。  ：  (？1)对酸性废气、碱！。性（含氨）》。废气可采用》湿式吸收法处理处】理系统主要由废气吸！收塔、风机、—管道和？吸收液循环泵等组成！净化装置可选用喷淋！吸收塔、填充—式洗：涤塔、无泵》吸收塔、板式吸收】塔等 《 ， ， ，  ： ，  (2)》对喷漆漆雾废气可】采用水帘-水洗法】处理废？气处理系统主要由】水帘-水洗》式喷漆？室（：喷漆：柜）、汽水》。分，离，器、风机、排气管、！集水池和水循环泵（！。或无泵利《用风机引力）等组成！   】  ：(3)可采用活性】炭固定床吸附法【处理中、低浓度苯类！废气、有机废气(V！O，Cs)、焊锡烟气】处理工艺可选—用半连？续式流？程由预处理器（除雾！器、除湿器》）、活性炭固定床、！。蒸，汽或热空《气供：给系统、溶剂回【收装置、风机—和温度探测器等【组成溶？剂回收装置》主要由？冷，凝器和？分离器组成将水和疏！水性溶剂分》离，并回收有机》溶剂废水进行处理】对水溶？性的溶剂则用—精馏：的方：。法进：行回收 【     半连】续式流程可用两台】活性：炭固定床其中一台进！行吸附操作程序另一！。台进行脱附操作程】序当：脱附周期大于吸附周！。。期时则设计为三台固！定床并联 》    【  ？   (4)可【采，用直接催化》燃烧法处理如—漆包线包漆》作业、涂层固—化作业等中》。、高浓度苯》类废气、有机废【气，(VOC《。s)处？理流程？由预处理（去—。除雾滴、颗粒、催】化剂敏感有毒物【）、预？热器、催化反应器】、换热器《、阻火器、温度探】测器、？风机、电《控柜和安全》报警器等组成 】 ？     (5)】可采用活《性炭：。吸，。附浓缩催化燃烧法】。处理低浓度苯类【废气、？有机废气(VO【C，s)：由预过滤器、活性】炭吸附床、催—化，燃烧床、热交换器】、阻火器、温—度探测器、风机、】电控柜和安全报警器！等组成当活性—炭吸附达《。。到饱和后用热空【气脱附？使活性炭《得到再？生脱附？后，的有：机溶剂送往催化燃烧！床（温度低于着【火，点，。）进行催化》。燃烧废？热气经换热器又用于！加热空气对》活性炭？脱附再生形成利用废！热进行吸附-—脱，附-催化燃》。。烧的废气净化过【程 —     》(6)可采用转轮】浓缩燃烧法、—转轮浓缩蓄热燃烧】法、沸石转轮活【性炭吸？附浓缩燃《烧，法处：理大风量低浓度【有机废气沸》石转轮浓《缩燃烧法系统由【风机、高硅》沸，石转轮、热交换【器和浓缩《气，体燃烧器等组—成转轮由一》组电机带动旋—转通过机械变换【控制：转速整个系统通过】吸附-解《吸-：冷却3个过》程周而？复始动态循环 ！ ：   ？  (？7)可采用》蓄热燃烧法(—RTO)、》蓄热式？触媒氧？化器(RCO)处】理大风量《低浓度有机废气蔷】热燃烧法系统—至少包？括2个蓄热床、进】气控制设备》、加热及《。温度控制设》备蓄热？床内填充石》质或陶？瓷，蓄热材料欲处理的V！OCs？废气：。先进入一蓄热床（】A床）预热》至一定温度以热【氧化反应《分解成二《氧化碳和水被去除】。氧化：。反应后高《温，气体通过另一蓄热床！。（B床）时气体热能！被原已冷却的蓄【热材储存《蓄热气体则》以较低的安全—温度排放待一定时】间后欲处理废气则】导入：该高温床（B床）预！热反应后高温—气体热量《则储存于《A床如此经由—2，个蓄热床交互切【换燃烧与蓄热—（，热回收？。率95？％以上）完》成“废气预热-【VOCs燃烧分【解-蓄热降》温排放”《的操作循环 ！     (8)！可采用转轮浓—。缩-低温冷凝回收】处，理如：。NMP（N》-甲基？吡咯烷酮）、D【MAC(二甲基乙】酰胺)等高》沸点：的有机溶剂》系统由？过滤器、热交换【器、冷却器、分子】筛转轮、再生加热器！、风机？。和溶剂回收罐及【循环冷却水系—统组：成分子筛转轮—由电机带动缓慢旋】。转，经过处理区》、冷却区和》再生：。区周而复始进行循】。环由于流过转轮【再生区的废气流量是！转轮：处，理，区的废气流》量的：10％？～，20％废气中的【有机溶剂浓度被浓缩！可达到20倍经【低温冷凝后》回，收 》     (9)！可采用低温冷凝【回收-吸附浓缩-】脱吸-再冷凝回收】处理：如生产塑《料，光纤：的正丁？硫醇、甲《基丙烯甲酯(MMA！)，。提纯工艺尾》气、树脂挤出工艺废！气，等有机溶剂类和【树脂类的有机废气(！VOCs)》冷凝回收系》统由除雾器、—。热交换器、冷—凝器、集液槽、【活性炭吸《。附床、分离器—、真空泵等》组成 】  ：  (10)可采用！纤维过？滤器+活性炭吸附】器处理焊锡烟—气采用由粗》效过滤器、HE【PA高？密度：纤化玻璃过滤—材料和活性炭—组成的盘式》过滤器去除挥—发的松香树脂等烟尘！微粒、锡、铅金【属烟：尘（蒸？汽）：、乙醇溶剂等有害】性气：体组合过滤效—率可：达到99.5％【。以上 —     (11！)可采用滤芯回收法！处，理，喷塑含尘《废气：喷塑废气宜采用【旋风多管滤》芯粉末？。回收循环系》统粉末回收》循环：系统由？离心风机、风道和滤！网组：成风机用来排风也】是整个系统》气流流？动的动力风道定风】向滤网是最后一道防！护分离出粉末的洁净！空，气返回到喷粉室内】以维持喷粉》。室的微负压由此不】外排废气回收的粉】末通过？粉泵：。和，筛粉器？后再：使用总体粉末回【收利用率平均—达到98%》（，其余为树脂粉末废】渣） ？     ！(12)在电路板机！加工：如备料、钻孔、冲】切、：刻槽、磨边及—。光电器件的玻璃基】板划线、去边、切割！等工位上应设有局部！排风集尘系统宜【采用袋式除尘器【回收粉？尘，后的废气从排—气筒排放 ！     (1【3)对？硅烷、磷烷》、砷烷？、硼烷、《溴化氢等特殊有毒废！气应：进，。行“源？头，。处理”(po—in：t of u—sePOU)—根据有毒尾气—。特性可采用等离子体！-三级水洗、电热氧！化-三级水洗、【催化分？解-三级水》洗、高温燃烧-三】。。级水洗、干式吸附】法等直接《在工艺点上》配置：毒性尾气处理设【备，和控制系统》当POU系统出【现问题时工艺设备应！停止：工作为确保安—全处理后《的尾气应再经中央湿！法洗涤塔进行二次处！理 【 ，   (14)【对燃气锅炉烟气、】燃油锅炉《。烟，气可直接采用烟【囱排：。。放由于？使用：清洁能源在很多【情况：下一般？都能满足现行国【家标准锅炉大—气污染？物排放标《。准GB 132【71的要求》   】  本条第》4款为强制性条文为！了使剧毒《废气在任何时候都】得到：有效处理《。确，。保生命安全因此规定！处，理剧毒物质》的废气净化》装置应设置备用【一般按？N＋1配置 ！ 4.2.5 】 ，本，条是关于《废，气净化设《施布置的一般规定 ！ 4.2】.6  本》条是关于排》风系统风《机供电负荷等级的规！定， 》     1  一！般排风系统风机的供！电负荷等级》应与该系统对应的工！艺设备？相同 》    — 2 ？ 本款为《强制性条文之所以】。规定“事故排风及】有毒：有害排？风系统的风》机必须设置应—急电源”是因为该】。系统：风机一？旦停电有毒》、有害废气将得不】到及时排除并—。可能会扩散至—。。工作场所对》工作：人员造成伤害 【 ，