4.2 】 ，系统设置 》 4】.2：.1  在》。电子工？程，中依：废，气污染处理方式通】常将工艺废气划分为！酸性废气、碱—性废气、有机(V】OCs)废气—、，苯类废气、含—尘废气、焊锡烟【气、有毒废气等【 ？ ， ：    酸性废气主！要来源于使用氢【氟酸、盐酸、硫酸、！硝酸、磷《。酸等各种酸液—对制造电《子元件？、电子器《。件的材料《、加工？件、零部件进行【酸腐蚀、氧》化，、抛光的表》面处理、对芯片进】。行表面清洗芯片【外延、扩散、干【。。刻、金属化、—CVD等酸性工【。艺尾气？多晶硅制备的还原/！热分解？。工艺尾？气氰化银/》金电：镀工艺等主要污【染物为氟化物、氯化！氢、硫酸雾》。、氮氧？化，。物、氯气、氰化【氢等 【     硝酸雾实！际上是以氮氧化【物(NOx)形【式存在其《中主要？。。。。是二氧化氮(NO2！)和三氧化二氮【(N2O3)— 《 ，     碱性废气！主，要来：源于脱脂《、刻蚀、剥膜、【扩散、清洗、—外，延、：。化学气相沉》积，、热分解等》工序使用碱液(【NaOH、Na2C！。O3：)、氨气、氨—。。水、有机胺类溶剂主！要，污染物？为氨气(NH3)】、恶：臭（胺类污染—物如：乙胺、乙二醇胺、】二乙：基羟胺等） ！   《  有机废气主要】来源于表面涂—层工艺？（电子元器件、电】子组件、电路—板组件、整机机壳等！。）使用溶剂型涂【料表面？。清洗工艺（包—括芯片清洗、—电子组件清洗—、电：路板：清洗等）使用有【机脱：。脂剂、脱水剂感光成！像工艺中的光刻胶】稀释：剂、显影剂、—脱胶剂、液态—阻焊膜剂《、去膜剂等使用有机！溶剂涉及的》挥发：性有机化合物常见的！有甲醇、乙醇、【异丙醇(《IPA)、乙二醇】、丙酮、丁酮（甲】基乙基？酮）、环戊酮—、甲基异丁基酮【(MIBK》)、：环已酮、醋酸乙酯、！醋酸丁？酯，、，醋酸戊酯、三氯乙烯！、二氯甲烷、丙【二醇甲基醚(PGE！M)、？丙二醇甲《基醚酯(PG—EMA)、乙—二醇乙醚、乙二醇丁！醚、乙醇胺、光刻胶！等30多种其中主要！是以150℃以【下的低？。沸，点，。有机溶剂为主（用】于清洗剂、稀释剂】。）去光刻胶类—化，。合物如DMSO、】ME：A、NMP、D【MAC？。、DGA《则属于高沸点的【硫类和胺类》之有机？溶剂且具有恶臭【主要污染物为非【甲烷总烃（碳—） ：     ！苯类废气主要—来，源于电子《产品外壳表面喷漆、！电路板组件》三防喷漆、零部件浸！漆（如变压器等）】、漆包线《。包漆等表面》涂装：作业使用《各种油漆和稀—释料主要《污染物？。为苯、？甲苯、二《。甲苯和非甲烷总烃（！碳） 】    含尘—废气主要来》源，于电子产品外—壳表：面喷：塑作业？使用树脂粉》。末涂料工艺》电路板机《加工工艺光电器件的！玻，璃基板？划线、去边、切【割工序？等，。主，要，污染物？为颗：粒物：。 —    焊锡烟【气主：要，来源于？微电子组《装、：电路板组装、—线路板？热，。风整平等工》艺中使？用锡：焊料、？助焊剂在熔化温【度(22《0℃～275℃)】。下除挥发出松香树脂！等烟尘微粒外还含】有微量铅、》锡金属烟尘》。（蒸气）、》CO、CO2—、，乙醇溶？剂等有害气体主要】污染物为铅和铅【化合物、《锡和锡化《合物：。。 《     有毒废！气，（毒：性工艺尾气》）主：要来源于半导体器】件制造的氧》化、干法蚀刻、外延！、扩散？、，。离子注入掺杂、化】学气相沉积(C【VD)、《金属化等工序光【电子器件制》造，的磊：晶、：薄，膜生：长，、干法蚀刻、—CVD等工序使【用多：种高纯特殊工艺气】体如SiH4（【硅烷）、Si—H3CH3（甲【基硅烷）、S—iCl？4、：Si：HCl3(三氯硅】烷简称TCS)【、S：iH2Cl2—（二氯硅《烷简称DCS)【。SiF4、CF4（！全氟甲烷）》、CHF3（氟【甲烷）？、C2H2》F6、？WF6、SF—6、N？F3、BFl3、B！Cl3、PH3（磷！化氢：）、AsH3（砷化！氢）、GeH3（】锗烷）、HBr等 ！ ：     【1  “不》相容”原则》是指两？种或几？。种物质混合能引起燃！烧、：爆炸或形成危害【更大的物质例如S】iH4和NF3相】混合有发生爆—炸和火灾的可能性按！“不相容”的原【则需要分别》设计独立的收集系】统与净化系统 【 》  ： ， 酸性废气与碱【性（氨）《废气：宜，分别设计独立的收】集系：统与净化《系统以避免因—酸碱气体混流产【生如氯？化铵微？粒子形？成白烟？处理效率下降—。增设除雾器可—以，。改善处？理效率 ！。  ：。  2  》本款为强制性条【文由于有毒废—气毒性大同时—亦有高度的腐—蚀性和爆《炸，性因此作为》安全生产《的必要条件这—类有毒气体应受【到严格管理》污染处？理系统？独立设？置并且各《。企业生产过程—中一：般都设有在》线报警？装置 》 4《.2.？2  ？本条是关于废—气污染防治末端处】理系统的集气—罩、排风量的—规，定 ： ， 《   ？ 密闭式集气罩【的设置是《为了：尽可能多的捕—集污染物达到无【明，显的无组织排—放源合理的吸气口】位置、结构和风速】易于使集气罩内【形成均匀负》压，以防止有毒有害【气体外？泄；系统排风量也】不宜过大系统—排风量？过大既？增加了能耗也不【利于废气处理净【化效率因此需要【合理计算集气口面积！、系统？风量有？条件时？可采用实测数据 ！   —  集气《罩吸气口的布置应】充分：利用气？流的运动作用—。防止集气罩周围的紊！流尽可能避免—或减弱干扰气流、穿！堂风：和送风气《流等对吸气气流的】影，响  】   排《风量应满足现—行国家标准工—业企业卫生设计标】准G：BZ 1的相关要求！并使作业《场所有毒有害物质】。浓度达到现行国家】标准工作场所有害】因素职业《接触限值GBZ【 2的要求 — 4.【2，.3  本条是关】于排：风系统管路配置【的规定 《  ：。  —   ？  1  应按照】。废气性质和废气温】度并考虑耐酸、【耐碱、抗腐蚀、耐】高温、？防火等特性对排风】系统管路材》质进行选择》    ！ 2：  管？路内易形成积—液的排风系》。。统其：排风管道应》采取可靠的密封措】施防止？积液从管道》接口：等处渗？漏影：响生产管道应设置】一定的坡度坡向低】点并在低《点，。设置排液收集—口排液应排》至相应的《。废水：收集和处理系统 ！ ， ，     —3  本款的目的是！防止粉尘沉积—在产尘源处和管道内！ ？     6】  为了得到较高】的烟气台《升高度？使排放的《气体：迅，速扩散至大气中【防止：排（烟）气下—沉，排气：筒出口排（烟）气】流速不得低于—该排气筒出口处【环境大气平》均风速的1.5倍】。并不宜小于15m/！s 【4.2.《4  本条是关于】废气净？化系统选择的规【定 ？ ？     针—对电子工程产生的废！气以下列举国内外一！般所采取的末—端处理方法 — ， ？ ，    《(1)对《酸性废气、碱性【（含氨）废》气可采？用，湿式吸收法处理处理！系统主？要由废气《吸收塔、风机、管道！和吸收？液循环泵等组成【净化装置《可选：用喷淋？吸收塔、填》充式洗涤塔、无【泵吸收塔、板式吸】收塔等 【 ：    (2)对喷！漆漆雾废气可采用水！帘-水洗《法处理废气处理【。系，统主要由水帘—-水：洗式喷漆室（喷【漆柜）、汽水—。。分离器、风机、排】气管、集水池—和水：循环：泵（或无泵利用风】机引力？）等组成 【     【(3)可采用活【。性炭固定《床吸附法《处理中、《低浓度苯类》废气、有机废气(V！OCs？)、焊锡烟》气处理？工艺可选用半连续】式流程由预处理【器（除？。雾器：、除湿器《。。）、活性《炭，固定床、蒸》汽或热空气供给【系统、溶剂回—收装置、风机和温】度探测器等组成溶】剂回：收装置主要由冷凝器！和分离器组成将【。水，和疏水性溶剂分【离并回？。收有机溶剂废水进行！处理对水溶》性的溶剂则用精馏】的方法进行》。回收 ？ 《  ：   ？半连续式流程可【用两台？活性炭固定床其【中一台？进行吸附操作—程序另一台进行【脱附操作《程序当脱附周期【大于：吸附周期时则设计】为三台固定床并联 ！    》 ：。   《  (4)》可采用直接》催，化燃烧法处理—如，漆包：线包漆作《业、涂层固化—作业等中《、高浓度苯类—废气、？有机废气(》VOCs《)处理流程由预处理！（去除雾滴、颗粒、！催化剂敏感有—毒物）、预热器、催！化反应器、换热器、！阻，火器、温度探测器、！风机：。、电控柜和》安全报警器》等，组成 ？ ？     (5】)可采用活性炭吸附！浓缩催化《燃烧法处《理低浓度苯类废【气、有机废》气(VO《Cs)由预过滤器、！活性炭吸附》床，、催化燃烧床、热】。。交换：器、阻火器、温【度探测？器、风机、电—控柜：和安：全报警器等组成当活！性炭吸附达到饱【和后用？热，空气脱附使活性炭得！到再生脱附后—。。的，有机溶剂《。送往催化燃》烧床（温度》低于着火点）进行】催化燃烧废热气经】换热器又用》于加热空气对活【性炭脱附再生形成利！用，废热进行吸附—。-脱附-催化燃烧的！废气净化过程 ！  《   (6》)，可采用转轮浓缩燃烧！法，、转轮浓缩蓄—热燃烧法、》沸石转轮活性炭【吸附浓缩燃烧法处】理大：风量低浓度有机废气！沸石转？轮浓缩燃烧》法系统由风》机、高硅沸石转轮】、热交换器》和浓缩气体燃烧器】等组成转轮由—一组电机《带动：旋转通过《机械变换《控制转速整》个系统？通，过，吸附-解吸-冷【却3个过程周而复始！动态循？环 》     —(7：。)可采用蓄热燃【烧法(RTO)、蓄！热式触媒氧》化器(RCO)处】理大风量低浓—度有机废气蔷热燃烧！法系统？至少包括2个—蓄热床、进气控【制设：备、加？热及温度控》制设备蓄《热床：。内填充石质或陶瓷蓄！热材料欲《处理的？。VOCs废》气先进入一蓄热【床（A床《）预热至一定温度以！热氧化反应分解成二！氧化碳和水被去【除氧化反应后高【温气体通过另一蓄热！床（B床）时气体热！能被原已冷》却的蓄？热材储？存蓄热气体则—以较低的安全温【度排放？待一定时间后欲处】理废气则导入—该高：温床（B床）—预，热反应后高温气【体，热量则储存》于A床如此经由【2，个蓄：热床交互切换燃【烧与蓄热（热—回收率95％以上）！完成“废气预—。热-VOCs燃烧分！解，-蓄热降温》排放”的操作—循环： ？     (8！)可采用转》。轮浓缩-低温冷凝】回收处理如NMP（！N-甲？基，吡咯烷？酮）、DMAC(二！甲基乙酰胺)—等高沸点的有机溶】剂，系统由过《滤器、热《交换器、冷却—器、分子筛转轮【、，再生加？热器、？风，机和溶剂回收罐【及循环冷却水系统】组成分子筛转轮【。。。由电：机带动缓《慢旋转经《过，。。。处理区、《冷却区和再生—区周而复始进行【循环由于流过—转轮再？生区的废气流量【是转轮处理区的【废气流？量的10《％～：20％废气》中的有机溶剂浓度被！浓缩可达到》20倍经《低温：冷凝后回《收，。 ： ？。     》(，9)可采用低温【。冷凝回收-吸附【浓缩-脱吸-再冷凝！回，收处理如生产塑【料光纤的正丁硫醇】、甲基丙烯甲酯【(MMA)提—纯工艺尾气、树【脂，挤出工艺废气等有机！溶剂类和树脂类【的有机废气(VOC！s，)冷凝回收系统由】除雾器、热交—换器、冷凝器—、集液槽、活性炭】吸附床？、分离器、》真空：。泵等组成 》  —。。   ？。(10)可采用【纤维过滤器+活【性炭吸附器处理焊锡！烟气采用由粗效过滤！器、HEP》A高密度纤化玻璃过！滤材料和活性—炭组成的盘》式过滤器去除挥【发的松香树脂—等烟尘微粒、—锡、铅金属》烟尘（蒸《汽）、乙醇溶剂等有！害，性气体组《合过滤效《率可达到9》9.5％《以上  ！  ： (11)可—采用滤芯回收—法处：理喷：塑含尘废气》喷塑废气宜》采用旋风多管滤芯粉！末回：收循环？系，统粉末回收循环【系统由离心》风机、风道和滤【网组成风机用来排】。风，。也，。是整个系统》气流：流动的动力风道定】。风，向滤网是最后一【。道防：护分离出粉末的洁净！空，气，返回到喷《粉室内以维》持喷粉？室的微负压由此【不，。外排废气回收—的粉末通过粉—。泵和筛？粉器后再使用—总体：粉末回收《利用率平均》达到98%（其余为！。树脂粉末废渣）【 ，。 ： ？   ？ (12《)在电路《板机加工如备料、钻！孔、冲切、刻槽、】磨边及光电器—件，的玻璃基板》划线、去《边、：切割等工位上应设有！。局，部排风集尘系—统，宜，。采用袋式除尘—。器回收粉《尘后的废《气，从排气筒排放—   】。  (？13)对《硅，烷、磷烷、砷烷【、硼烷？、，溴化氢等特殊有毒】废气应进行“源头】处理”(poin】t，。 of useP】OU)根据有毒【尾气：特性可？采用等离子》。体-三级水》。洗、电热氧化-【三级：水洗、？催化分解-三级水洗！、高温燃烧-三【级水洗、干式吸附】法等直接在工艺【点上配置《。毒性尾气处理设备】和控制系统当POU！系统：出现问题时工艺【设备应停止工—作为确保安全处理后！的尾气应再》经，中央湿法洗涤塔进行！二次处理 】 ， ， ，  ： (：14)对《。燃气：锅炉：烟气、？燃油锅炉烟气—可直接采用烟囱排】放由于？使用清洁能源—在很多情况下—一，般都能满足现行【国家标准锅炉大气污！染物排放标》准GB 《13271的要求】 —    本条第【4款为强制性条【。文为了使剧毒废气】在任何时候都得到】有效：处，理确保生命安全【因此规定处理剧【毒，物质的废气净—化装：置应设？置备用一般按N＋】1配置 》。。 《4.2.5  【本条是关于废—气净化设《。施布置的《一般规定 ！ 4.2.》6  本条是—关，于排风系统》风，机供电负荷》等级的规定》 》     1  一！般排风系《统风机的《供电负？荷，等级应？与该系统对应—的工艺设备相同【。 《     —2  本《款为：。强制：性条文之所以规【定“事故排》风及有毒有害排【风系统的风机必须】设，置应急电源”是【因为：该，系统风机一旦—停电：有，毒、有？害废：气，将得不到及时—排除并可能会—扩散：至工作场所》对，工作人？员造成伤害 【