： ， 4.2  系【统设置 】 ， 4.《2.1  》在电子工程中依【废气污染处理—方式通常将》工艺：废气划分为酸性废】气、碱性废》气、有机(VOC】s)废气、苯—类，废气、含尘废气【、焊锡烟气、有毒】废气等 — ： ，。    酸》性废气主要来源于】使用氢氟酸、盐【酸、硫酸、硝酸、】磷酸等各种酸液对制！造电：子元件？、电子器件的材【料，。、加工件、零部件】进行酸腐蚀、氧化】、，抛光的表面处理、】对芯片？进行表面清洗芯片】外延、扩《散、干刻、金属化、！。。CV：D等酸性工艺尾气多！晶硅制备《的还：原/热分解工艺【尾气氰化银/金【电镀工艺《等主要污染物为氟】。化物、氯化》氢、硫酸雾》、氮氧？。化物：、氯气、氰》化氢等 ！。  ：  硝酸《雾实：际上是以《氮氧化物(NOx)！形式存在《其中：主要是二氧化氮(N！O2)和三氧—化二氮(N2O【3) 【     碱性【废气主要来源于脱脂！、刻蚀、《剥膜、扩散、清【洗，、，外延、化学气相沉】积、热分解等—工序使？用碱液(N》。a，OH、Na2CO】3)、氨气》、氨水、有机—胺类溶剂主》要污染物《为氨气(N》H3)、恶臭（胺】类污染物如乙胺、乙！二醇胺？、二乙基《羟胺等） 【 ，   《  有机废气主要】来源于表面》涂层：工艺（电子》元器：件、：。。电子组件、电—。路，板，组件、整机机壳等】），使用溶剂型涂料表】面清洗？工艺（包括芯片清洗！、电子组件》清洗、电路》板，清洗：等）使用《有机脱脂剂、脱水】剂感光？成像工艺中的光刻】胶稀释剂、显影【剂、脱胶《剂、液态阻焊膜剂】、去膜剂等使用【有机溶剂《涉及的？挥，发性有？机化：合物常？见的有甲醇》、乙醇、异》。。丙醇：。(，I，PA)、《乙二醇、《丙酮、丁《酮（甲基乙基—酮）、？环戊酮、甲基异丁基！酮(MIB》K)、？环已酮、醋酸乙酯】、，醋酸丁酯、醋酸戊酯！、，三氯乙？烯、二氯甲烷、【丙二醇甲基醚(PG！EM)、丙二—醇甲基醚《酯(PGEMA【)、：乙二：醇乙：醚、乙二醇丁醚【。、乙醇胺、光刻胶】等30多种》其中主要是以1【50：℃以下的低沸点有】机溶剂为主（用于】清洗剂、《稀释：剂，），去光：刻胶类？化合物如DMSO】、MEA《、，。NMP、DMAC、！DG：。A则属于高》沸点的硫类和胺类之！有机溶？。。剂且具有恶臭主要】污染物为非》甲烷总？烃（碳） —  》   苯类废气主】要来源于电子产品】外壳表面喷漆、电路！板组件三防喷漆【、零部件《浸漆（如变》。压器等）、》漆包线包漆等—表面涂装作业—使用各种《油漆和？稀释料主要污染物为！苯、甲苯、二甲苯】。。和非甲？烷，总烃：（碳：） —  ：。 ，  ：。含尘废气《主要来源《于电子产品外壳【表面喷塑《作业：使用树脂粉》末涂料工艺电路板】机加工工艺光电【器件的？玻璃基？板划线？、去边、切割—工序等？主要污染物为颗粒】。物 《 ：     》焊锡烟气主要—来，。源于微电子》。组装、电路板组装、！线路板热风》整平等工《艺，中使用？锡焊料、助焊剂在】熔化温度(》220℃～275】℃)下除挥发出【松香树脂等》烟尘微粒《外，还含有微量铅—、锡金属烟尘（蒸】气，）、CO《、CO2、乙醇溶剂！等有害气《体，主要污染《物为铅和铅化合【物、锡和锡化—合物 【     有毒【废气（？毒性：工艺：尾气）主要来源于半！导体器件《制造的氧化》。、干法蚀刻、外延、！扩散、离子注入掺】杂、化？学气相沉积(C【VD)、金属化等工！序光电子器件制造】的磊晶？、薄膜生长》、干法蚀刻、CVD！等工序使用多种【高纯特殊《工艺气体如》。SiH4（硅烷）、！SiH3CH3【（甲基硅《烷）、SiC—。l，4、SiHC—l3(三氯硅—烷简称TCS)、S！。iH2？Cl：2（二氯硅烷简【称DCS)S—iF4、CF4【（，全氟甲烷）、—CHF3（》氟甲烷？）、：C2H2《F6、W《F6：、S：。F6：、NF3、》BFl3、》BCl3、PH3（！磷，化氢）、AsH【3（：砷，化氢）、Ge—H3（锗烷）、H】Br等 —     【1  “不》相容”原则是指两】种或几？种物质混合能引起】燃烧、？。爆炸或形成危害更】。大的物质例》如，S，iH4和NF—3相混合《有发生？爆，炸，和火：灾的可能性》按“不相《容”的原《则，需要分别设计—独立的收集系统与】净化系统 》。   【  酸性废气与【碱性（？氨，），废，气宜分别设计独立】。的收集？。系统与净化系—。统以避？免，因酸碱气《体混流产《生如：氯化铵微粒》子，形成白？烟处理效率下降增设！除雾器可《以改善处理效率 】 》。    2  本】。款为强？制性：条文由于有》毒废气毒性大同时亦！。有高度的腐蚀性【和爆炸性因此作为】安全生产的》必要：条件这类《有毒气体应受到严】格管理？。污染处？理系统独立》。设置：并且各企业》生，产过程中一般都设有！在线报警《。。装置 4！。.2.2  本【条是：。关于：废气污染防治末端】处理系统的集气罩】。、排：。风量的规《定  】   密闭式集气】。罩的设置是为—了尽：可能多的捕》集污染物达》到，。无明显？的，。。无组织排《放源合理《的吸气口位》置、结构和风速易于！使集气罩内形成均匀！负压以防止有毒有害！气体外泄；系—统排风？量也：不宜过大系》统排风量过大既增加！了能耗？也不利于废》气处理净化效率【因此：需要合理《计算集气口》面积、系统风量有】。条件时可采用实测数！据  】   集气罩—吸，气口：的布置应充分利用气！流的运动作用防止】集气罩？周围的紊流尽可能避！免或减弱干扰气流】。、穿堂风和送—风气流等对吸气气】流的影响 — ，    — 排风量应满足现】行国家？标准工业企业卫生】设，计标准？GBZ 《1，的相关要求并—使作：业，场所：有毒有害物质浓【度达到现行国家标】准工：作场所有害因素【职业接触《限值GBZ》。 ，2的：要求 【 4：.2.？。。3  本条》是关于排风系—统管路配《置的：规定     ！。    — 1  《。应按照废《。气性质和废气温【度并考虑耐酸—、耐碱、抗腐蚀【、耐高温、》防火等特性对—。排风系统管路材质进！。行选择 — ，    》 2  管路—内，易形成积液》。的排风系统其排风】管道应采取》可靠的密封措施防】止积液从管道接口】等处渗漏影》响生产管道应设置一！定的坡度坡向低【。点并在低点设置排】液收集口排液应【排至相应的废—水收集和《处理：系，统 》  ？   3  本【款的目的是防止【粉尘沉积在产—尘源处和管道—内  】   ？6  为了》得到较高的烟—气台升高度使排【放的气？体迅：速扩散至《大气中防止排（烟）！。气下沉排气筒出口排！（烟）？气流速不得低—于该排气筒出口处】环，境，大气平均风》速的：1.5倍并不宜小】于，15m/s ！ 4.2》.4  本条是关于！废气净化系统选【择的规定 ！     》针对电子工程—产生的废气以下列】。举国内外一般所【采取的末端处理【方法 】    《(1)对酸性废气、！碱，性（含氨）》废气可采用湿式吸收！法，。处理：处理系统主要—由废气？吸，收塔、风机、管【道和吸收液循环【泵等组？成净化装置可选用】喷淋吸？收塔、填充式洗涤塔！、无泵吸《收塔、板式吸收【塔等 》     (2！)对喷漆漆》雾废气可采用水【帘-水？洗法处？理废气处理系统主】要由水帘-水—洗式：喷漆室（喷漆—柜）、汽《水分离器《、，风机：、，排气管、集水池和】水循环泵（或无【泵利用风机引力【）等组成 — ， ？ ，   (3》)可采用《活性炭固定》床吸附法《处，理中、低浓度苯类废！气、有机废气—(VOCs)、【焊锡：烟气处理工艺可选】用半连续式》。流，程由预处理器（除雾！器、除湿器）、活性！炭，固定床、蒸汽或热】空，气，供给系统、》溶剂回收装置、风】机和温度探测—器等：组成溶剂回收装置主！要由冷凝器和分离器！组成将水和》疏水性溶剂分—离并回收《有，机溶剂废水进—行处理？对水：溶性的？溶剂则？用精馏？。的，方法进行回收 ！ ：     半连续】式流程可用两台活性！炭固定床《其中一台《进行吸附操》作程序另一台进行】脱，。附，操作程序当脱附周期！大于吸附周》期时则设计为三台】固定床并联》。     】  ？   (4)可采用！直接：催化燃烧法处—理如漆包《线包漆作业、—涂层：固化：作业等中、高—浓度苯类废》气、有机废》气(V？OCs)处理—流程由预处理（去】除雾滴、颗》粒、催化剂敏感有】。毒物）、预热器、催！化反应器、换热器】、阻：火器、温度》探测器？、风：机、电控柜和安【全，报警器等组成 】 《    (》5)可采《用活性炭吸》附浓缩催化燃烧法】处理低浓度苯类【废，气、有机《。废气(？VOCs)由预过】滤器、活性》炭吸附床《、催化燃烧床—、热交换器、—阻火器、温度探【测器、风机、电【控柜和安全报警器】等组成当活性炭吸附！达到饱和《后用热空《气脱：附使活性炭》。得到再生脱》附后的有机溶剂送】往催化燃烧床—（温度低于着火点】）进：行催化燃烧废热气经！换热器又用于加【热空气对《活性炭脱附》再生形成利用—废，热进行吸附-脱【附-催化燃烧的【。废气净化过程 【   【 ， ，(6)可采用转【轮浓：。缩燃烧法、》转轮浓缩蓄》热燃：烧法、沸石》转轮活性炭吸附浓】缩燃烧法处理—大风量？低浓度有机废气【沸石转轮浓缩—燃烧法？系，统由风机、高硅沸石！转轮、？。热交换器和浓缩气体！燃，烧器等？组成：转，轮由一组电机—带动旋转《通过机械变换控制转！速整个系统通过【吸附-解《吸-冷却3个过程周！而复始动态循环 ！   —。 ， (7？)可：采用蓄热燃》烧法(？。RTO)、蓄热式触！媒氧化？器(R？CO：)处理大《风量低？浓度有？机废气蔷热燃—烧法系统至少包括2！个蓄：。热床、进气控制【设备、？。加热及温度控制设】备蓄热床内填—充石质或陶瓷蓄热】材料欲处理的VOC！s废气先进》入一蓄热床》（A床）预》热至一定温》度以热氧化反应【分解成二氧化碳和】水被去除氧化—反应后高温气体通】过另一蓄热床（B床！）时气？体热能被原已—冷却：的，蓄热材储存蓄—热气体则以较—低的安？。全温度排放》待一定时间后欲【。处理废气则导入【该高温床（B床）】预热：反应后高温气体【。热量则储存》于A床如《此，经由2个蓄》热床交互切换—燃烧：与蓄热（热》回收率9《5％：以上）完成“废气预！热-VOCs燃【烧分解-《蓄热降温《排放”的操作—循环 《   —  (8)》可采用转《。。轮浓缩-低温—冷，凝回收？处，。理如NMP（N-甲！基吡：咯烷酮）、DMA】C(二甲基乙酰胺】)等：高沸点的有机溶【剂系统？由过滤器、热交换】器、冷却《器、：分子筛转《轮、再生加》热器、？风机：和，溶，剂回收罐及循环【冷却水系统组成分】子筛转轮由电—机带动缓慢旋转经】过处理区、冷却区】和再生区周》而复始进行循环由于！流过：转轮再生《区，的废气流《量是：转轮处理区的废【气流量的《10％？。。～20％《废气中的有机溶【剂浓度被浓缩可达到！20倍经低温—冷凝后回收 —。 ：  《   (9)—。可采用低《。温，冷凝：回，收-吸附浓缩-脱】吸-再冷凝回收处】理如生产塑料光纤】的正丁？硫醇、甲基丙烯【甲酯：(M：MA)？提纯工？艺尾气、树》脂挤出工《。艺废：。气，。等有机溶剂类和树】脂类的？有机废气《(VOCs)冷凝】回收系统由》除雾：器、热交换》器，、冷凝器、集液【槽、活？性炭吸附《床、：分离器、真》空泵等组《成 ： ？     (10！)可：采用纤？维过滤器+活性炭】吸附器处理》。焊锡烟？气采用由粗效过【滤器：、HE？PA高密度》。纤化：。。玻璃过？滤材料和《活性炭组成的盘式过！滤器去除挥》发的松香树脂—等烟尘微粒、—锡、铅金《属烟尘（蒸汽—）、乙醇溶剂—等有害？性气体组合过滤【效率可达到》99.？5％以上 】。     (【11)可采用滤芯】回收法？处，。理喷塑含尘废气喷塑！废气宜采用旋—风多：管滤芯粉《末回收循环系统粉】。末回收循环系—统由离心风》机、：风道和滤网组—成风机用《来排风也是整个系】统气流流动的动【力风道？定，风向滤网是最后【一道防护分离—出粉末的洁净空气返！回到喷粉室内—以维持喷粉室—的微负压《由此不外排废—气回收的粉末通【过粉泵和《筛粉器后再使用总】体粉末回《。收利用率平均达到9！8%：（其余为树》脂粉末废渣）—  【 ，  (12)在电路！。板机加工如备—料，、钻孔、冲》切、刻槽、磨—边及光电器》件的玻璃基板划线、！去边、切割等工位上！应设有局《。部排风集尘系统宜采！用袋式除尘器回收】粉尘后的废气从排】气筒排放 ！     (1【3)：对，硅烷、磷烷、砷烷、！硼烷、溴化氢等【特殊有毒《废气应进行“—源头处？理”(point ！of usePO】U)根据有》毒尾气特《。性可采用等离子【体-：三级水洗、电—热氧化-三级水洗、！催化分解-三级【水洗、高温燃烧【-三级水洗、干【式吸附？法等直接《在工艺点上》。配置：。毒性尾气处理设【备和控制系》统当：POU系统出现【问题时工艺》。设备应停止》。工作：为确保安全处理后的！尾气应？再经中央湿法洗【涤塔进行二次处理 ！  —   ？(14)对燃气【锅炉烟气、燃—油锅炉？。烟气：可直接采用》烟囱：排放由于使用—清洁能源在很多【。情，。况，下一般都能满—足现：行国家标准锅炉【大，气污染物排放—标准GB 1—3271的要—。。求 ： ？    》 本条第4款为强】。制性条文《为了使？剧毒：废，气在任何时候都【。得到有？效处理确保生—命安全因此规定【处，。。理剧毒物《质的废气净》化装置应设置备用一！般按N＋《1配置 — ？4.2.5  本条！是关于废《气净化？。设，施布：。置的：。一般规？定 — 4.2《.6  本条是关于！排风系统《风机供？电负荷等级》的规定 【  ？   1《  一般排风系统】风机的供《。电负荷等级应与【。该系统对《应的工艺设》。备相同 — ： ， ，   2  —本款为强制性—。条文之所以》规定“事《故排风及有毒—有害排风《系，。。统的风机《。。必须设置应急电源”！是因为？该，系统风机一》旦停电有毒、有【害废气将得不到及时！排除并可能会扩散】至工作场所对—工作人员造成伤害 ！ ，