： ， 4.3 》 光学加工及检测】设备 ？ ： 4—.3.1《  ：光，栅刻线机、全—息，。曝光机、镀膜机、环！抛机均为《光学加？工的典型《设备光栅刻线设备的！工艺有其特殊性在防！止外界振动对刻划有！影响的？情，况，下，其自身？的内部设《备要产生《振动振动的》幅值现在无法准确】定，。量表4.3.1中】的振动标《准应为静态时—的控制标《准 ： 4.3.！2  光学检测设】。备在频域范围内【的容许振动值—是长期工程实测资料！的，。经验总结特别是近年！来发展很《快的：空，间光学？。部件：检测和整机检测【实测资料《经，验总结空间》。光学设备的检测一般！光路长度《达到十几《米甚至几十米分成水！平检测和垂直检【。测两种水平》检，。测的基础一般细长】测点需沿长度—方向均匀《布置并不《少于：3个以保《证测试结果》的代表性和可靠性 ！ ，