， 4.3 【 光学加工及检【测设备 《 ， —4.3.1  光栅！刻线机、全息曝光机！、镀膜机《、环抛机均为光【学加工的《典型设备《光，。栅刻线设备的工艺】有其特殊性在防止外！界振动对刻划—有，。影响的情况下其自身！的内：部设备要《产生振动振动的幅值！现在：无法准？。。确，定量表4.》3.1中《的振动标准应—为静：态时的控制标—准 ？ ： 4.《3.2  光学检】。测设：备在频域《范围内？的容许振动值—是长期工《程实：测资料的经》验，总结特别是近年来发！展很快的空间—光学：部件检测和》整机检测实》测资料经验》总结空间《光学设备的检测【一般光路长》度达到十几米甚【至几十米分成水【平检测和《。。垂直检测两》种水平检测的基【础一般？细长测点需沿长度方！向，均，匀布置并不少于3】个以保证测试结【果的代表性和可【靠性 ？ ，