4》.3：  光学《加工及？检测设备 】 ？ 4.3.1  光！栅刻线机、全息曝】光，机，、镀：膜，机、：环抛机均为光学加工！的典型设备光—栅刻线设备的工艺】有其特殊《性在防止外》界振动对刻》划有影响的情况下】其，自，身的内部设备要产】生振动振动的幅值现！在无法准确》。定量表4.》3.：1中的振动》。。标准应为静》态时的？控制标准 】 4.3.2【  光学检测设【备，在频域范围内的容】。许振动值是长—期工：程实测资料的经验】总结特别是近年来】发展很快的空—间，光，学部件检测和整机检！测实测资料经验总结！空间光？学设：备的：检测一般光路长度达！到十几米甚至—几十米分成水平检测！和垂直检测两—种水平？检测的？基础一般细》长测点需沿长度方】向均匀布置并不少】于3个以保证测试】结果的代表性—和可：。靠，性 ？