4.3 】 光学加工及检【测设备
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4.3.1— :。光栅刻线《机、全息曝光机、镀!膜机、环抛机均【为光学?加工的典型设备光】栅,刻线设备《的,工艺有?其特:殊性:在防止?外界振动对刻划【有影响的情况下【其自身的内部设【。备要产生振动振动】的,幅值现?在,无法准确定量—表,4,.,3.1中的》振动标准应为静态时!的控制标《准
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4.?3.2 《 光学检测》设备:在频:域,范围内的容许振【动值是长《期工程实测》资料的?经验总结特别是近】年来:发展很快的空间光】学部件检测和整机】检,测实测资料经验总结!空间光学设备—的检测一般》光路长度达到十几米!。。甚至几十米》分,成水平?检测:和,垂直检测《两种:水平检测的基础一】般细长测点》需沿长度方向均【匀布置并不少于3】个以保证测试结【果的代表性和可【靠性
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