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:。4.3 《 光学加工及检测】设,备
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》4.3.1》 光栅刻线—机、:全息曝光机、—。镀膜机、环抛机【均为光学加工的【典型设备光栅刻线设!备的:工艺有其特殊性【。在防止外界振动对】刻,划有:影响的情况下其【自身的内部设备要】产生:振动振动的幅值现在!无法准确定量表4】.,3.1中的》振动标准应为静【态时的?控制标?准
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?。4.3?.2: 光学检测—设备在?频域范围内的容许】振动:值,是长期工程实测资料!的经验总结特别是】近,年来发展很快—的空间光学部件检】测和整机检测—实测资料《经验:总结:空间光学《。设,备,的检测一般光路【长度达到《十几:米甚:至几十米分成水平检!测和垂?直检测?。两种水平检测的【基础:一般细长测点需沿长!度,方向均匀布置并【不少于3个以—保证测?试结果的代表—性和可靠性
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