4.3【 ， 光学加工及检测设！备 ：。 《 4.3.1】。  光？栅刻：线，。。机、全息曝光机、镀！膜机、？环抛机均为光学加】工，的典型设备》光，栅刻线设备的—工艺有其特殊性【在防止外界振动【对刻划有影响的情】。况下其自身的内【部设：备要产生振动振动】的幅值现在无法【准确定量表4—.3：.1中的振动标【准应：为静态时《。的控制标准》 —4，.3.2  光学检！测设备在频域范围内！的，。容许振动《值是长？期工程实测》资料的经验》总，结特别是近年—来发展很快》的空间光《学部件检测和整机】检测实测资料经【验总结空间》光学设备的检—测一般光路长度【。。达到：十几米甚至几十米分！成水平检《测和垂直检测两种】水平检测的》。基础一？般，细长测点《需沿长度方向均匀】布置并不少于—。3个以？保证测试结果的【代表性和可靠—性， ：