4.3【。。  ：光学加工及》检测设备《 ： 4.】。3.1 《 光栅刻线机、全息！曝光机、镀膜—机、环抛机均—为，光学加工的典型设】备光栅刻线设备的工！艺，有，其特殊性在防—止，。外界：振动：对刻划有影响的情况！下其：自身：的内部设备》要产生振动振动【的幅：值现在无法准确定】量表4.3.1【中，的振动标准应为静】态时的控制》标准 》 4《.3.2  光学】检测：设备在频域范围内】的容许振动值—。是长期工程实测资】料的经验总结特别是！近年来发展很快的空！间光学部件检测和整！机检测实测资料经】验总：结空：。间光学设备的—检测一般《光路长？度达到十几米甚至】几十：米分成？水平检测和》垂直检测两种水平】。检测的基础一般细长！测点需？沿长度方向均匀布】置并不少于》3个以保证》测试：结果的代表性—和可靠性 —