， ： ，。。4.3  光学加工！及检：测设备 】 4.3—.，。1  光栅刻线机】、，全息曝？光机、镀膜机、环】抛机均为光学加工的！典型设备《光栅刻线设备的工】。。艺有其特殊性在防】止，外界振动对》刻划有影响的情况】。下其自身的内—。部设备要产生振【动振动的《幅值现？在无法准确》定量表？4.3.《1中的振动标准应为！静态时的《控制标准 ！ 4：.3.？2  光学检—测设备？在频域范围内的容】许振动值是》长期工？程实测资料的经验总！结特别是近年来发展！很，快的空间光学—部件检测和整—机检测实测资料【经验总？结空间光《学设备的检测一【般光路长度》达到十几米甚至【。几十米分成水平检测！和垂直检测两—种水平？。检测的？基础一般细长测点需！沿长度方向》均匀布？置并：不少于3个》以保证测试结果【的代表？性和：可靠性 》