？ 4.？3  光学加工【及，。。检测设备《。 【 ，4.3.1  【。光栅刻线机、—全息曝光机、—镀膜机、《。环抛机均为》光学加工的典型设】备光栅刻线设备【的工：艺有其特《殊性在？防止外界振动对【刻划有影响的情况下！其自身的《。内部：设备要产生振动【振动的幅《值现在无法准确定】量表：4.：3.1中的振—动标：准应为静态时的【控制标准 】 ：4.3.2  光学！检测设备在频域【范围内？的，容许振动值是长期】工程实测资料的经】验，。。总结特？别是近年来》发展很快的空间光】学部件？检，测和整机检测实测资！料经验总结空—间光学？设备的检《。测一般光路》长度达到十几米甚】至几十米分成水【平检测和垂直检测两！种水平检测的基【础一般细长测点【需沿长度方向—均匀布置并不少于3！个以保证测试结果】的代表性和》可靠性 《 ，