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: 4.3 — 光学加工》及检测设备 【 —4.3.1 — 光栅刻线》和光学加工》设备在时《域范围内的容许【振动值宜按表4【.3.1的规—定确定 》。 ! 4:.3:.2 光学检测】设备在频域范围【内的容许振动值宜】按表4.3.2【的规:定确定 【 》 注《当频率重叠时—。应同时满足两个【频率区?间上:的容许振动要求 !