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? 4.3《 光学加》工,及检测?设备 ! 4.3.1 【 光栅刻《线和光学加工设备在!时,域,范围内的容》许振动值《宜按表4.3.1的!规定:确,定 :。 【 4.—3,.2: 光?学检测设《备在频域范围内的】容许振动值宜—按表:4.3.《2的规定确定 】。 》 , 注当频率】重叠时应同时满足两!个频率?区间上的容许振动】。要,求 ?