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12.【2 罗茨鼓风机】、罗茨真空泵— 《 : 12.2.【1、12.2.2 ! ,这两条?适用:于加压吸附真—空解析的VP—SA工艺中的动力】系统的安装与验收V!P,SA工艺中常压【吸附的压力一般【为0kPa~50k!Pa鼓风机一—般采用罗茨》式鼓风机;》。抽真空解吸的—解析压力一般—为-:50kPa~-80!kPa?真空泵?一般选用《。。罗茨真空泵 — ,