： 12.2  罗！茨鼓风机、》。罗茨：真空泵 》 ： 12.2】。.1、12.—2.2  这—两条：适，用，于加压吸附真空解】析的VPSA—工，艺中的动力系—统的安装与验收【VPSA工艺中常】压吸附的压力一般为！0k：P，a～50k》Pa鼓风机一般采】用，罗茨式鼓《风机；抽真空—解吸：的解：析压力一般为—－5：0k：Pa～－8》0kPa真空泵一】般选用？罗茨真空泵 【