13.【11: 稀有《气体真空泵
【
13】.1:1.1 稀有气体真!空,泵试:运转前应符合下列】要求
!。 1 《各润:滑部位加注润—滑剂的规《格和数量《应符合设计技—术文件?的规定;
】
: 2 泵试【运转前应《盘车:灵活并应无阻—滞;
】 ?3 驱动《机的转向应》与泵:的,转向相符;》
《
4 【各指示仪《表、安全《保护装?置及电控装置均应】灵敏:、准确、《可靠
?
检!查数量全数》检查
! 检验方法观察检!。查
《
13.—11.2 稀—有气体真空泵试【运转应符《合下列要求
—
,
1 !稀,。有气体真空泵连续】试,运,转时间不应少于30!min;
!
2》 轴承的温度—和温升应符合设计技!术文件的规定;【
?
—3 试运转中应【无异常的声响和【振动:各,连接部位应》严密无泄《漏;
】 4《 检查?泵的:极限真空度》真空:度应符合设》计技术文《件的规定;
—
】5 停泵前应关闭】吸气口处阀门并应】使泵与真空》系统隔绝《;
《
—6 抽吸《气体中含有较—多,的可凝性蒸汽—时应:打开泵的气》镇阀
】 ?检查数量全数—检查:
— 检《验方法观察检—查用测温仪、计时】器、真空《计测量
》