《。13:.11 稀有气体!真空泵
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:13.?1,1.1 稀有—气体真?空泵试运转前应符合!下列要?求
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1 —。各润滑部位加—注润:滑剂的规格和数【量应符合设》计技术文件的—规定:;
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2【 泵:试运:转前应盘《。车灵活?并应无阻滞》;
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【 3 驱动机—的转向应与》泵的转向《相符;?。
【。 4? 各指示仪表、安全!保护装置及》电,。控装置均应灵敏、】准确、?可靠
!。 检查《数,。量全数检《查
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检验方】法观:察检查
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1《3.11.2— 稀有气《体真空泵试运转应】符,合下列要求
!
1— 稀有?气体真空泵》连续试?运转时间不应少【于3:0mi?n;
! 2 轴承的温】度,和温升?应符合设计技—术,。文件的?规定;
】
3 试运转!中应无?异常的声《响和振动各连—接部:位应严密《无泄漏;
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《 4? 检查泵的极—限真:空度真空度应—符合设计技术—文,件的规定;
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》 5 停泵【前应关闭吸》气口处阀门》并应使泵与真空【系统隔?。绝,;
】 , ,6 :抽吸气?体中含有较多的可凝!性蒸汽时应打—开泵的气镇阀
【
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检》查数量全数检查【
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》检验方法观察检【查用:测温仪、计》时,器、真空计测量
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