《13.?。。11 稀有气【体真空泵
【
13.1!。1.1 稀有气体真!空泵试运《转前应符合下列【要求
】。 1 各润滑】。部位加注润滑剂的】规格和数《量应符合设计技术】文件的规《定;
【
: 2 泵试运转】前应盘车灵活并应】无阻滞;《
:
,
:
3 驱动】机的转向应与泵的转!向相符;
!
?。 ,4 :各,。指示仪表、安全保护!。。。装,置及电控装》置均应?。。灵敏、?准确、可靠
【。
— 检查数《量全数?检查
【
: 检验《方法观?察检查
》
1》3.11.》2 稀有气体真【空泵试运转》应符合下《。列,要求
! , 1 稀有气体【真空泵连续试—运转时间不应少于】30min;—
!2 轴承的温度和温!升应符合《设计技术文件的【规定;?
— 3 试—运转中应无》异常的声响和振动】各连接部《位应严密无泄漏;
!
《
: :4 检查《泵的极限真空—度真空度应》符合设计技术文【件的规定;
—
】5 停泵前应—关闭吸气口》处阀门?并应:使泵与真空》系统隔绝;》。
《
? 6 抽吸气体中!含有:较多的可凝性—蒸汽时应打开泵的】气镇阀?
【 检查数》量全数检查
!
检验方法!观察检查用测温仪】、计时器、真空【计测量
》