， 13.11 ！ 稀有气《体真空泵 【 》13.11.—1 稀有气》体真空泵试》运转前应符》合下列要求》    ！1 各润滑部位加】注润：滑剂：的规格和《数量应符合设计【。技，术文件？的，规定； 】    2》 泵试？运转前应盘车灵活】并应无阻滞； 】 《   3 驱动【机的转向《应与泵的转向相符】；  】  4 各指示仪】。表、安全《保护装？置，及电控装置均应灵】敏、准确、》。可，靠 ：    】检查数？。。量，全，数检查？ —   检验方法【观察检查 》 ， ， ？13.？11.2 》稀有气体真空—泵试运转应符—合下列要求》   】 ，1 稀有气体真空泵！。连续试运转时—间不应少于3—0min； 【    2 ！轴承的温《度和温升应符合设】。计技术文件的—规，定；  ！。。  ：3 试运转》中应无异《常的：声响和振动各连【接部位应严密—无，。泄漏； 【  ？  4 检查泵【的极限真空度—真空度应符合—。设计技术文件的规】定； 》 ：。 ，。   ？5 停泵前应关【闭吸气口处阀—门并应？使泵与？真，空系统隔绝； 【 》   6 》。抽吸气？体中：含，有较多？的，可凝性蒸汽时应打开！泵，的气镇阀《   】 ，检查数量全数检查 ！    】检验：方法观？察检查用测温仪、计！。时器、？真空计测《量 ？