。
《1,3.11 稀【。有气体真空泵
【
1】3.11.1— 稀有气体真空【泵,试运转前应符合下列!要,求
》
1 各】润滑部位加》注润滑剂的》规格和数量应符【合设计技术文件的】规定;
】
2 泵【试运转前应盘车灵活!并应无阻滞;
】
— 3 驱动机—的,转向应与泵》的转:向相符;
》
》 : 4 各指》示,仪表、安《全,保护装置及电控【装,置均应?灵敏、准《确,、可靠
《
》。 检查数量全】数,检查
! 检验方法观察检!查
【13.?11.2《。 稀有?气体真空泵》试运转应《符合下?列要求
! : 1 稀有气体真】空泵连续试》运转时间不》应少于3《0min《;
:
,
》 2 轴承—的温度和温升应符】合设计技术文—件的规定《。;
《
:
? 3 试运转—中应无?异常:的声响和振动各连】。接部位应严》密无泄漏;
【
,
4【 检查泵的极限真】。空度真空度》应符合设计技术文件!的规定;
!
5 —停,泵,前应关闭吸》气口:处阀门并应使泵与】真空系统隔绝;
】
【 6 抽吸气体中含!有较:多的可凝性蒸汽时应!打开:泵的气镇《。阀
?
?
:。 检查数量全数】检查
! 检验方法观察】。。。检,查用测?温仪、计时器、【真空计测《量
?