7.10】 :管路与系统检—测
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7.1【0.1 管—路与:系统检测的内容应】根据电?子生产工艺要求确定!。并应按合同规定在】工程完?工后进行
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7.10!.2 《化学:。品系统?。工程的检测项目应】包括强度试验、严】密性试验、泄漏性试!验、洁净度测试、电!气性:能测试以及》合,同,要,求的测试
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7.10.【3 管《路强度试验》、严密性试》验及泄漏《性试验?应符合表7.1【0.3?的规定?
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!7.10.4 管!道试验合格》后应采用纯水进行】。系统冲洗冲洗—应沿化学品流动【的方向进《行冲:洗应从阀门箱出口排!放到临时储药桶纯水!冲洗后还应》采,用氮气对系统进【行吹扫冲洗》。、吹:扫标准应符合工【艺设:备的:要求
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7.10—.5 《管,道洁净度测》试应:符合下列要求
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— 1 管道【洁净度测试应在对】管道系统进行—。冲,洗、吹扫后进行;
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2 】 颗粒测试应—通过取样阀取样【测试单位容积—内的颗粒数应符合】工艺:系统的要求无特殊要!求,时0.?1μm颗粒应小【于5粒/mL
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7《。.10.6 电气!设,备,的绝缘应符合现【行国家标准建筑电】气工:程,施工质量验收—规范GB《 50?303的有关规定
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7.10.—7,。 易燃易爆溶剂化!学,品管道防静》电接地电阻值—检测不得大于1【0,0Ω
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