《7.10  管路】与系统检测 ！ ， 7.10【.1  管路—与系统检测的内容】应根据电子生产工】艺要：求确定？并应按？合同规定在工程完】工后进行 【 7.10【.2  《化学品系《。统工程的检测项目应！包括强度试验、严】。密性试验、泄—漏，。性试验、洁净度【测试、？电气性？能测试以《及合同要求的测【试， ： 7.—10.3  管路强！度试验、严》密性试验及》泄漏性试验应—符合表7.》10.3的规定 ！ 【 ， 7.《10.4  管道】试验合格后应采【。用纯水进行系—统冲：洗冲洗应沿化学【品，流动：的，方向进行冲洗应从阀！。门，箱出口排《。放到临时储药桶纯】水冲：洗后还应采用氮气】对系：统进行吹扫冲洗【、吹扫标《准应：符，合工艺设备的—。要求 【 7.？10.？5， ， 管道洁净度测试应！符合下列《要求 ？   【  1？ ， 管道洁净度测试应！。在对管道《系统进行《冲洗、吹扫后—进，行，； — ，  ：  2 《 颗粒测试》应通过取《样阀取样测试—单位容？积内的颗粒数—应符合工艺系—统的要求无特殊要求！时0.1μm颗【粒应：小于5粒／mL【。。 7.】10.6  电气设！备的绝缘《应符合现行国家标准！建，筑，电气工程《施工质量验收规【范GB 《。50303的有关规！定 7】.1：0.7 《 易燃易爆溶剂化】学，品管：。道防静电接》地电阻值检》测不得大于100】Ω ： ，