安全验证
7.10】  :管路与系统检—测 》 7.1【0.1  管—路与:系统检测的内容应】根据电?子生产工艺要求确定!。并应按合同规定在】工程完?工后进行 》 7.10!.2  《化学:。品系统?。工程的检测项目应】包括强度试验、严】密性试验、泄漏性试!验、洁净度测试、电!气性:能测试以及》合,同,要,求的测试 】 7.10.【3  管《路强度试验》、严密性试》验及泄漏《性试验?应符合表7.1【0.3?的规定? ? !7.10.4  管!道试验合格》后应采用纯水进行】。系统冲洗冲洗—应沿化学品流动【的方向进《行冲:洗应从阀门箱出口排!放到临时储药桶纯水!冲洗后还应》采,用氮气对系统进【行吹扫冲洗》。、吹:扫标准应符合工【艺设:备的:要求 》 , 7.10—.5  《管,道洁净度测》试应:符合下列要求 】。   —  1  管道【洁净度测试应在对】管道系统进行—。冲,洗、吹扫后进行; ! : ,     2 】 颗粒测试应—通过取样阀取样【测试单位容积—内的颗粒数应符合】工艺:系统的要求无特殊要!求,时0.?1μm颗粒应小【于5粒/mL ! 7《。.10.6  电气!设,备,的绝缘应符合现【行国家标准建筑电】气工:程,施工质量验收—规范GB《 50?303的有关规定 ! 《 7.10.—7,。  易燃易爆溶剂化!学,品管道防静》电接地电阻值—检测不得大于1【0,0Ω 《