9.4 】 空气调节与净化】 】9.4.2  洁】净室（区《）与周围的》环境要保持一—定的静压差这—是为：了确保洁净室（区）！的正常工作》状态或空气平—衡，暂时受到破》坏时空气流只—能从空气洁》净度等级高的房间】。（区域）流向—空气洁净度等级低】。的房间？（区：。域）：使洁净室《（区）内的空—气洁净？度不会受到污—染空气的干扰 【。    】  ：玻璃基板《工厂内？因工艺工序连续【性的要？求有些不同洁—净度的？洁净室（区》）以及洁净》区和非洁净区—之间可能会有一些】无法封？堵的工艺《孔洞设计《需要配合《工艺进行《相关的设计考虑【以保持各《区域之间的压力【满足要求《 —。9.4.4  本条！对新风处《理机组的设》置做了规定 】   》   1  本款规！定是为了很好地控】制洁：净室内的正压值同时！也为了节能》   】   2  —本款规定《的目的是室外—含尘：空气在送入洁净室前！得以：彻底：过滤从而延长洁【。净室顶？部风机过《滤单元（《FFU）内过滤器的！使用寿命 》   【   3  本款规！定，是为了提高》新风：处理系统的可靠性确！保洁净室内的—正压：值和：洁净度 》 9.4.】5，  本条《。对净化？空调机组的选—用及：布置做了规定— ？  《    1  本】。款规定是为了满足】节，能要求 】 ，     》3  本款规定【是为了提高》风处理系统的可【靠性确保《洁净室内的温湿度和！洁净度 — ？9.4.7  本】。条对干冷却盘管【的选用及布置—做了规定 —  》  ：  1 《 本：。款规定？主要是考虑房间【相对湿度是由新风】机，组保证？的干冷却《。盘管不承担去湿功】能，而且为了《洁净室的维护—以及相对湿度的【控，。制干冷却盘管不【。应有去？湿功能干冷却盘管】的供水温度应通【过计算确定》通，常要高于洁净室（区！）内的露《。点温：度 ？      ！2  本款》规定主要是考虑到干！冷却盘管尺寸的【选择：会对洁净《室气流循环阻力以】及处理负荷起到【很大影响对于风【。过滤单？元（FF《U）的？机，外余压的选择—以及降低能源—消耗都是重要的【影响：因素 —。      3】  本款规定—主要考虑到气流以及！房间温度的》控制： 《      【4  干冷却盘【管在正常运行时虽无！冷凝水析《出但考？虑到洁净室在高【湿环境下启动干冷】。却盘管、《管路系统意》外渗漏以及干冷却】盘管及？水系：统需：要检修而排水等因素！最好还？应设置？积水盘及排水—系统 【      5  ！本款规定《主要考虑到》水管阀组如设置在】重要工艺《设备：以及：配电设？备上：方如产生《漏水：情况会对设备—、人员？安全以及生》产造成很大影响 】 9.【。4.9  本条规】定主要？是考虑薄膜晶体【管显示器件》玻璃基板工》厂的特？殊性熔化区的—生，产为连续且不能【间断为？。生产服务《。的配电间及》控制室？一般：布置在熔化区域周】边房：间内电气设备发热量！较，大且周围环境温度】均很高如《房间：。空调故障《会对生产正常—运行造成很大—影，响因此需要考虑设置！备用机组《当冷冻水系统不设】应急电源《的时候如出》现供电事故时设置】了应急电源》的风冷空调机组应能！投入使用确保房间温！度，同时风冷《空，调机组应能保证全年！可运行制冷风冷【空调的选型应能【满足冬季室外温度】条件：下能够正常运行在制！冷，工况 《