9》.4  空》气调节与净化 【 9.！4.：2  洁净室（【区）与周围的—环境：要保持一定的静【压差这是为了—确，保，洁净室（区）的正常！工作状？态或空气平衡暂时】受到破坏时空气流只！能从空气洁净—度，等级：高的房间（区—域）流向空气洁净度！等级低的房间（【区域：）使洁净《室（：区）内的空气洁净度！不会受到污染—空气的？干扰 《      ！玻璃基板工厂内因工！艺，工，序，连续性的要求有些】不同：洁净度的《。洁，净室：（区：）以及洁《净区和非洁净区之】间，可能会有一些—无法封堵的》工艺孔洞设计需要配！合工艺进行相关【的设计考虑以保持】各区域之间的压力】满足要求《 9【.4.？4  本条对新风处！理机组？的设置做了规定【 ： ？      1【  ：。本款规？定是为了很好地控】制洁净室内的正【压值同时也为了【节能  ！。    2  本】款规定的《目的是室外含—尘空气在《送入洁净室》前得以彻底过滤从而！。延长洁？净室顶部《风机过滤单元（FF！。U）内过滤器的使】用寿命 —      3！  本款规定是为了！提高新风处》理系统的可》靠性确保《洁，净室内的正压值和】洁，净度 【。 9.4.5  本！条，对净化？空调机组的选用及】布，置做了规定 ！     — ，1  本《款规定是为了—满足节能要》求， ： ：  ？    3  本款！规定是为了提高【风处理？系统的可靠》性确保洁净室内的温！湿度和洁净度 】 ， 9《。.4.？7，  本条对干冷却】盘管的？选用：及布置做了》规，定  】。    《1  本款规—定主：要是：。考虑房间相对湿度】是由新风《机组保证的干冷却】盘管不承担去湿功】能而且为了洁—净，室，的维护以及相对湿】度的控制干冷—却盘：管，不应有去湿》功能干？冷却盘管的》供水温度应》通过计算确定通常】要，高于洁净室（区）】内的露点温度 【 ：   》。 ，  2？  本款规定主要】是考虑到干冷却盘】管尺寸的选》择会对洁净室—。气流循环阻力以及】处理负荷起》到，很大影响对于—风过滤单元（F【FU）的《机，。。外余压的选》择以：及降低能源消耗都是！重要的影《响因素 《 》 ，    3 — ，本款规定主》要考：虑到：气流：以及房间温度的控】制 》      4 ！ 干冷却《盘管在正常运行【时虽无？冷凝水析出》但考虑到洁净室在高！湿环境下启动干冷】却盘管、管路—系统意外《渗漏以及干冷却【盘管及水系统需【要检修而排水等【。因素最好还应设置】积水盘及排水—。系统 《    【 ， 5：  本款《规定主？。要考虑到水》管阀组如设置—在重：要，工艺设备以及—配电设备上方如产生！漏水情？况会对设备、人员】安全以及生产—造成很大影响 【 9—.4.9  本【条规定？主要是考虑薄—膜晶体管显示器件】玻璃基板工》。厂的特殊性熔化【区的生产为连—续且不能《间断为生产服务【的配电间及控—制室一般布置在熔】。化区域周边房间【内电气设备》发热量较大》且周围环境温度均】很高如房《。间空调故障》。会对生产正》常运行？造成：很大影响因此—需要考？虑设置备用机组【当，冷冻水系统不—。设应急电源的时候】如，出现供电事故时设置！了应急电《源，的风冷？空调机？组应能投入使—用确：。保房间温度》同时风冷空调机组】应能保证全年可运】行制冷？风冷空调的选型应】能满足冬季室外【温，度条件？下，能够正常《运行在制冷》工况 《