：。 ：9.4？  空气调节与净化！ 《 ？ 9.？4.2  洁—净室（区）与周围的！环境：要保持一《。。定的静压差这是为了！确保洁净室》（区）的正常—工作状态或空—气平衡暂时受到破坏！时空气？流只能从空气洁净】度等级高的房间（区！域）流向《空气洁净度等级低】。的房间（区域）使】洁净室？（区）内的空气【洁净度不《。会受到？污染空气的干扰 ！ ， ？     玻璃【基板工厂《内因工艺《工序连续性的要求】有些：不同洁净度的洁净】室（区）以及洁【净区和非洁净区【之间可能会》有一些无《法封堵的工艺孔洞】设计需要配合工艺】进行相关的设计【。考虑以保持各区域之！间，的压力满足要—。求 》 9.4》.4 ？ 本：条对新风处》理机组？的设：置，。做了规定 —      ！1  本款规—定是为了很》好地控？制洁：净室内的正压值【同时：也为了节能》 ，   【   2《 ， 本款规定》。的目的是《。。室外：含，尘空气？在送入洁净室前【得以：彻底过？滤从而？延长洁净《室顶部风机》。过滤单元《（FFU）内过滤】。器的使用寿》命，  【 ，   3  本款】规定是为了提高新风！处理系统的可靠性确！保洁净室内》的正压值和》洁净度 ！9.4.5  【本条对？。净化空调机组的选】用及布置做了—规定 ？。 ：      】1  本《款规定？。。是为了满足节能【要求 】     3—  ：本，款规定是为了提高风！处理系统的可—靠性确保洁净—室内的温湿度和【洁净度 【 ， ，9.：4.7？  本条《对干：冷却盘管《的，选用及布置》做了规定 【 ，    》  1？  ：本款规定《主要是考虑房间【。相对湿度是》由新风机组保证【的干冷却盘管—不承担？去湿功能而且为【了洁净室的》维，。护以：及，相对湿度的控—制干冷却盘管不【应有去湿功》能干冷却盘管的供】水温度？应通过计算确定通常！要高于洁净室—（区）内的露点温度！ —   ？。  2  》。本款规？定主要？是考虑到干冷却盘】管尺：寸的选择会对洁净】室，气流循环《阻力以及《处理负荷起到很【大影响对《于风过滤单元（F】F，U）的机外余压的选！择，以及降？低能源？消耗都是重要—的，影响：因，。素  】    《3  本款规定主要！考虑到气流以及房】间温度的控制 】  》    4  【干冷却？盘管在正常运行【时虽无冷《凝水析出但考虑到洁！。净室在高湿环境【下启：动干冷却盘管、管路！系统意外渗漏以及干！冷却：盘管：及水系统需要检修而！排水等因素最好【还应设置积水盘【及排水系统 】 ：      5【  本款规定主【要考虑？到水管阀组如设置】在重：要工艺设备》。以，及配电设备上方如】产生漏？。水情况会对》设备、人员安全以及！生产造成很大影响】 《。 9.4》.9  本条规【定，。。主要是考虑薄膜晶体！。管，显示器件玻璃基板】工厂的？特殊性熔《化区的？生产为连续且不能】间断为？生产服务《的配电？间及控制室一般布置！在，熔，。化区域周《边房间内电气设【备发热量《较大且周围环境【温度均很高如房【间空：调，故障会对生产—正常运行造成很【大影响因此需要【。。考虑设置备用机组】当，冷冻水？。系统不设应急—电源的时候如出现】供，电事故时设置了应】急电源的风冷空【调机：组应能投入使用确保！房间温度同时风冷空！调，机组应能保证全【年可：运行制冷《风冷空调的选型应能！满足冬季室外—温度条件下》能够正常运行在【制冷工况 —