9.4  ！空气调节与》净化 《 9【.4.2  洁净室！（区）？与周围的《环境要保持一—定的：静压差这是为了确保！洁净室？（区）的正》常工作状态或—空气平衡《暂时受到破坏时【空气流只能》从空气洁《净度：等级高的《房间（区域）流【向空气洁净度等级低！的房间（区域）使洁！净室（区）内的【空气：洁净度不会受—到污染空气的干扰】    ！  玻璃基板工厂内！因工：艺工：序，连续性的要求有些不！同洁净度的洁净室】（区）以及》洁净区和《。非洁净区之间可【能会有？一些无法封堵的【工艺孔洞设》计需要配合工艺进】行相关？的设计考虑以—保持：各区：域之：间的压力满足要求 ！ ： 9.4.【4  本条对新风】处，理机组的设置做了】规定 —     — 1  本款规定是！。为了很好地控制洁】净室：。内，的正压值《同时也为了》节能 《。    【  2？  本款规定的【。目的是室外含尘空气！在送入洁净室前【得以彻底过滤从而】。延长洁净室》顶部风机过滤单元（！FFU）内过滤器】的使用寿命》 ： 《。    《 3  本款规定】是为了提高新—风，处理系？。统的：可靠性？确，保洁净室内的—正压值？和，洁净度 》 ？ 9.4.5— ， 本：条对净化空调机组】的选用及布置—做了规定《   】   1《  本款规定是为】了满：足节能要求 ！。 ，  ：    3  【本款规定是为了【提高风？处理系统的可靠性】确保洁？净室：内的温湿度和—洁净：度 【9.4？.，7  本条对干冷却！盘管的选用》。及布置做了规—定 《    —  1  本—款规：定主要是考虑—房间相对湿度是由新！风机组保证的干【冷却盘管不承—担去湿功能而且【为了洁净室》的维护以及相对湿度！的，控制干冷却盘管不应！。有去湿？功能：干冷却？盘管的供水温度应】。通过计算确》定通常？要高：于洁净室（》区）内的露点温度】 ？     【 2 ？ 本款？规定主要是考虑到干！冷却盘管尺寸的【选择会对洁净室【气流循环阻力以及处！理负荷起到很大影】响对于风过滤单元】（FF？U）的机外余—压的选？择以及降低能源【消耗都是《重要：。的，影响因素 》 ：  《。    3 — ，本款规？。定主要考虑到气【。流以及房《间温度的《控制： ：。     】 4  干冷却盘管！在正常运行时虽无冷！凝水析出但》考虑到？洁净室在高湿—环境下启动干冷却盘！管、管路系统意外】渗漏以及干冷却盘管！及水：系，统需要检修而排【水等因素最好还【应设置积水盘及排水！系统 》  《    5  【本款规定《主，要考虑到水管—阀组如？设置在？重要：工，艺设：。备以及配电设备上】方如产生漏水情况会！对设备、人员—安全以及《生产造成《很大影响 》 ， 9.—4.9  》本条规定主要是【考虑薄膜晶》体管显示器件—玻璃基板工厂—的特殊性熔》化区的生产为—连续且不《能间断为《生产服务的配电间】及控制室《一般布置《在熔化区域周—边，房间：内电气设备发—热量较大且周围【环境温度均很高如房！。间空调故障》会对生产正常—运行造成《很大影响因此需【要考虑设置备用机】组当冷？冻水系？统不设应急电源的】时候如出现供电事故！时，设置了应《急电源的风冷空调】机组应能投》入使用确保》。房间温度《同时风冷空调机【组应能保证全年可运！。行制冷风冷空调【的选型应能满—。足冬季室外温度条件！下能够正常运行在制！冷工况？ ：