。 9.4 】 空气调节与—净化 】 9.《4，.2 ？ 洁：净室（区）与周围的！环境要保持一定的】静压差这是》为了确保洁》净室（区）的正常】工作状态《或空气平衡》暂时受？到破坏时空》气流只能从空气洁净！度等级高的房—间（：区域）流向空气洁】净度等级低的—房间（区域）使洁净！室（区）内》的空气？。洁净：度不会受到污染【空气：的干扰 】   ？   玻璃基板【。工厂内因工》艺工序连续性的要】求有些不同》洁净：度的洁净室（区）】以及：洁净：区和非？洁净区之间可能会】。有一些无法封堵【。的，工艺孔洞设》计需要？配合工艺进行相【关的设计考虑以保持！各区域之间的压【力满足要求 【 9》.，4.4 《 本条？对新风处理机组的】。设置做了《规定 《     】 1  本款—规定是为了很好地控！。制洁净室内》的正压值同时也【为了节能《 ？    —  2  本款规定！。的目的是室外—含尘空气在送—入洁净室《前得以彻底过滤从而！。延长洁净室顶—部风：机过滤单元》（，FFU）《内过滤器的使用寿命！    ！  3？ ， 本款规定是—为了：提高新风处理系统】。的可靠性《确保洁净室内—的，正压值？和洁净度 】 9？.4.5  —本条对净化空调机】组的选用及布置做了！规定： ：   — ，  1  本—款规定是为了满足】节能要求 】 ，。。  ：    《3  本款规定【是为了提高风—处理系统的》可靠性？确保洁净室内的温湿！度和洁净度 】 9.4—.7  本条—对干冷却盘管的选用！及布置做了规定 】 》     1—  本？款，规定主？要是考虑房间相对湿！度是：由新风机组保证的】。干冷：却，盘管不承担去湿【功能而且为了洁净室！的维：护以及相对》湿度：的控：制，干冷却盘管》。不应有去湿》功，能干冷却盘管—的供水温度》应通过计算确定【通常要高于洁净室（！区）内的露》。点温度 】     》。 2：。  本？款规定主要是考【。虑到干冷却盘管尺】寸的选择会》对洁净室气》流循环阻力以及处理！负荷起到很大影响】对，。于风过滤单元（FF！U）：。的机外余压的选【择以及？降低能源消耗都【是重要的影响—因素 》   》 ，  3  本款规定！主要：考虑到？。气流以及房间温【度的控制《 ？ ？ ，。    4》  ：干冷却盘管在正常运！行时虽无冷凝—水析出但考》虑到洁净室》在高湿环《境下启动《干冷却盘管、管【路系统意外渗—漏以及干冷却—盘，管及水系《统，需要检修而排—水等因？素最好还应设置【积，水盘：及排水？系，统   ！   5《 ，。。 本款？。规，。定，主要考虑到》水管阀组如设—置，在重要工艺》设备以及配电设【备上：方如产？生漏：水情况会对设备【、人：员安：全以及生产造成很】大影响 ！9.4.9》  本条规定主要】是考虑薄膜晶体管】显示：器件玻？璃基板？工厂的特殊性熔【化，。区的生产为连续且】不能间断为生产服】务的配电间及—控制室一般布置【在熔化区域周边房】间内电气设备—发热量较《大且：周围环境《温度均？很高如房间空调【故障会对《。生产正常《运行造？成很大影响因—此需要考虑设置备】。用机组？当冷冻水系统不设应！急电源的时》。候如出现供电事故时！设，置了应急电》源的风冷空调—机组：应能：。投入使用确保—房间温度同时风【冷空调？机组应能保证全年可！运行制冷风》冷空调的选型应能】满足冬？季室外温度条件下能！够正常运行在制冷工！况 ？