：。 ：。9.4  空—气调节？与，净化 》。 》9.4.2》 ， 洁净室（区）与】周围的环境要—保持一定的静压【差这是为了》确保洁净室（区）】的，正，常，工作状？态或空气平》衡暂时受到破坏时】。空气流？只能从空气洁净【度等级高的房间【（区域？）流向？空气洁净《度等级低的房—间（：。区，域）使洁净室—（区）内《的空：。气洁净？度不会受到污染【空气的干扰 【 ？      玻【璃基板工厂内因工艺！工序连续性的要求】有些不同洁净度的洁！净，室（区）以及洁【净区和非洁净区之】间，可能会有一》些无法封堵的工【艺孔洞设计》需要配合工》艺进行相关的设计考！虑以保持各区—域之：间的：压力满足要求 【 9.4.！4  本条》对新风处理机组的】设，置做了规定 —     ！ 1 ？。 本款规定是为【了很好地控制洁净室！内的：正压：值同时也为了节能】  【   ？ 2 ？。 本款规定的目的】是室外含尘空气在送！入，洁净室？前得以彻底》。过滤从而延》长洁：净室顶部风机过滤】单元（FFU）内过！滤器的使用寿—命 《 ，      3 ！ 本：款规定是为了提高新！风处：理系统的《可，靠性确保洁净室内的！正，压，值和洁净度 ！ 9.4》.5  本条对净】化空调机《组的选用及布置【做了规定 》    】  1  本—款规定是为了满足节！能，要求：    ！  3  本款规】定是为？。了提高？风处理？系统的可靠》性确保？洁净室内的温湿度和！洁净度 【 9.4.7  ！本条对干冷却—盘管的选用及—布置做了规》定   ！。   ？1  本款》规定主？要是：考虑房间《相对湿度是由新风】机组保证的干冷【却盘管不承担去湿功！能而且为了洁—净室的维《护，以及：相对湿度的控制干冷！却盘管？不应：。有去湿功《能干：冷却：盘，管的供水温度应通】过计算确定通常要高！于洁净室（区）内的！。露点温度 —   — ，  2 《。 本款规定主要是】考，虑到干冷却盘管尺】寸的选择会对洁【净室气流循》环阻力以及》。处理负荷起》到很大影响对于风过！滤单元（FFU【。。）的机外《余压的？选择以及降低能源消！耗都：是重：要的影？响因素 —  《    3  本款！规，定主要考《虑到气？流以及房间温度的】控，制 ？   —   ？4  干冷》却盘管在正常运行】时虽无冷凝水—析出但？考虑到洁净室在高湿！环境下启动干冷却】盘管：、管：路系统意《外渗漏以《及干冷却盘管及水】系，统需要检《修而排水《等因素最《好，。还应设置《积水盘及排》水系统 ！     5 【 本款规《定主：要考虑到水》管阀组如设置在重要！。工艺设备以及—配电设备上方如【产生漏水情》况会对设备、人员安！全以及？生，产造成？很，大影响 《 9.4.！9  ？本条规定主要是【考虑薄膜晶》体管显示器》件玻璃基板工—厂的特殊性熔化区的！生产为连续且不【能间断为生产服务的！配电间及控制室【一般：布置在熔《化区域周边房—。间，内电气设备发热【量较大且周围环【境温度均很高如房】间空调故障会对【生产正常运行—造，成很大影响》因，此需要？考虑设置备用机组】当，冷冻水系统》不设应急电源的【时候如出《。现供电事故时—设置了应急电源的】风冷空？。调机组应《能投入使用确保【房间温？度同时风冷空调机组！。应能保？证全年可运行制【冷风冷空调的—选型应？能满足冬季室外【温度条件下能—够正常运行》。在制冷工况 — ，