9.4  ！空气调节与净—化 【 9.《。4.2  洁净室（！区）：与周围的环境要【保持一定的静压【差这：是为了确保洁净【室（：区）的正常工作【状态：或空气平衡暂时【受到破坏时空气流只！能，从空气洁净度等级】高的房间（区域）】流向空气《洁净度？等级：低的房间（区域【）使洁净室（区）内！的空气洁净》度不：会受到污染空气【的干扰 ！   ？  ：玻璃基？板，工厂内？因工艺工序连续【性的：要求有些不》同洁净度的洁—净室：（区）？以及洁净区和非洁净！区之间？可，能会有？。一，些无法？封堵的工艺孔洞设】。计需要配合工艺进】。。。行相关的设计考虑以！保持各区域之—间的压力满足要求 ！ 9.【4.4  本条对新！风处理机组的设【置做了规定 】     【 1：  ：本款规定《是为了很《好地控制洁净室内】的正压值同》时也为了节能 ！      2！  本款规定的目的！是室：外含尘？空气在送入洁净室】前得以彻《底过滤从而延长洁】。净，室顶部风机过滤单元！（FFU）内—过滤器的使用寿命】 ， 《      —3，  ：本款：规定：是，为了提高新风处【理系统的可靠性确】保洁净室内》的正压值和》洁净度 】 9.4《.5  本条—对净化空调机组【。的选用及布置做【了规定 】  ：    1》  本款《规定是为了满足节】能，要求 》     【 ，3  本款规—定，是为了提高》风处理系统的可【靠性确保洁净室【内的：温湿度和洁净度 ！ 9.—4.7？  本条对》干，冷，却盘：管的选用及》布置做？了规：定， ？    —  1 《 本款规《定主要是考虑房间】。。相对湿度《。是由新风《机组：保证的干冷却盘【管不承担去湿—功能而且为》了洁净室的》维护以及相》。对湿度的控制—。干，。冷却盘管不应有去】湿功能？干冷却盘管的供水温！度应通过计算确【定通常？要高：于洁净室（区）内】的露点温度》 》      —2， ， 本款规定主要【是考虑到干冷却盘】管尺寸的选择会对洁！净室：气流循环阻力以【及处理负荷起到【。很大影响《对于风？过滤单元（F—FU）的机外余压】的选择以及降—低能源消耗都是重】要的影响因素—。 —     3—  ：本款规定主要考虑】到气流？。以，及房间温度》的控制？ 》      —4  干冷》却盘管在正常运行】时，虽无冷凝水析出但考！虑到洁净室》在高湿环境下启【动，干冷却盘管、—管路系统意外渗漏以！及干冷却盘管—及水系统需》要检修？而排水？等因素最好还应设置！积水盘及排水系统 ！   【   5  —本，款规定主《要考虑？到水管阀组如设置在！重要工艺设备—以，及配：电设备上方如产生漏！水情况？会对设备、人员【安全以及生产造成】。很大影响 》 ： 9.4—.9  本条—。规，定主：要是考？虑薄膜晶《体，。管显示器《件玻：璃基板工厂的特【殊性熔？。化区的？生产为连续且不能】间断为生产服务的配！电间及？控制室？一般布置《在熔化？区域周边房间内电】气设：备发热量较大且【周围环境温度均很高！如房间空调故—障会对生产正常运行！造成很大影响因此需！要，。考虑：设置备用机》组当冷？冻水系统《不设应急电源的时】候如出现供电—事故：时设置了应急电【源的风冷空调机【组应能投《入使：用确保房间温度同时！风冷空？调机组应能保证全】年可运行制冷风【冷空调的选型应能】满足冬季室外温度】条，件下能够正常—运行在制《冷工况 》