9.4  ！空气调？节与净化 【 9—.4.2  洁【净室（区《）与周围《。的环境要保持一定的！静压差这是为了确】保洁：净室（区）的正常】工，作状态或《空气平衡暂时受【到破坏时空气—流只能从空气洁净度！等级：高的：房间：（区域）流向空【气，。。洁净：度等级低的房间（区！域）使洁净室（【区）内的空气洁净度！不会受到污染空气】的干扰？ ，     ！ 玻璃基板》工厂内？因工：艺工序连续性的【要求有些不同—洁净度的洁净室【（区：。）以及洁净区和非】洁净区之间可—能会有一些无法【封堵的工艺孔洞【设计需要《配合工艺进行相关的！设计：考虑以保《持各区域《之间的压力满足要】求 9.！4.4  本条对】新风处理机组的设】置做了？规定 —      1】  ：本款规定是为—了很好？地控制洁净室内【的正压值同时也【为了节能 》 ：    —  2  本款【规定的？目的：是室外含尘空气【在，送入洁净室前得以彻！底过滤从而延长洁净！室顶：。部风：机过滤单《元，（FFU《）内：过滤器的使》用寿命？  【  ：  3 《 本款规定是为了提！高新风？处理：系，统的：可靠性确保洁净【室内的正《压值和洁《。净度 ？ 《 9.？4.：5  ？。。本，条对净化空调—机组的选《用及：布置做了规》定  】    1  【本款规定是为了满】足节能要求》    ！  3 《 本款？规定是为了提高风处！。。。理系统的《。可靠性？确保：洁净室内《的温：。湿度和洁净度 ！ 9.4.【7  本《条对干冷却盘管的选！用及布置做了规定】 —     1  本！款，规定主要是考虑房】间相对？湿度：是由新风《机组保证的干—冷却：。盘管不承担去湿功能！。而且为了洁净—室的维护《以及相对湿》度的控？制干冷？。却盘管不《应有去湿功能干冷却！盘管的？供水温？度应通过计算确定】通常：要高于洁净室（区）！内的露点温度 】   —   2  本款】规定主要是考—虑到干冷却》盘管尺寸《。的选择会对洁净室气！流循环阻力以及处】理，负荷起到很大—影响对于风过滤【单元（FFU—。）的机外余压的【选择以及降低—能源消？耗都是重要的影响】因素 《 ， ：      —。3  本款规定【主要考虑到气—流以及房间温—度的控制 【      4！  干冷却盘管在正！常运行时《虽无：。冷凝水析出但考虑到！洁净室在高湿环境】下启动干冷》却盘管、管》路系统意外渗—。漏以及干冷却—盘管及水系》统需要检修而排水等！。因素最好还应设【置积：水盘及排水系统 】 》     5—  本款规定主要考！虑到水管阀组如【设置在？。重要工艺设》备以及？配，电设备上方如—产，生漏水情况》会，对设备、人员安全以！及生产造成很大影】响 —。 9.4.9  本！条规定主《要是考虑薄膜晶体】管显示器件》玻璃基板工厂的特】殊性熔化区的生【产为连续且》不，。能间断？为，生产服务的配电间】及控：制室：一般布置在熔化区域！周边房间内电气【设备发热量较大且】周，围环境温度均很高如！房间空调故障会【对生：产正常运行造—成很大影《响因此需要考虑【设置备用机组当【冷冻水系统不设应】急，电源的？。时候如出《。现供电事故时设置】了应急电源的风冷】空调机组应能投入】使，用确保？房间温？度同：时风冷空调机组【应能保证全年可运】行制冷风《冷空调的选》型应能？满足冬季室外—温度条？件下能够《正常运行在制冷工】况 ？