。 1》0.5 《 纯 水 ！ 10.5【.1  纯水站设】计应符合现行国家】标准电子工业—纯水系统设计规【范GB 5068】5的有关规定 ！ 10.5.2！ ， 纯水系《统的规模、供—水水质、水压和水温！应根据工艺》设备的要求确定 ！ 1》0.5.3  纯】水站的位置》应满足工《艺总体布局要求并】宜靠近用水较集中的！区域 《 10.5】.，4  水质要求较】高的纯水系》统应采用循》环供：水的方式并应—符合下列规定 【   【   1  循环】管，道宜采？用同程布置》； ： 》     2—  ：循环附？加水量宜《大于或等于使用水量！的30％《；， 《。      【3  干管》流速宜为《1，.5m/s》～3：.0m/s；—  【    4》  不循《环的支管长度不宜】大于6倍管径—；   ！ ，  ：5  供水干—管上：应设：清洗口？ ：