1》0.5 》纯 水
《
10!.5:.1 ? 纯水站设》计,应符合现行国家标准!电子工业纯水系【统,设计规范《GB: 50685—的有关规定
【
10.5.!2 纯水系统【的规模?、供水?水质、水压和水温应!根据工艺设备—。的要求确《定,
》
10.5.—3 纯水站的位】置应满足《工艺总体布》。局要求?并,宜,。靠近用水较集—中,的区域
》
?
10.5.4 】 水质要求较—高的纯水《系统应采《用循环供水的—方式并应《符合下列规定
】。
》 《。1 循环管道【宜采用同程》布置:;
】 : 2 《 循环附加》水,量宜大?于或等?于使用水量的—30%;《。
— 3 干!管流速宜《为1.5m/s~3!.0m?/,。s;
—
《 ?4 不《循环的支管长—度不宜大于》6倍:管径;
《
! 5: 供水干》。管上应?设清洗口《
: