《10:.5 纯 水
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10.!。5.1? 纯?水,站,设计应?符合现行《国家标准电子工业】纯水系统设计规【范GB 5068】5的有关规定
【
10.5!.2 纯水系统】的规模?、供:水水质、水压—和水温应根据工【艺设备的要求确定】
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10.5.3! , ,。纯水:站的位置应满足【工艺总体布局要求】并宜靠近用水—较集中的区域
】
,
10.—5.4 《 水质要求》较高的纯水》系统应?。采用循环《供水的方式并应符】合下列规定
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《 , 1 循环管】道宜采用《同程布?置;
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? 2 循环附!加,水量宜大于或—等于使用《水量的30》%;
】 3 干!管流速宜为1.【5m/s~3.0】m/s?。;
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? 4 【 不循环的支—管长度不宜大—。于6倍管《径;:
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《 ? 5 供水干管】上应设清洗口
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