《10：.5  纯 水 ！ 10.！。5.1？  纯？水，站，设计应？符合现行《国家标准电子工业】纯水系统设计规【范GB 5068】5的有关规定 【 10.5！.2  纯水系统】的规模？、供：水水质、水压—和水温应根据工【艺设备的要求确定】 ？ 10.5.3！ ， ，。纯水：站的位置应满足【工艺总体布局要求】并宜靠近用水—较集中的区域 】 ， 10.—5.4 《 水质要求》较高的纯水》系统应？。采用循环《供水的方式并应符】合下列规定 ！。   《 ，  1  循环管】道宜采用《同程布？置； 《 ？   ？   2  循环附！加，水量宜大于或—等于使用《水量的30》％； 】     3  干！管流速宜为1.【5m/s～3.0】m/s？。； 《 ？     4 【 不循环的支—管长度不宜大—。于6倍管《径；： ？  《   ？ 5  供水干管】上应设清洗口 【 ，