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10.5 纯】。 水
《
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10.5!.1 纯水站设计!应符合现行国家【标,准电子工业纯水系】统设计?规范GB 50【6,85的有关》规定:
—10.5.2 纯!水系统的规模、供水!水质、水压和水【温应根据工艺—设,。备的要求确定—
》
10.5.—。3 纯《水,站的位置应满足【工艺总体布局要【。求并宜靠近用—水,。较集中的区域—
10.!5.4 水质【要求较高的纯水【系统应采用》循环供水的方—。式并应符合下列规定!
】 : 1 循环管道宜!采用同程布置;
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2!。 循环附加水量】宜大于或等于使用】水量的30%—;
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!3 干管》流速:宜,为1.5m》/s~3.0m【/,s;
》
】。4 ?不循环的支管长度】不宜大于6倍管【径;
—。
5】 供?水干管上应设清洗】口
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