《10.5 》 纯 水《
】10.5.1 【 纯水站《设计应符合现行国】家标准电子工业【纯,水系统设计规范【GB ?506?85的有关规定
!
1》0.5.《2 纯《水系:统,的规模、供水水质、!水压和水温应根据】工,艺,设备的要求确—定
10!.5.3 纯水站!的位置应满》足,工艺:总体布局要求并宜】靠,近用水较集中的区】域
》
10.5.4 ! 水质?要求较高的》纯水系统应采用循】环供水?的方:式并应符合》下,列规定
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1 !循环管道宜采—用同:程布置;
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,
2【 循环附加水量宜!大于:。或等于使用水量【的30%;
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?
》 , 3: 干管流速宜为】1.5m/》s~3.0m/s;!
,
?
— 4 不循环的】。支管长度不宜大于6!倍管径;
】
? 5》。 供水干管—。上应设清洗口
】