安全验证
? 10.5  纯】。 水 《 , 10.5!.1  纯水站设计!应符合现行国家【标,准电子工业纯水系】统设计?规范GB 50【6,85的有关》规定: —10.5.2  纯!水系统的规模、供水!水质、水压和水【温应根据工艺—设,。备的要求确定— 》 10.5.—。3  纯《水,站的位置应满足【工艺总体布局要【。求并宜靠近用—水,。较集中的区域— 10.!5.4  水质【要求较高的纯水【系统应采用》循环供水的方—。式并应符合下列规定!   】  : 1  循环管道宜!采用同程布置; ! ,      2!。  循环附加水量】宜大于或等于使用】水量的30%—; ?      !3  干管》流速:宜,为1.5m》/s~3.0m【/,s; 》      】。4  ?不循环的支管长度】不宜大于6倍管【径; —。      5】  供?水干管上应设清洗】口 : ,