。 9.4【  空气调节—与净化？ —。 9.4.1 】 玻璃基板工厂【内的空气洁净度、】。温度、湿度应满【足生产？工艺：的要求？ 9.】4，.2： ， 玻璃基板工—厂洁净室与》周围的空间应—保持一定的静—压差：静压差？应符合？下列规定《   】   1  —不同：等级的洁净》室之间的静压差不】宜小于？。5Pa； — 《     2  】洁净室与非》洁，。净室：之间：的静压差不应小于5！Pa：；   ！  ： 3  洁净室与】室外的？静压差不应小—。于10Pa》 ： ？ 9.4.》3 ： 生产区净化房间】的新风量《应取下列《两项：。中，的，较，大值 《 ： ，   ？  ： 1  补》偿室内排风量和保持！室内正压值所需新鲜！空气量之和；— ， ， 《  ：   2  供【给洁净室《（区）？。内每人每《小，时的：新鲜空气量不—小于40m3供【给非洁？净室（区）》内每人每小时的新】鲜空气量不小于3】0m3 】。 9.4《.4 ？ ，净化空气调节系统】的，新，风应进行集》中处理新风处理机组！的设置应符合下列】规定  ！    1 — 送风机应采取【自动调速措施；【。    ！。  ：2，。 ， 空气宜经过粗效、！。中，效、高效过》。滤器三级处理； ！  》    3  【应有良好的气密性在！工作压力下》的漏风率不》得大于1《％； 【      4 】 应设置备》用新：风处理机组或在空调！设备：内设置？备，用，风机； 《 《 ，     5  】寒冷地？区或严寒《地区的新风机—组应设置防冻措施】以避：免危：害机组的正常运【行 【9.4.5  【。净化空？调，机组的选用》及布置应符合下【列，规定 》      】1  送风机宜采取！变频：调速措施《；，。   】   2 》 应有良好的—。气密性在工作压力下！的漏风率不得大于】1％； ！     3  当！服务于生《产连续性要求—。较强的或工艺对【房间温湿度要求【较高的环《境时空调机组宜设置！备机或设置备用风】机当空调机组或【风机：产生故障时备机【或备用风机应自【。动启动 【 ， ，9.4.《6  风机》过，滤单元（F》FU）？或高效过滤》风口：的布置应符合下【列规定 — ？     1—。  ：应，根据洁？净度等级及送风量来！确定； 】      2 】 应根据房》间的层高、吊顶【形，式、气流要求以及】。工艺设备的布置【要求来确定；—    ！ ， 3  应便于检修！及更换过滤器—； 《。。 ？    《 4  满布—率较高时《外壳的强度应—满足检？修的要求；》    ！  5？  ：。送风量应《能调节 】 9.4.7  】干冷却盘管》的选用及布置—应符合下列规定 ！     】 1  冷冻水的】进，水，温度宜？。高于洁净室（—区）空气《的露点温《度；  ！    《2  ？外形：。尺寸：以及：处理温差应》根据房间内的循【环空气风量、负荷】情况以及《空气过滤单元所提】供的：机外余压确》定； ？  —   ？ 3  布置在同】一洁净室（区）【内的干冷却盘—管在工作条件下空】气侧阻力相差不【应大于？10％； 》     ！ 4  应设置【排水设施非》落地安装的干冷却】盘管应设置积水盘】；   ！   5《。  供回水管上面阀！组的：位置设？。置应考虑检》。修，方便并避免设置在】重，要工：艺，设备以及配电设【备，的，上方 》 ？9.4.8  空】态洁净室噪》声级设计应符合现行！国家：标准电子工业洁净】厂房设计规范GB】 5047》2的：。有关规定 】 9？.4：.9  设置—在融化区《配电间及控制—室的空调系统宜【设置备？用机组当《采用冷冻水作为空】。调，冷源：。且冷冻？水系统不设应—急电源时宜采用自带！冷源的风《冷空调机组作—为备机风冷空—调机应由应》急电源？供电 《