9.4【  空气调节与【净化 》 ？ ：9.4.1  玻璃！基板工厂内的空【。气洁净度、温度、湿！度应满足生》产工艺的要求— 9.4！.2  《。玻璃基板工厂洁净】室与周围《的空：间应保持一定—的静：。压差静压《差应符合《下列规定 — ？     》 1  不》。。同等级的洁净—。室之间？的静压？差不宜小于5Pa；！ ？ ，  ？  ：  2 《 洁净室与非洁【净室：之间：的静压差不》应，小于5Pa》； 【  ：   3  —洁净室与《室外的静压差—不应小于《10Pa ！。 9.4.3  生！。产区净？化房间？。的，新风量应取下列【两项中的较大值【   】   1  —补偿室内《排风量和保持室内】正，压值所？需新鲜空气量之和；！。   】   2《 ， 供给洁净室（【区）内每人每小时的！新鲜空气量不小于4！0m3供给非洁【净室（区）内每人每！小时：的，新鲜空气量》不小于？30m3 】 9.4.—4  ？净化：空，气调节？系统的？新风应进行集中处】理新风处理机组的设！置应符合下列规【定 ？。   —   1  送风机！应采取自《动调速措施》。； ： ？   《  ： 2  空气—宜经过粗效、—中效：、高：效，过，滤器三级处理； ！ ？    《 ， 3  应有良好的！气密性在工作—压力下的《漏风率不得大于1】％；： ？ ，      【4  应设置备用】新风处理机组或在空！调，。。。。。设备内设置备用风机！； 》 ，      5 】 寒冷地区或严寒地！区的新风机组应【设，。置防：。冻，。措施以避免危害机组！的，正常运行《 》 9.4.》5  净化空—调机组的《选用及布《置应：。符合：下列：规定  ！    1》  送风机》宜采取变《频，调速措施；》 》 ， ， ， ，  2？ ， 应有良好》的气：密，性在工作压》力下的漏《风率不得大于—1，％，；，  【    3 — 当服务于》生产连续性》要求较强的》或工艺对《房间温湿度要—求较高的环境—时空调机组宜设置】备机或设置备用风】机当空？调机组或风机产生故！障时备机或备用风机！应自动？启，动 — 9.4.6  】风机过滤单元—（FFU）》。或高效过滤风口的】布置应符合下列规】定   ！。   1《  应根据洁净度等！级及送？风量：来确定； 】      【2  ？。。应根据房间的层【高、吊顶形式、气】流要求以及工艺设】备的布置要求来确定！； —。。    《  3 《 应：便于检？。修及：更换过滤器》；  】    4  满布！率较高时外壳的强度！应满足检修》。的要求； — ， ：      5 】 送风量应能调【节 《。 9.》。4.7 《 干冷却盘管的【。选用及布《置应符？合下列规定 】 ：     》 1 ？ 冷冻水的进—水，温度宜高于洁—净室（区《）空气的露》点温度；《 》      —。2 ： 外形尺《寸以及处理》温差：应根据房间内的循环！空气：风量、？负荷情？况以及空气过滤单元！所提供的《。机，外余压确定》； —    《  3  布置在同！。一洁净室（区）【内的：干冷却盘管在工作】条件下空气侧阻【力相差？不应大？于10？％； —  ？   ？ 4 ？ ，应设置排水》设施非落地安装的】干冷：。却盘管应《设置积水盘； 【 ，  》 ，   5  供【回水管上面阀组的】位，置设置应考虑检修方！便并避免设置在重】要工艺设备以及配】电设备的《上，。方 》 ， 9.4.》8  空态》洁净室噪声级—设计应？符合现行国家标准】电子工？业洁净厂房设计规】。范G：B 504》72的有关规—定 9】.4.9  设置在！融，化区配电《间及控制室》的空调系统宜设【置，备，用机组当采用冷冻】水作为？空调冷？源且冷冻水系统不】设应急电源时宜采用！自带冷源《的风冷空调机—组作为备机风冷【空调机应由》应急电源供》电 ？