9.—4 ：。 空气调节与净【化 】 9.？4.1  》玻璃：基板工厂内的空气洁！净度：、温度、湿度应满足！生，产工艺的要求 ！ 9.》4.2 《 ，玻璃基板工厂洁【净室与？周围的空《间应保持一定的静】压差：静压差应符》合下：列规定 ！     1— ， 不同等级》的洁净室之间—的静压差不宜小于】5Pa； —    【  2  洁—净室与非洁净室之】间的静压差》。不应：小于5Pa》； ？ ？  ：。    3》  洁净室与室外】的静压差《不应小于《10Pa — 9.4【。.3  《生，产区净化房间的【新风量应《取下列两项中的【较大值 《 ：。      1！ ， ，补偿室内排风—量和保持室内正压】值所需新鲜空气量之！和； ？ ：   》  ： 2 ？ 供给洁《净室（区）》内每：人每小时的新—鲜空气？。量不：小于40m3供给】非洁净室（区）【内每人每小时—的新鲜空气量不小】于30m《3 9.！4.4？  净化《空，气调节系统的—新风应进行集中处理！新风处？理机组的设置应符合！下列规？定 ：。 ： ？  ：   1  送【风机应采《。取，自动调速措》施；  ！ ，   ？2  ？空气宜经过》粗效：、中效、高》效过滤？器三级？处理； 《  —    《3  ？应，有良好的气密性【在工：作压：力下的？漏风率不得大于【1％； — ？ ，   ？ 4  应设置备用！新，风处理机组》或在空调设备内设置！备用：风，机；：   】   5  寒【冷地区或严》寒，地区的新风机组应】设置：防冻措施以》。避免危害机组的正】常运行 ！9，.4.5 》 净化空调机组的选！用及布置《应符合下列规定【  【    1 — ，送风机宜采取—。变频调速措》。施；： 《 ：     2 【 应有良好的气密】性在工？作压：。力下：的漏：风率：不，得大于1％；—   】   3  当服务！于生：产连：续性要求《较强的或工艺—对，房间温湿《度要求较高的环境】时空调机组》宜设置备机或设【置，备用风机当空调机组！或风：机产生？故障时备机或备用】风机应自动启动 】 9—.，4.6  风机【过滤单元（FF【U）或高《。效过滤风口的布置】。应符合下《列，规定 】     1  】应根据洁净度—等级及送风量来确定！； ？     】 2  应根据房】间的层高、吊顶形】式、气流要求以及】工艺设？备的布置要求来确】定；： ？ ？     3—  应便《于检修及更换过滤器！； 《   》   4  满布率！较，高时外壳的强度应】满，足检修的《要求； —。 ？     5  】送风量应《能调节 】 9.？4.：7  干冷却盘管的！选用及布《置应符？合下列规定 — ，  》    《1  ？。冷冻水的《进水温度宜》高于洁净《。室（区？）空气的露点温【度； 《 ，      2！ ， 外形尺《寸以及处《理温差应根》。据房间内的循环空气！风量、负荷情—况以：及空：气过：滤单元所提》供的机外余压确定；！ 《。。     — 3：  布置在同一洁】净室（区）内的干冷！却盘管在工作条件下！空气侧？阻力相？差不应大于10％；！ ：     】 4  应设—置排水？设施非落地安装【的干冷却《盘管：应设置？积水盘； 】     — 5  《供回水管上面—阀组的位置设置应】考虑检修方便并【避免设置《在重要工《艺设备？。以及配电设备的上方！ ？ ， 9.4.8 】。。 空态洁《净室噪声《级设计应《。符合现行国家标准】电子工业洁》净厂：房设计规范G—B 50472【的有关规《定 ： 9.【4.9？  设置在融—化区配电间及控制室！的空调系统宜设【。置备用机组当采用冷！冻水作为空调—冷源且？。冷冻水？系，统不设应急电源时】宜采用自带冷源的】风冷空调《机组作为备》机风冷空调机应由应！急电源供《。电 ？