9.—。4 空气调—节与净化
【
9—.4.1 玻【璃基板工厂内的【空,气洁净度、温度、】湿度应满足生产【工,艺的要求
】
9.4.—2 玻《璃基板工厂洁—。净室与周围的空【间应保持一定的静】压差静压《差,应,符合下列规定
】
:
1 ! 不同?等级:的洁净室《。。之间的?。静压差不宜小—于5Pa;
!。
,
? , 2 洁净【室与非洁净室之间】的静压?差不应小于5—Pa;
《
】 :3 : 洁净室与室外的】静压差不应小于1】0Pa
—
9《.4.?3 ?。生产:区净化房《间的新风量应取下列!两项中的较大值
】
】 1 补偿【室内排?风量和?保持室?内正压值所需—新,鲜空气量《之和;
【
》 2 供给洁】净室(区)内—每人:每小时?的新鲜空气量不小】。于40m3供给非洁!净,室(区)内》每人每小时的—。新鲜空气量不小于3!0m3
【
9.4》.4 《净化空气调节系统】的新风应进行—集中处理新风—。处理机组的设置应符!合下列?规定
》。
? 《 1 ? 送风?机应采取《自动调速措施;
!
!2 : 空气?宜经过粗效》、中效、高效—。过,滤器三?级,处理;
《
:。
,
3 ! 应有?良好的气密性在【工作压力下的漏风】。率不得大于1%;】
! 4 《。 应设置《备用新?风处理机组或在【空调:设备内?设置备用风机—;
! 5 寒冷】地区或严寒》地区的新风机组【应设置防《冻,措施以避免》危害机?组的正常运行—
《。
9.4》.5: 净化《空调机组的》选用:及布置应符合下【列规定
! : 1 》 送风机宜采—取变频调速》措施;
》
?
》 2 应》有良好的《气密性在工作压力下!的漏风率不得大于】1%;
! 3 】当服务于《生产连续性要求【较强的或工》艺对房间《温湿:度要求较高的环境时!空调机组宜》设置备机或设—。置备用风《机当空调机组或风机!产,生故障?。时备机?或备用风机应—。自动启动《
:
9》.4.6 风机】过滤单元(FFU)!或高效过滤风口【的布置应符合下列规!定
?
:
,
: 1 应根!据洁净度等级—及送风量来》确定;
》
— 2 —应根据房间》的层高、吊顶形【式、气流要求以【。及工:艺设备?的布:置要:求,来,确定;
【
《 , 3? , 应便于检修及更】换过滤器《;
《
— 4 《 满布率较高时外壳!的强度应《满足检修的要求;
!
》。 5 送!风量应能调节
【
?
9.4.—7 ?干冷却盘管的选用】及布置应《符合下列《规定
【
《 1 》冷冻水的进水温度宜!高于洁净室(区)空!气的:露点温度;
】
? 》2 外形尺寸以】及处理温差应—根据:房间内的循环空气风!。量、负荷情况以及】。。空,气,过滤单元所提供的】机外:余压确定;
—
,
】 ,3 布置在同一洁!净室:(区)内的》干冷却盘管在工作条!件下空气侧阻—力相差不应大于1】0%:;
:
! 4 《应设置排水设施非】落地安装的干—冷却盘管应设置积水!盘;
》
:
5【。 供回《水管上面阀组—的位:置设:置,应考虑检修方便并】避免设置在重要工】艺设备?以及配电设备—的,上方
【
9.4.》8,。 空?态洁净室噪声—级设计应符合现【行国家标准电子工业!洁净厂房设计规范G!B 5?0472《的有关规定
!
9.4.9 !设置在?融化区配电间及控制!室的空调系统宜设置!备用机组当采—。用冷冻?水,作为空调冷源—且冷冻水系统不设】应,急电:源时:宜采用自《带冷源的风冷—空调机组作为备机风!冷空调机应由应【急电源?供电
《