《9，。.4  《空气调节与净化【。 ： ： 9.4.】1  玻《璃基板？工厂内的空气—洁净度、温》度、湿度应满—足生产工艺的要求 ！ ？ 9.4.—。2，  玻？璃基板？工厂洁净室与周【围的空间应保—持一定的静》压差静压差应符合下！列规定 【     — 1 ？ 不同等级的洁净室！。之间的静压差不【宜小：于5Pa； 】     【 2  洁净室【。与非洁净室之间【的静压差不应小于】5P：a； ？ ， ，  《  ：  3  》。洁净：室与室外的静—压差不？应小于10Pa ！ 9》.4.？3 ： 生产区《净化房？间的新风量应取【下列两项中》的较大值 》 《      1  ！补偿室内《排风量和保持室内正！压值所？需新鲜空气量之和】； 【 ，    2  【供给洁净室（区【）内每人每小时的新！鲜空气量不小于40！m3供给非洁—净室（区）内每【人每小时的新鲜【空气量不小于3【0m：3 ： ？ 9？.4.4  净化空！气调节系统的新风应！进行集中《处理新风处理机组的！。。设置应符合》下列规？。定 ？ 《     1  送！风机应采《取自：动调速措《施；：    ！  ：2  空气宜经过】粗效、中效》、高效过《滤器三级《处理：； 《    —  3？  ：应有良好的气密【性在工作压》力下的漏《风率：。不得大于《1％：； 》   《   4《  应设《置备用新风处理机】组或：在空调？设备内？。设置备用《风机：；   ！   5 》 寒冷？地区：或严寒地区》的新风机组应设置】防冻措施以避免危害！机组的？正常运行 【 9.4.5】  净化空》调机组的选用—。及布：置应符合下列—规定 【      1【  送风机宜采取】变频调速措施—。； 《   》 ，  2  应—。有良好的气密性【在工作压《力下的？漏风率不得》大，于，1％；？   】 ，  3  当服【务于生产连续性要】求较强的或工艺对房！间温湿度《。要求较高的》环境：时空调机组宜—设置备机或设—置备用？。风机当空调机组或】风机产生《故，障时：备机或备用》风机应自动启—动 》 9.《4.6？  风机过滤单元】（FFU《）或高？效过滤风口的—布置：应符合下列规定 】 《      —1  应根据洁净】度等级及送》风量来确定； 【 ，     】 2  应根据房】间的层高、》吊顶形式、气流【要求以及工艺设备】的布置？要求来确定； 【。   【   3  应【便于检修及更换过】滤器； 】      —4，  ：满布率？较，高时外壳的强度应满！足检修的要》求； 》      5！  送风《量应能？调节 ？ 》9.：4，.7： ， 干冷却盘管—的选用及布置应符】合，下列规定 》     ！。 1  冷》冻水的进水》温度宜高《于洁净室（区）【空气：的露点温度； 【 ？     — ，2  外形》尺寸以及《。处，理温差应根》据，房间内的《循环空气风量、负荷！情况以及空气过滤单！元所：提，供的机？外余压确定》； ： ：    — ， 3  布》置在同一洁净室（区！），内的干冷却盘管在工！作条件下空气侧【阻力：相差不应大于1【0，％； 【      4【  应设置排水【设施：非落：地安装的干冷却【盘管应设置积—水盘； 】 ，     5 【。 供：。回水管上面阀—组的位置设置应考虑！检，修方便并避免设置】在，重要工？艺设备以及配电【设备的上方 —。 ？ ：9，.，4，.8 ？ 空态洁净》室噪：声级设计应符合现】行国：家标：。准电子工业洁净厂】房设计规《范GB 504【72的有关规—定 【9.4.《9  设《置在融化区》配电间？及控制室的》空，调系统？宜，设置备用机组当采用！冷冻水作为空调冷源！且冷冻水系统不设应！。急电源时宜采—用自带冷源的风冷】空调机组作为备机风！冷空调机《应由应急电源—供电 ？ ，