？。 ，9.4  空气调节！与净化 【 9.4【.1 ？ 玻璃基板工厂内的！空气洁净度、温度、！。湿度应满足》生产工艺的要求 】 》9.4.《2  玻璃》基板工？厂洁净室与周围【的空间应保》持，一定的静压差静【压差应符《合下列规定》   】   1《  不同等级的洁】净室之间的》静压差不宜小—于5Pa； — ，。    【  2  》洁净室与非》洁净室之《间，的静压差不》应小于5Pa； ！     】 3  洁净室【与室外的《静压：。差不应小于》10Pa 》。 9—.，4.3  生产区净！化房：间的：新风量应《取下列两项中的较】大值 】 ，    1  【补偿室内排风量和】保持：室内正压值所需【。新鲜：空，气量之和； —   【   2  供给洁！净室：（区）内每人每小时！的新鲜？空，气量不？小于40m3供给非！洁净室？（区）内每人每小时！的新鲜空气量不小】于30m3 【 《9.4.《。4  ？净化空气《调节：系统的？新风应进行集中【处理新？风处理机组的设置】应符合下列》规定 】     1 【 送风机《应采取自动调—速措施？； ？ ：      2】  空气宜》经过粗？效、中效、高—效过滤？器三级处理》； ：。 ：。   》  ： 3  应有良好的！气密性在工》。。作压力下的漏—风率不？得大于1％； 【     ！ 4 ？ 应设置备用新风】处理机组或在空调】设备内设《置备：用风机； 】  ？    《5 ： 寒冷地区或严寒地！区的新风机》。组应设置防冻—措，。施以：避免危？害机组的正常运行】 ， 《。 9.？4.5  净化空调！机组：的，选，用及布置应符合下列！。规定 】     1—  送风机宜采【取变：频调速措施》； 《      2！。  应有良好—的气密性在工作压力！下的漏？风率不得《大于：1％； 】      3 】 当服？务于生产连》续性要求较》强的或工艺对—房间温湿度要求【较高的环《境时空调机组宜【设置备机或设置【备用风机当空调机】组或：风机产？生故障时备机或备】用风机应自动启动 ！ 9.4】.6  风》机过：滤，单元（FFU）或】高效过？滤风口的布》置应符合下》列，规定： 》  ： ，。   1 》 应根据《洁净度等《级及送风量来—确，定；： 《     — 2  应根据【房间的层高、—吊顶形式、》气流：要求以及工》。艺设备的布置要求来！确定； 】      3  ！应，便于检修及更—换过滤器； ！ ： ，    4 — ，满布率较高时—外壳的强度应满足检！修的：要求：； ： ：。 ？     》5  ？送风：量应：能调节？ —9，.4.7 》 干冷却《盘管：的选用及布置应符】合下列规定》 —     1—  冷冻水的进【水温度宜高》于洁净室（区—）空气？的露点？温度；？ —  ：   2  外形】尺寸以及《处理温差应根据房】间内的？。循环：。空气：风量、？负荷情况《以及空气过滤—单，元所提供的机—外，余压确定； 】    —  3  》布置在？同一洁净室（区）内！。的干冷却《。盘管：。在工作条件》下空气侧阻力相差不！应大：于10％； — 》     4  应！设置排水设施非落地！安装的干冷却—盘管应设置积水【盘； ？ 》     5 【 供回水《。管上面阀组》的位置设置应考虑检！修方便并《避免：设置在重要工艺设】备以及配《电设备的上方 ！ 9.》。4.8  》空态洁净室噪声【。级设计应符合现行】国家标准电子工业洁！净厂房设《计规范GB》 50472的【有关规定 】 ：9.4.9  【设置在融化区配【。。电间及控《制室的空调系—统宜设置《备用机组《。当采用？冷冻：水作为空调冷—。源且：冷冻水系《统不设应急电源【时宜采用自带冷源的！风冷空调机组—作为：备，机风冷空调机应【由，。应急电源供电 】