?。
,9.4 空气调节!与净化
【
9.4【.1 ? 玻璃基板工厂内的!空气洁净度、温度、!。湿度应满足》生产工艺的要求
】
》9.4.《2 玻璃》基板工?厂洁净室与周围【的空间应保》持,一定的静压差静【压差应符《合下列规定》
】 1《 不同等级的洁】净室之间的》静压差不宜小—于5Pa;
—
,。
【 2 》洁净室与非》洁净室之《间,的静压差不》应小于5Pa;
!
】 3 洁净室【与室外的《静压:。差不应小于》10Pa
》。
9—.,4.3 生产区净!化房:间的:新风量应《取下列两项中的较】大值
】 , 1 【补偿室内排风量和】保持:室内正压值所需【。新鲜:空,气量之和;
—
【 2 供给洁!净室:(区)内每人每小时!的新鲜?空,气量不?小于40m3供给非!洁净室?(区)内每人每小时!的新鲜空气量不小】于30m3
【
《9.4.《。4 ?净化空气《调节:系统的?新风应进行集中【处理新?风处理机组的设置】应符合下列》规定
】 1 【 送风机《应采取自动调—速措施?;
?
:
2】 空气宜》经过粗?效、中效、高—效过滤?器三级处理》;
:。
:。
》 : 3 应有良好的!气密性在工》。。作压力下的漏—风率不?得大于1%;
【
! 4 ? 应设置备用新风】处理机组或在空调】设备内设《置备:用风机;
】
? 《5 : 寒冷地区或严寒地!区的新风机》。组应设置防冻—措,。施以:避免危?害机组的正常运行】
,
《。
9.?4.5 净化空调!机组:的,选,用及布置应符合下列!。规定
】 1— 送风机宜采【取变:频调速措施》;
《
2!。 应有良好—的气密性在工作压力!下的漏?风率不得《大于:1%;
】
3 】 当服?务于生产连》续性要求较》强的或工艺对—房间温湿度要求【较高的环《境时空调机组宜【设置备机或设置【备用风机当空调机】组或:风机产?生故障时备机或备】用风机应自动启动
!
9.4】.6 风》机过:滤,单元(FFU)或】高效过?滤风口的布》置应符合下》列,规定:
》
: ,。 1 》 应根据《洁净度等《级及送风量来—确,定;:
《
— 2 应根据【房间的层高、—吊顶形式、》气流:要求以及工》。艺设备的布置要求来!确定;
】
3 !应,便于检修及更—换过滤器;
!
: , 4 — ,满布率较高时—外壳的强度应满足检!修的:要求:;
:
:。
? 》5 ?送风:量应:能调节?
—9,.4.7 》 干冷却《盘管:的选用及布置应符】合下列规定》
— 1— 冷冻水的进【水温度宜高》于洁净室(区—)空气?的露点?温度;?
— : 2 外形】尺寸以及《处理温差应根据房】间内的?。循环:。空气:风量、?负荷情况《以及空气过滤—单,元所提供的机—外,余压确定;
】
— 3 》布置在?同一洁净室(区)内!。的干冷却《。盘管:。在工作条件》下空气侧阻力相差不!应大:于10%;
—
》 4 应!设置排水设施非落地!安装的干冷却—盘管应设置积水【盘;
?
》 5 【 供回水《。管上面阀组》的位置设置应考虑检!修方便并《避免:设置在重要工艺设】备以及配《电设备的上方
!
9.》。4.8 》空态洁净室噪声【。级设计应符合现行】国家标准电子工业洁!净厂房设《计规范GB》 50472的【有关规定
】
:9.4.9 【设置在融化区配【。。电间及控《制室的空调系—统宜设置《备用机组《。当采用?冷冻:水作为空调冷—。源且:冷冻水系《统不设应急电源【时宜采用自带冷源的!风冷空调机组—作为:备,机风冷空调机应【由,。应急电源供电
】