， 9《.4  空气—调节与？净化： ？ ， ， ， 9.4.1【  玻璃基板工厂】内的空气洁净度、温！度、湿度应满足生】产，工，艺的要求 ！ 9.4.2  玻！璃基板工厂洁—净室：与周围的空间应保持！一定的静《压差静压差》应符：合下：列规定 ！    《 1  不同等【级的洁？净室之间的静—压差不宜小于5P】a，；  】。   ？ 2 ？ 洁净室《与非洁净室之间的】静，压差不应小》于，5Pa； 》。 ：   》   ？3  洁净室与【。室外的静《压差不应小》于10Pa 【 ？ 9.4.3 【 生产区净化房间的！新风：量应取？下列两项中》的，较大值？ 《      1】  补偿室》内排风量和保持室】内正压值所》需新：鲜空气量之和—。；   ！   2 》 供给洁净室（区】）内每人每小时【的，新鲜空气量不小【于，。40m？3供给非《洁净室？（区）内每人—每小时的新鲜空气量！不小：于30？m3 ？ 9.【4.4  净化空】气调节系《统的新？风应进行集中处理新！风处理机组的设【置应符合下列规定 ！   【  ： 1  《送风机应采取自【动调速措施； 【  —    2  【空气宜经《过粗效、中效、高效！过滤器三级处理； ！ ：      】3  应《有良好的气密—性在工作压力下的】漏风率不得大—于1％； —   —   4  应设】置备用新风处理机组！或在空调设备内设置！备，用风机；《 ？ ，   《  ：。 5  寒冷—地区或严寒地区【的新风？。机，组应设置防冻—。措施以避免》危害机组的正—常运行 ！9.4.《5  净《化空调机组的—选用及布置应符合下！列规定 《   【   1  —送风机宜《采取变频调速措施；！  【    2  应有！良好：的气密性在工作压】力下的漏风率不【。得大于1％； 】。  》    3  【。当服务于生产—连续：性要求较《强的或工艺对—房间温湿度要求较】高，的环境时空调—机，组宜设置备机—或设置备用风机当】空调机组或》风机：产生故障时备机或备！用风机应自动—启，动 ？ ？ 9.4.6  风！机过滤单元（F【FU）或高效过【滤风口的布置应【符合下列规定— 》    《。  1 《 应根据洁净度等】级及送风量》来确定； ！   ？   2 》 应根据《房间的层高、吊【顶形式、气》流要求？以，。及工艺设备的布置要！求，来确：定，； 《      】。3，  应便于检—修及：更换：过滤器； 》   【   4 》。 满布率较高时外】。壳的强？度应满足检修的要求！； 【     5  送！风量应能调节— ？ ？。9，.4：.7：。  干冷却》盘管的？选用：及布置应符合下列规！定 ？ ？      1【  冷冻水》的进水温度》宜高：于洁净室（区）空】气的露点《温度；？ ？ ，     — 2  外形尺寸以！及处：理温差应根据房间】内的循环《空气风量、负—荷情况以及空—气过：滤单元？所提供的《。机外余？压确定； 】      3 ！ ，布置在？同一洁净室（—区）内的干冷却【盘，管，在工作条件下空气】侧阻力相差不应大于！10％； — ？ ，   ？  ：4  应设》置，排，水设：施非落地安装—的干：冷，却盘管应设置—。积水盘； ！   ？   5  供【回水管？上面阀组的位置设】置，应考虑检修方便并】避免设置在》重要：。工艺设备以及配电设！备的上方 — 《9.4.8  空】态洁：净室噪声级设计【应，符合：现行国？家标准电子工—业洁净？厂房设计规范GB ！50472的有【关，规定 《 ，。 ： ，9.4.《。9  设置在—融化：。区配电？间及：。控制室的空调系【统宜：设置备用机组当【。采，。。用冷冻？水作为空调》。冷源：且冷冻水系统不设应！急电源时宜》采用自带《冷源的风冷空调机组！作为备机风冷空调】。机应由应急电源【。供电 《