9.—。4  空气调—节与净化 【 9—.4.1  玻【璃基板工厂内的【空，气洁净度、温度、】湿度应满足生产【工，艺的要求 】 9.4.—2  玻《璃基板工厂洁—。净室与周围的空【间应保持一定的静】压差静压《差，应，符合下列规定 】 ：      1 ！ 不同？等级：的洁净室《。。之间的？。静压差不宜小—于5Pa； ！。 ，   ？ ，  2  洁净【室与非洁净室之间】的静压？差不应小于5—Pa； 《    】  ：3 ： 洁净室与室外的】静压差不应小于1】0Pa — 9《.4.？3  ？。生产：区净化房《间的新风量应取下列！两项中的较大值 】    】  1  补偿【室内排？风量和？保持室？内正压值所需—新，鲜空气量《之和； 【    》  2  供给洁】净室（区）内—每人：每小时？的新鲜空气量不小】。于40m3供给非洁！净，室（区）内》每人每小时的—。新鲜空气量不小于3！0m3 【 9.4》.4  《净化空气调节系统】的新风应进行—集中处理新风—。处理机组的设置应符！合下列？规定 》。 ？    《 1 ？ 送风？机应采取《自动调速措施； ！      ！2 ： 空气？宜经过粗效》、中效、高效—。过，滤器三？级，处理； 《 ：。 ，      3 ！ 应有？良好的气密性在【工作压力下的漏风】。率不得大于1％；】    ！  4 《。 应设置《备用新？风处理机组或在【空调：设备内？设置备用风机—；   ！   5  寒冷】地区或严寒》地区的新风机组【应设置防《冻，措施以避免》危害机？组的正常运行— 《。 9.4》.5：  净化《空调机组的》选用：及布置应符合下【列规定 ！  ：   1 》 送风机宜采—取变频调速》措施； 》 ？     》 2  应》有良好的《气密性在工作压力下！的漏风率不得大于】1％； ！     3  】当服务于《生产连续性要求【较强的或工》艺对房间《温湿：度要求较高的环境时！空调机组宜》设置备机或设—。置备用风《机当空调机组或风机！产，生故障？。时备机？或备用风机应—。自动启动《 ： 9》.4.6  风机】过滤单元（FFU）！或高效过滤风口【的布置应符合下列规！定 ？ ： ，  ：    1  应根！据洁净度等级—及送风量来》确定； 》   —   2  —应根据房间》的层高、吊顶形【式、气流要求以【。及工：艺设备？的布：置要：求，来，确定； 【   《 ，  3？ ， 应便于检修及更】换过滤器《； 《    —  4 《 满布率较高时外壳！的强度应《满足检修的要求； ！ 》。     5  送！风量应能调节 【 ？ 9.4.—7  ？干冷却盘管的选用】及布置应《符合下列《规定 【    《  1  》冷冻水的进水温度宜！高于洁净室（区）空！气的：露点温度； 】 ？     》2  外形尺寸以】及处理温差应—根据：房间内的循环空气风！。量、负荷情况以及】。。空，气，过滤单元所提供的】机外：余压确定； — ，     】 ，3  布置在同一洁！净室：（区）内的》干冷却盘管在工作条！件下空气侧阻—力相差不应大于1】0％：； ：     ！ 4  《应设置排水设施非】落地安装的干—冷却盘管应设置积水！盘； 》 ：      5【。  供回《水管上面阀组—的位：置设：置，应考虑检修方便并】避免设置在重要工】艺设备？以及配电设备—的，上方 【 9.4.》8，。  空？态洁净室噪声—级设计应符合现【行国家标准电子工业！洁净厂房设计规范G！B 5？0472《的有关规定 ！ 9.4.9  ！设置在？融化区配电间及控制！室的空调系统宜设置！备用机组当采—。用冷冻？水，作为空调冷源—且冷冻水系统不设】应，急电：源时：宜采用自《带冷源的风冷—空调机组作为备机风！冷空调机应由应【急电源？供电 《