《9.4？  空气《调节与净化 ！ ， 9.4—.1  玻璃基板】工厂内的空气洁【净度、温度、湿【度应满足生产工艺的！要求 】9.：4.2  玻璃【基板工厂洁净室【与周围的空》。间应保？。持一定的静压差静压！差应符合下列规定】  【    1  【不同等？级的洁净室之间的】静压差不宜小—。于5：Pa； 《   【   2《  洁？净室与非洁净室之间！的静压差不应小【于5P？a；  ！    3  洁净！室，与室外的静压差不】应小于10Pa 】 9.4】。.3 ？ 生：产区净化房间—的新风？量，。应取下列两项中【的较：大，值，   】   1 》 补偿室内排风量和！保持：室内正压值所—。需新鲜空气量—之和：。； ？ 《     2  供！给洁净？室（区）内每—人每小时的新鲜空】气量不小《于40？m3供给非洁净室】（区）内每》人每小时的新鲜空】气量不小于》30：m，3 9】.4.？4  净化》空气调节系统的【新风应进《行集中处《。理新风处理》机，组的设置应符—合下列？规定 《 《     1  】送，风机应？采取自动调速措施；！ 》     》 2  空气宜【经过粗效《、中效、高效—过滤器？三级处理； ！      3 ！ 应有良好》的气密性在工作【压力下的漏风率【不得大于1％； ！    【  ：4  应设置—备用新风处理—机组或？在，空调设备内设置备】用，风机；？ ，   【。   5  寒冷】地区：或严：。寒，地区的？新风机组应设—置防：冻措施以《避免危害机》组的正？常运行 ！9.4.5》  净化空调—机，。组的选用及》布置应符合下列【规定  ！    1  【送风机？宜采取变频调—速措施；《 《     — 2  应有良好】。的气密性在工作【压力下？的，漏风率不得大—于1％？； 【     3—  当服务于—生产连？续，性要求较强的或工】艺对房间温湿度要】求，较，高的环境《时空调机《组，宜设置备机或设置】备用风机当空—。调机组或风机产【生故障时备机或备用！风机应自动启动 】 》9.4.6》 ， 风机过滤单元（F！FU）或高效过【滤，风口的布置应符【合下列规定 】 ？   ？  1？  应根据洁净度】等级及送风量来确定！； ？     】 2  应根据房间！的，层高、吊顶形式、】气流要求以及工艺设！备的布置要求来确】定； 】     3 【 应便于检修及更】换过滤器； 】    —  4  满布率】较高：时外：壳的强度应》。满足检修的要求【； ？     】 5  送》风量应能调》。节， 9【.4.7  干冷却！盘管的选用》及布置应符》合下列？规定 》   》   1  冷冻】水的：进水温度宜》。高于：洁净室（区）空气】的露点温《度；：  【。    2  外形！尺寸以及处理温差】应根据房间内的【循环空？气风量？、负荷情况以及空】气过滤单元所提供】的机外余压》确定：； ？  》。。    《3  布置在同【一洁净室（区）内】的干冷却盘管在【工作条？件下空气侧阻力相差！不应大于《10：％； 》 ：   ？。   ？4 ： ，。应设置排水设—施非落地安》装的干冷却》盘管应设置》积水盘； 【   》   5  供【回水管？上面阀组的位置设】置应考虑《。检修方便并避—。免，设，置在重要工艺设备以！及配电设备的上【方 ： ， ？ 9.4《.，8，  空？态洁净？室噪声级设计应符】合现行？国家标准电子—工业洁？净厂房？设计规范GB 50！472的有》关规定 【 9.《4.9  》设置在融化区配电】。间及控制《室的空？调系统宜设置备用】。机组当采《用冷冻水作为空调冷！源且冷冻水系统不设！应急电源时宜采用自！带冷源的风冷空调】机，组作为备《。机风冷空《调机：应，由，应急电源供电 】