《8.5 清扫【。真空
》
8—.5.1《 玻璃基板生产】厂房:宜设置清《扫真空系统》
8.】5,.,2 清扫真空系统!的抽气能力应按【同时使用清扫真空点!的数量?及每:个,使用点的抽》气量确定
】
8.5.—3 清扫真—空设备应布置在【生产:厂房内并应根据使用!点设置就地启动按钮!
:
8.5【.4: 清扫真空—管路应布置成树枝状!形,式弯头应采》用长半径弯头—支管路应采用成品Y!形接头沿抽气方【向进入?主管路
》
8.—5.5 》清扫真空系》统宜按生产工艺分区!设置
—
,
8.?5.6 清—扫真空管道系—统末端?宜设吹扫阀
】
8.5.7 ! 清扫真空系统排气!应符合现行》国家标准大气—污染物综合》排放标准GB 1】6,297?的有:关规定并应符—合当地环保》的规定
》