8.—5 清扫》真空
?
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8.5《.1 ? 玻璃基板》生产厂房《宜设置清扫真—空系统?
《。
8.5.—2 清扫真空系】统的抽气能力—应按同时使用—清扫真空点的数量及!每个使用点的抽气量!确定
8!.5.3 清【扫真空设备应—布置在生《产厂房内并》应根据使《用点设置《就地启动按钮
【。
8—.,5.4 清扫【真空管路应布—置,成树:枝状形式弯头—应采用长《半径:弯头支管路应采用成!品Y形接头沿抽【气方向进入主管路】
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8.5.!。。5 清扫真空系统!宜按生产工艺分【区设置?
《
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8.5《。.6: :清,扫真空管道系统【末端:宜设吹扫阀
!
8.5.7 !清扫:真空系统排气—应符合?现行国家标准大气】污染:物综合排放标准GB! 16297—的有关?规定并应符合当【。地环保的《规定
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