。 8.5 】 清扫真空 — ？ ？ ，8.5.1  玻】璃基板？生产厂房宜设置清】扫，。真空系统 【 8.5—.2 ？ 清扫真空系—统的：抽气能力应按同时】使用清扫真空点的】数量及每个》使用点的抽气量【确定 》 8.5—.3 ？ ，清扫真？空设备应布置在【。生，产厂房内《并应根据使用点设置！就地：。启，动按钮 ！8，.5.4《  清扫真空管【。路应布置成》树枝状形式弯头【应采用长半径弯头】支管路应采用成品Y！形接头沿抽气方向】进入主管路 ！ 8.5.5 】 清扫真空系统宜】按生产工《艺，分区设置 【 8.5.【6  清扫真空管道！系统末端宜设—吹扫阀 】 8：.5.7 》 清扫真《空系统排气》应符合现行》国家标准大气污染物！综合排放标准—G，B 16297【的有关规定并应符】合当地环保的规定 ！ ，