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8.《5 清扫真—。空
【。
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，8.5.1》 玻璃《基板生产厂房—宜设置清扫》真空系统
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8《.5.2 清扫真！空，系统的抽《气，能力应按同》时使用清扫真空【点的数量及每个【使用点的抽气量确定！
8.5！.3 ？ 清扫？真空设备应布—置在生？产厂房内并应根据使！用点：。设置就地启》动按钮？
？。
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8.5.4 ！清扫真空管路应布】置成树枝状形—式弯头应采用—长半径弯头支管路应！采用成？品Y形接头》沿抽气方向进—入主管路
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8.5.5 清！扫，真，空系统宜按生产工】艺分：区设置
》
8.—5.6 清扫【真空管道系》统末端？宜设吹？扫阀
《
8.—5.7 清扫【真空系统《排气应？符合现行国家标【准大：气污：染物综？合，排，放标：准，GB ？。16：297的有关规定】并应符合《当地环保的》规定
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