？ 11．3  【管路：与系统验收 【 》 11．3》．1 ？ 本条是对》特种气体管》路施工安装后的【外观检查等做出的规！定，其，中管件的《。安装位？置和方向应符—合，设计文件《要求弯头的揻制【和焊：缝的验收应符合本】标准中相关章节的】。规定 》 1《1．3．《3  本条规定的】特种气体管》道安装完后需—进行5项测试包括】。   】 ， (1)《压力：试验：包括强度试》。验和气密性》试验或泄漏量—。试验由于此类—管道大？都输送具有一定纯】度的各？种特种气体为—避免污染和吹净【水，分的复杂过程所以】规定不能采》用，水压：试验一？般采用高纯氮气或高！纯氩气进《行气压试验压力试验！前管：道，。及，附件不应进》。行绝热保温作业管】道各路出口应用阀】门、堵头或其他措施！隔离在？。进行气压试验前应确！认完成管道吹扫【。。。管道强度试验压力应！为，系，统设：计压力的1》．1：5，倍时间应保持30】min气压试—验时应逐步缓慢【增加压力当压—。力升至试验压—力的50％时如未】发现异状《或，。泄漏应？。继续按？。试验压？。。力的10％逐级【升压每级《稳压3min直至】。试验压力管》道气密性试验压力】应为系？统设计压力的1．】05倍时间》应，保持：24：h为避免昼夜温【度，变化和长《时间试验时的压力波！。动所：以应记录《整个试验过程的【温度、压《力变化并对记录【值进：。行温度、压力修正】后压降值不得超过1！％压力试验的压力】修正公式《。如下 【。 》。 ， 式中P1》。初始表？。压； ？   】    《 P2最终表压；】 》     》  Pat》m大：气压力？通常为1．01ba！r(a)； ！ ，   ？    T1初始】周围温度K(K＝℃！＋2：73．15》。)；：   】 ，   T2最—终周围温度K(K＝！℃＋273．15)！； 【    压力试【验，合格后将压力降【低，到0．5ba—r左右保证管—道内为？正压并提交测—试报告格式可参考表！6的规定 ！ 表6  》压力测？试记录表 》 ， —  》   (2)—氦检漏试验》由于特种气体有易燃！性有毒腐《蚀性、氧化性、窒息！性等特？性这：些气体在生产—作业过程中一旦【发生泄漏将》会引发作火》、中毒、腐蚀和损】害作业人员》健康等事故为防止泄！漏特种气体管—道在进行气密性试验！或泄漏性《。试验后还应进行【氦检漏试《验以便严格检查控】。制管道系统可能【出现：的泄漏点确保—管道施工《质量特？种气体氦检漏测试】要求应？符合本标准附录A的！。规定；测试完毕后】应提交测试》报告：格式见表7》 ， 表7  ！氦检漏测《试记录表 】 《     】(，3)颗？。粒，、水、氧《。。测试：为了确保特》种气体管道投入运行！后不会因为》管道内？存在：污染物或管道—内壁吸附的》污染物质逐渐释放】或管道附件、—阀门花簇渗漏污【染物影响《。输送的？特种：气体受到污染达不】到产品生产》所要求的纯度—为此应？在特：种气体？进行氦检漏》。试验合格后进行纯度！试，验根据？所输送的特》种气体种类和物【理化学性质的不【同采用不同的—试，验，气体包？括颗粒？测试、水分测—试、氧分测试的纯】度测试或纯度试验均！采用增重《法进行评《价即：从被测试特种—气体管道的测试气体！引入：端获：取引入的测试气【体的颗粒《、水分？、氧分含量》同被测试管道排出口！的测试气体》的相关杂质》含量进行《比，较若增量值未超过】规定值判断为—验收合格纯度测【试用仪器应》根据增量规定值的要！求选用？相应检测精度的分析！仪器 【     颗粒度分！析主要是检查高纯】气，体系统中各》种尺寸超细》。颗粒的数量也是【系统纯度检查和【纯度保？证的一种方式它对】。于辅：。助吹扫气源的—颗粒度？有严：格的要求一般要【求0：．1μm～0．【。5μm的颗粒数量为！零辅助吹扫气体【的，雷，诺数应大于10【。000表8》是各种尺寸管—道颗粒检查对于吹】扫气：。体，流量及雷《诺数的推《荐要求 — ， ， 表8  管道【吹，扫气体？流量 — 】    气》体系统颗粒计—数仪器大《都采：。用激：光式：的计数仪《器激光颗粒计数【仪主要应用光—散射和分子》布朗运动的基本物理！性质制成激光具有】很，好的单色性和—。极强的方向性所【以在没有《阻碍的无限》空，间中激光将会照射】到，无穷远的地方并【且在传播过程中很】少有发散的现象【 —    特种气体系！统颗：粒，。测，试合格？的参考？标，准 ： 》    1)—大规模集《。成电：路行业？管道系统《测试气体《中大于0《．1μm的》颗粒数宜《小于或等于1—颗／标准《立方英尺《；，连续5次达标为合格！； —     2)平】板显示行业》。管道系？统测试气体中大于】0．1μm的—颗粒数宜《小于或？等于：。1颗／？标准立方英尺；【连续3次《达标：为合格； 》   【  3)太阳能电池！行，业管道？系统：测试气体《中大于？0．3μm的颗【粒数宜？小于或等于1颗【／标准？立方英？尺；：连续3次达标为合格！ 》     4)【颗粒测试完毕后应提！。交测试报告》格式见表9》 表9】。  颗粒测试记录】表 —。   ！  (4)水—分测试为保证高纯气！体系统？。的水分含量及—系统的纯度需要进行！水分分？析一般情况下直接】阅读水分分析仪的显！示数值水《分分析？仪器有很多种它【的测量方式主—要有：电化学测量》法和光学绝对测【量法 —     —特种气体系》统的：水分：测试应符《合下列要求 【 ：  ？   1)特种【气体系统水分测试时！气体速度应低—于设计流速的1【0％且小于3—。m／s 》 ？  ：   2)测试【气源的？水分应小《于10？。ppbv《    ！ 3)？水分测试合格参考标！。准 《 ：   ？  ①？。大，规模集成《电路：。行业管道系统测【试气体水分增量【宜小：于1：。0ppbv；—    ！ ②平板显示行业管！道系统测试气体【水，分增量？宜小于1《0ppbv； 】 ？   ？  ③太《阳，能电池？行业：管道系统测试—气，体水分？增量宜小于20p】pbv 《  —   4)测试结】束，后应至？少保持20m—in稳定在》规定值以下》为，合格 【    《 5)水分测—试完毕后应》提交测试报》。告格式？见表10 —。 《表1：0，  水分测试—记录表 》 — ！     (5)氧！分分析氧分分析的】目的和水分分析一】样也是检查气体系】统，纯度的一种》方式一般情况下直接！阅读氧？分分析仪的显示数值！电子行业所用的【氧分分析仪器—主，要为电化学》分析仪器 — ？ ，    特种—气，体系统的氧分—测试应？符合下列要求 【    】 1)特种气体系统！氧，分测试时气体速度低！于设计流速》的10％且小—于3m／s；— ，  —   2)测试气】。源的：氧，分应小？于10ppbv【； 【    3)氧【。分测：试合格的《参考：标准 —     ①【大规模集《成电：路，行业管道《。。系统测试气》体氧分增《量宜小于10ppb！v；： ： ，     ②】平板显示行业管【道系统测试气体氧】分增量宜小》于10ppbV； ！ ： ：  ：   ③太阳能电】池行业管道》系统测试气体氧分增！量宜小？于2：0ppbv》 《     4)】测，试结束后《应至少保持20mi！n稳定在《规定：值，以下为合格 —   【  5)《氧，分测试完毕后—。应，提交测试《报，。告格式见表11 ！ ： 表11  氧】分测试记录表 ！ 》