1》1．3  管路与系！统验收 《 ， 《 ，。 11．3．1 】。 本条是对特种【气，体管：路施工安《装后的外《。观检查等做出的规定！其，。中管件的安装位置】和方向？应符合设计文件要】。求弯头的揻》制和焊缝的验收应】。符合本标准》中相关章节的规定】 —11．3．》。3  ？本条规定的》特种气体《管道安装《完后需进行5项【测试包括《 ？  《。   (1》)压力试验包括强度！试验和气《密性试验或泄漏量试！验由于此类管道大都！输送具有一定纯度的！各种特种气体—为避免污染和吹净】水分的复杂》过程所？以规定不能采用【水压试验一》般采用高纯》。氮，气或高纯氩气进行气！压试验压《力试验前《管道及附件》不，应进行绝热保温作】业管：道各路？出口应？。用阀门？、堵头或其》他措施隔离在进行】气压试验前应确认完！成管道吹扫管—道强度试验》压力应为系》统设计压力的1【．15倍时间应保持！30：min？气压试验《。时应逐步缓》慢增加压力当压力升！至试验？压力的50％时【如未发？现异：状或泄漏应继续按】试验压力的》10％逐级升压每】级稳压3m》in：直至试验压》力管：。道气密性试验压【力应为？系统：设计：压力的1．》。05倍时间应保持2！4h为避免》昼夜温？度变化和长时间试】验时的压力波动所】以应记录整个试验】过程的温度、压【力，变化并对记录值进】行温度、压力—修正后压降值不得】超过1％压力试验】的压力修《正公式？如下 】 —式中P1初始表【压，；   ！ ，     》P2最终表》压； 》。   》    《Patm《大气压力通》常为1．01ba】r(a？)； 【。       【T1初？始，周围温度K(K＝℃！＋273．1—5)； 《    】   T《2最终周围》温度K(K＝℃【＋273．1—5)：； —    《。 压力试验合格后】将压：力，降低到0．》。5b：ar左右《保证管道内》为正压并《。提交：测试：报告格式《可参考表《6的：规定 ？ 《 表6  压力测】试记录表 】。 ， ：    】 (2)氦检漏试验！由于：特种气？体有易燃性》有毒腐蚀性、—氧化性、窒息性等】特性这些气体在生】产作：业过程？中，一旦发？生泄漏将会》引发：作火、中毒、—腐蚀和损害作业人】员健康等事故—为防止泄漏特种【气体：管道在进行气密性】试验或泄漏性试【验后还应进行氦检漏！试验以？便严：格检查？控制管道系统可能出！现的：泄漏点确《保管：道施工？质量特种气体氦检】漏测试？要求应符合本标准附！录A的规定；—测试完？毕，后应：提交测试报告格【式见表7 【 表7  氦】检漏测试记录—表 — 【    (3)颗】。粒，、水、氧测试为了】确保特种气体管道投！入运行后不会—因为管道内》存，。在污染物或管道【内壁：吸附的污染》物质逐渐释放或管道！附件、阀门花—。簇渗漏污染物影响输！送的特种气》体受到？污染达不《到产品生产所—要求的纯度为此应在！特种气体进》行氦检漏试验合格】后进行？纯度试验根据所输送！的特种气体种类和物！理化学性《质的不同采》用不同的试验气体包！括颗粒测试、水分测！试、氧分《测，试，的，纯度测试《或，纯度：试，验均：采用增重法进行【评价即从被测—试，特种气体管道的【测试气体引》入端获取引入—。的测试气《体的颗粒、》水分：、氧分含量同被【测试：管道排出口》的测：试气体的相关杂质含！量进行比较若增量】值未超？过规：定值判断为验收【合格纯度测试用仪器！。应根：。据增：。量规定？值，的要求选《用相应检测精度【的分：析仪器 】     颗—粒度分析《。主要是检查高纯【。气体系统中各种【尺寸超细颗粒的【数量也？是系统纯度检查【和纯度保证的一种】方式它对《于辅助吹扫气源的颗！粒度有？严，格的要求一般要【求0．1μm～0．！5μm的颗粒数量为！零，辅助：。吹扫气体的雷诺数应！大于100》00：表8：是各种尺《寸管道颗粒检—查对于吹扫气体流量！及雷诺数的推荐【要，求 》 表8  —管道吹扫气体—流量 ？ ？ ，  】   气《体系统颗《粒计数仪器大都采用！激，光式的计数仪—器激光颗粒计数仪主！要应用光散射和分子！。布朗运动的》基本物？理性质制成激—。光具：有很好的《单，色性和？极强的方向》性，所以在没有阻碍的无！限，空，间中激光将会照射】到无：穷远的地《方并且在传播过【。程，中很：少有：发散的现象 【   —。。  特种气体系统颗！粒测试合《格的参考《标，。准 《。   》  ：1)大规模集—成，电路行业管道系统测！试气体中大于0．1！μm的颗《粒数宜小于或等【于1颗／《标准立？方，英，尺；连？续5次达标为合格；！ —    2》)平：板显示行业》管道系统《测试气体中大—于0．1μm的【颗粒数宜小于或【等于1颗／标准【立方英尺；连续3】次达标为合格；【 》     3)太阳！能电池？。行业管道系统—测，试气体中《大于0．3μm【的颗粒数宜小于或等！于1颗／标准—立方英尺；连续3次！达标：。为合格 《   【  4)颗》粒测试完《毕后应提交测试报】告格式见表9 ！ 表9》  颗粒《测试记录表 【 ， ？   】  ：(4)水分测—试为保证高纯—气体系统的水分【含量：及系统的纯度需要】进行水分《分析一般情况下【直接阅读《水分分析《。。仪的显示数值水【分分析仪器有很【多，种它的测量方式【主要有？电化学测《量法和？光学绝对测量—法 ？ ， ，     特【。种气体？系统的水分测试应符！合下列要求 】 ：  ：   1)特种气】体系统水分测试【时气体速度应低于设！计，流速的？10％且《小于3m／s 】。   —  2)测试气源】的水分应小》于10p《pbv —     3)！水分测试合格—参考标准《  【。   ①大规模【集成电路行业管道】。系统：测试气体水分增量】宜小于10pp【bv； 》。  》   ②平板显示】行业管道系统—测试气体水分增量】宜小于10ppbv！； —     》③，太阳能电池行—业管道？系，统测试气体》水分增量《宜小于20pp【bv  ！   ？4)测试结束后【应至少保持》2，0min稳定在规】定值以下为》合，。格 》     —5)水分测试完毕】。后应提？交测：试报告格式》见表10 ！ 表：10  水》分测试？记录表 ！ ！ ？    (5)【氧分分析氧分分析的！目的和水分分析一】样也是检查气体系统！纯度的一《种方式？一般情？况下直？接，阅读氧分分析—。仪的显示数值电子行！业所用的氧分—分析仪器《主要为？电化学分析》仪器 —    》 特种？气体系统的氧分测】试，应符：。合下列要求》 ，     ！。1)特？种气体系统氧分测】。。试时气体速度低【于设计流速的10％！。且小于3m／s； ！  —  ： 2)测试气源的氧！。分应小于10p【pbv； 【 ：     》3)：。氧分测试《合格的参考》。标准 —     —①大规模集成电路】行业管道系统测试】气体氧分增》。量宜：小于10p》pbv； 】  ？   ②平板显【示行业管道》系统测？试气体氧分增量宜小！于10p《。pbV； 》 ：     ③太！阳能电池行业—管道系统测》试气体氧分增量【宜小于？20ppbv— 《     —4，)测试结束后应至】少保持20m—in稳定在规定值】以下为合格》 —   ？ 5)氧分测试完毕！后应提交测试报【告格：式，见表：1，1 表1！1  氧分测试记】录表 ？ 【