11—．3  管路与【系统验收《。。 【 ，11．3．1 【。 本条是对》特，种气体管路》施工安装后的外观检！查等：做出的规定其中【管件的安装位置【和方：向应符合设计—文，件要求弯头的揻制和！焊缝：的验收应符》合本标准中相关章节！的，规定 《 ？ ，。1，1．3．3  本】条规定的特种气【体管：道安装完后需进行5！项，。。测试包括 ！   ？  (1)压力【试验包括《强度试验和气密【。性，试验或泄漏》量试验由于此—类管道大都输送具】有一定？纯度的各种》特种气体为》避免污染和吹净【水分的复杂过程所以！规定不能采》用水压试验》一般采用高纯—氮气或高纯》。氩气进行气压试【验压力？试验前管道》及附件不应进—行绝热保温作—。业管道各路》出，口应用阀门、堵头】或其他措施隔离在】进行气压试验—前应确认完成管【道，吹扫管道强度试【验压力应为系统设】计压力的1．15倍！时间应保持30m】in气压试验—时应：逐步：缓慢增加《压力当压《力升至试《验压力的5》。0％时如未发—现异状或《泄漏应继《续按试验压力的1】0，％逐级升压每级【稳压3？min直至》试验压力管道气密性！试验压？力应为系统设—计压力的1．0【5，倍时间应保持24】h为避免昼夜—温度变化《和长时间试验时的压！力波动所以应记【录整个试验过程的】温度：、压力变化》并对记？录值进行温度、压】力修正后压降值不】。得超过1％压力【试验的压力修正公】式如下 《 ？ — ：式中P1初始表压】。；   —       ！P2最终表压—。； ？   — ，  ： P：a，tm大气《压力：通常：为1．01b—ar(a)； 】  》     T1【初始周围温》度K(K＝℃＋【273．15—)；： 《  ？     T—2最终周围温—度K(K＝℃＋2】73．1《5)； ！    压力试验合！格，后将压？。力降低到0．5【bar左右保—证管道内《为正压并提交测试报！。告格式？可参考表6》。的规定 —。 ： ，表6 ？ 压力测试记—录表 【。。  】   (2》)，氦检漏试验》由，于特种气体有易【燃，性有毒腐蚀性—。、氧化性《、窒息性等》特性：这，些气体？在，生产作业过程中一】旦发生泄《漏将会引《发作火、中》毒，、腐蚀和损害作业】人员健康等》事故为防《止泄漏特种气体管道！在进行气密性—。试验：或泄：漏，性试：验后还应进行氦检漏！。试验以？便严格检查控制管道！。系统可能出》现的：泄漏点确《保管道施工质—量特种气体氦检漏测！试要求？应符合？。本标准附录A的规】。定；测试完毕后应】提交测试《报告格式见表—7， ？ 表7  氦检！漏测：试记：录表 】 ， ？ ，  ：   (3)颗粒】、，水、氧测《试为了确保特种气体！管道投入《运行后不会因为管】道内存在污》染物或管《道内壁吸附的污染】物质：逐渐：释放或管道》附件、阀门花—簇渗漏污染物影响输！送的特种气体受到】污染达不到产—品生产所要求的纯】度为此应在》特种气体进》行氦检漏试》验合格后进行纯度】试验根据所输送的】特种气体种》类和物理化学—。性质的不同采用不】同的：试验气体包括—颗粒测试、水分测】试、氧分《测试的纯度测试【或纯度试验均采【用增重？法进行评价即从被测！试特种气体》管道的测《试气体引《入端获取《引入的测试气体的】颗，粒、水？分、氧分含》量同被测试管道排出！口的：测试气？体的相关杂》质含量进行比较【若增量值未超过规定！值判断为《验收合格纯》。度测试用仪》器应根据增量规【定值的要求选—用相应？。检测精度的分—析仪器 】     颗粒度】分析主要是检—查高纯气体》系统中各种尺寸超】细颗粒的数量—也是系统《纯度检查《和纯度保证》的，一种方式它对—于辅助吹《扫气源？的，颗粒度有《严格的要求一—般要求？0．：1μ：m～0．5μm的颗！粒数：量为：零辅助吹《扫，气体：的雷：诺数：应大于1《00：00表8是各种尺寸！管道颗粒检查对【于吹扫气体流—量及雷诺数》的推荐要求 】 表8 — 管道吹扫》气体：流量 — 《     气！体系统颗粒》计数仪器大都采【用激光式的计数仪】器激光？。颗粒计数仪》。主要应？用光散射和》分子布朗运动的基】本物理性《质制成？激，。光具有？很好的单色》性和极？强的方向性》所以：在没有阻碍》的无限？空间中激光将会照射！到无：穷远的地方》并且在传《。播过程中很少有发】散的现象 》 》    特种气体】系统颗粒《测试合格的参—考标准 】  ：   1《)大规模集》成电路行《。。业管道系统测—试气：体中大于0．1μ】m的颗粒数宜小于】或等于？1颗／标《准立方？英尺；连续》5次达标《为合格；《。 ，   【  2？)平板显示行业管】道系统测试气—体中大于0》．1μm的》颗粒：数宜小于或等于1颗！。／标准立方英尺【；连续3《次达标为合格； 】   【  3)《太阳能电池行业【管道系统测》试气体中大于0．】3μm的颗粒—数宜小于或等于1】颗，／标：准立方英《尺；连续3次—达标为？合格 《。     】4，。)颗粒测试》完毕后应《提，交测试报《告格式见表9— 表【9  ？颗粒测试记录表 ！ —     】(4)水分测试为保！证高：纯，气体系统的水分含量！及系统的纯度需要进！行水分分析一般【。情，况下直接阅读水分分！析仪的显示数—值水分分析仪器有】很多种它的测—量方式主要有电【化学测量法》和光学绝对测量法 ！     ！特种：气体系统的水分【测试应符《合，下列要求《 — ，   1)特种气体！系统水分测》试时气？体速度？应低于？。设计流速的1—0％且小《于3m／s — ，     】2)测试气源的水】分应小于10pp】b，v 》     —3)水分测试—合格参考《标准  ！   ①大规模集】成电路行《业，管道系统测试气体】水分增量宜小—于10pp》bv； 》    【 ②平板《显示行业管道—系统测试《气体水分增》量宜小？于1：0，p，pbv；《 —   ？ ③太阳能电池【行，业管道？系统：测试：气体水分增》量宜小于20ppb！v —。     4)【测试结束后应至【。少保持20min】稳定在规定值以【下为合格 》   【  5)水分—测试完毕后应提【交测试报告格式【见表10 — 表10 】 水分测试记录表】 ： ， 】 ， —    《(5)氧分分—析氧分分析的目【的和水分分析一样也！。。是检：查气体系统纯度【的一种方式一般【情况下直接》阅，读氧分分析仪的显示！数值电？子行业所用的—氧分分析仪器主要】为电化学《。分析仪器 【   》  特种气体—系统的氧分测试应】符合下列要求 】  》   1《)特种？气体系统氧分测【试时气体速度低于设！计流速的《10％且小于3m】／s； ！ ，   2《。)测试气源的氧分应！小于10p》。pbv？； 【    3)—。氧分测试合》。格的参考标准 【 ：   》  ①大规模集【成电路行《。业管道系统测试气体！氧分增？量宜：小于1？0p：pbv； 》   【  ②平板》显，示行业？管道系统测》试气体？。氧分增量宜小于1】0ppbV； 】     】③太阳能《电池行业管道系【统测试气体氧分增量！宜小于？2，0ppbv 【 ， ： ，    4》。)测试结束后应【。至少：保持20min稳定！在规定值以下—为合格？    ！ 5)氧《分测试完毕》后应提交测试—报告格式见表1【1 ： 》表，11  氧分测试记！录表 ！ ，