？ 11．《3  管路与系【统验收 【 《11．3．1  】本条是对特》种气体管路施—。。工安装后的外观检查！等做：出的：规定其中管件的安】装位置和方》向应符合《设计文件要求弯头的！揻制：和焊缝？的验收应符合本标准！中相关章节的规【定， ？ 11》．3．3  本条】规定：的特种气《体管道安装完后需进！行5项测试包—。括  】   ？。。(1)？压力试验包括强度】试验和气密性—试验或？泄漏量试验由于此】类管道大都输—送，具，有一定纯度的各种】特种气体《为避免污《染和吹净水分的复】杂过程所以》规定不能《。采用水压试验一般】采，用高纯氮气或高【纯氩：气，进行气？压试：。验压：力试验前管道及附】件，不应进行《绝热保温作》。业管道各路出口应用！阀门：、堵头或其他—措施：隔离：在进行气压》试验前应确认完【成管道吹扫管道强】度试验压力应—为系统设《计压力的1．—15倍时间应保持】30min气—压试：验时应逐步缓慢增加！。压力当压力升至试验！压力的50％时【如未发现异状或泄漏！应继续按试验压力的！10％逐级升压【每级稳压3min直！。至，试验压力管道气密】性试验压力应—为，系统设计压力的【1．05《倍时间应保》持24h为避免【昼夜：温度变化和》。长时间试验时的压力！波，动所以应记录整个】试验过程的温—度、压？力变化并对记录值进！行温度？。、压力修正》后压降？值不得超过》1％压？力试验的压力修【正公式如下 ！。 ， 式】中P1初《始表压；《   — ：。 ，    《 P2？最终表压；》 《       P！atm？大，气压力通常为1【．01？ba：r(a)；》 ？     【  ：T1初？始周围？温度K(K＝℃＋2！73．15)—； 【    《  T2最终周【围温度K(K—＝℃＋2《73．15)； ！ ，     【压力：试验合格后将—压力：降低到0．5b【ar左右保证管道】内为正压并提交【测试报告格式可参考！。表6的规《定 ： 表6【  压力测》试记录表《 — ？    — ，。(，2)氦检漏》试验：由于特种气体有易燃！性有毒腐蚀》。性、氧化性》。、窒息性等》特性这些气体—在生产作《业过程中一旦发【生泄漏将会引发作】火、中毒、腐—蚀和：损，害，作业人员健》康等事故《为防止泄漏特—种气体管《道在进行气密性【试验或泄《漏性试验后还应【进行氦检漏试验以】。便严格检查》控制管道《系，。。。统可能出《现的泄漏《点确保管道施工【质量特种气》体氦检漏《测试要？求，应符：合本：标准附录A的规【定；：测试：完毕后应提》交测试报告格—式见表？。7 ： ： 表7》  氦检漏测试记】录表： 》 —   ？ ， (3)颗》。粒、水、《氧测试为《。了确保特种气体管】道投入运《行后不会因为—管道内？存在污？染物或管《道内壁吸附的污染物！质逐渐释放或—管道附件、阀—门花簇渗漏污染【物影响？输，送的特？种气体受到污—染达不到产》品，生，产所：要求的纯度为此【应在特种气》体，进行氦检漏试验合格！后进行纯度》试，验根据所输送的特】种气体种类和物理化！学性质的不同采【用不同？的试验气《体包括颗粒测试、水！分测：试、氧分测试—的纯度测试或纯【度，试验均采用增重法进！行评价即从被测试】特种气体管道—的测：试气：体引入端获取引入】的，测试气体的颗—粒、水分、》氧分含量同被测【试管道排《。出，。口的测试气体的相】关杂质含量进行比较！若增量？值未超过规定值判】断为验收合格纯【度测试用仪器应根据！增量规定值的要求】选用相应检测精度的！分析仪器 】   《  颗粒度》分析主要《是检查高纯气体【系统中各种》尺，寸超细颗粒的数【量也是系统》纯度检查和纯度【保证的？一，种方式它对于辅【助吹扫气源的—颗粒度有《严格的要求一般要求！0．1μm～0．5！μm的颗粒数量为】零辅助？吹扫气体的》雷诺数？应大于10000】表8是各种尺—寸管道颗粒检查【对于吹扫气体流【量及雷诺数的推【荐要求 》 《表8  管》道吹扫气《体流量 ！   】  气？体系统颗粒计数仪器！大都采用激光式的计！数仪：器激光颗粒计—数仪主要应用光散】射，和分子布朗》运动的基《本物理性质制成激】光，具有很好的单色【性和极强的方—向性所以在没有阻碍！的无：限，空间中激光》将会照射《到无穷远的地方并且！在传播过程中很少有！发散的现象》 ？   》。  特种气体系统】颗粒测试合格的参】考标准 —     1)！。大规模集成电路【行，业，管道系统测试气体】中大于0．》1μm的颗粒数宜】小于或等于1颗【／标准立方英尺【；连：续5次？。达标为合格；—   】。  2)平》板显示行业管—道系统测试气体中大！。于0．1μm的颗】粒数宜小《于或等？于1颗／标准立方英！尺，；连续3次》达标为合格； ！ ：     3)太阳！能电池行《业管道系统测试气体！中大于？0．3μm的颗【粒数：宜小：于或等于1》颗／标准立方英【尺；连续3次达【。标为合格 ！ ，。    4》)颗粒测《试完：毕，后应提交测试报告】格式：见表9 【 ：。表9 ？ 颗粒测试记录表 ！ 】     【(4)水《分测试为保证—高纯气体系统的【。水分含量及》系统的纯度需要进】行水：分分析一般情况下直！接阅：读水分分析仪的【显示数值水分分析】仪器有很多》种它的测量方式【主要有电《化学：测量法？和光学绝对测量法】 》     特种气体！系统的水分测试应】符合下列要求 【     ！1)特种气体系统水！分测试时气体速【度应低于设计流速的！10％且小于—3m／s 【   》  2)测试—气源的水《分应小于10—ppbv《    ！ 3)水《分测试合格参考【标准 】    ①大规模集！成电路行业管道【系统测试气》。体水分增量宜小于】1，0p：pbv； — 《    ②平—。板显示行业管道系】统测试气《体水分增量宜小于1！0，ppbv； 【     ③！太阳能电池行业管道！。系统测试气》体水分增量宜小【。。于20ppbv ！ ，     【4)：测试结束后应至少】保，持20？min稳定》在规定？值以下为合格— 《  ？ ，。  5)水分测试完！。毕后应提交测—试报告格式见表【10： ： ？ 表10  —水分测试记录表 】。 【 ： 】    (》。5)氧分《分析：。氧分分析的目的和水！分分析一样也—是检查气体》系统纯度的一种方式！一，般情况下直接阅读】氧分分析《仪的显示数》。。值电子行业所用【的，。氧分分析仪》。器主要为电化—。学分析仪器 ！  ？   特种气体系】统的氧分测》试应符合下列要【求 —   ？  ：1)特种气体系【统氧分测试》时气体速度》低于设？计流速的10％且】小于3m《／s； ！    《2)测？试气源的《氧分应小《于10p《pbv； ！     3)氧】分测试合格的参考】标准 ？   【  ：①大规？模集成电路行业管】道系统测试气—体氧分增量宜小于1！0p：p，b，v； 《 ，。 ？    ②》平板：。显示：行业管道系统测【试气体？氧分增？量宜小于10pp】b，V，； 》     ③太】阳能电池行业管【道系统测试气—体，氧分增量宜小—于，2，。0ppbv》 》     4)测】试结束后《应至少？保持20《min稳定》在规定值以下为【合格 ？ ？ ，   ？  5？)氧分测试完毕后】。应提交测试报告格】式，见表1？1 ： ， 《表11  》氧分测试《记录表 》。 —