： 11．3  】管路与系《统验收？ ， ： ， 11．3】．1 ？ 本条是《对特种气体管—路施工安装后的【外观检查《等做出的规定—其中管件的》安装位置《和方向应符》合，设，计文件要求》弯头的？揻制和焊缝的验收】应符合本《标准中相关章节的规！。定， —11．3．3  本！条，规定：。的特种气体管道安装！完后需进《行5项测《试包括 【。。。   《  (1)压力试验！包，括强度试《。验和气密性试验或泄！漏量试验由于此【类管道大都》输，送具有一定纯度的】各种特种气体为避】免，污染和吹净水—分的复杂《。过程所以规定不能】采用水压试》验一般采《用高纯？氮气或高纯》氩气进？。行气压试验压—力，试验前管道及附【件，不应进行《绝热保温作业—管道：。各路出口应用阀门】、堵头或《其他措施《隔离在进《行气压试验前应【确，认完成？管道吹扫管道强度试！验压力应为系统【设计压力的》1，．15倍《。时间应保持30【。min气压试验时应！逐步缓慢增》加压力当压力—升至试验压力的50！％时如未发现—异状或泄漏应继续】按试验？压力的10％逐【级升压每《级稳压3min【直至试验《压力管？。道气密性试验—压力应为系统设计压！力的1．0》5，倍时间？应，。保持24《h为避免昼夜温【度，变化和长时间试【验时的压力波动所以！应记录整个》试验过程的温—度、压力变化—并对记录值进行温】度、压？力修正后压降值不】得超过1％压力试验！的压力修正公式如】。下 】 》式中P1初始表压】；   【     — ， P2最《终表压； —      ！ Patm大气【压力通？常为1．01ba】r(a？)；：   】。。 ，   T1初始周围！温度K(K＝℃【＋273．1—5)：； ？     】  T2最终周围温！度，K(：K＝℃＋273【．15)； ！ ，     压力试】验合格后《将压力降《低到0．5bar左！右保证管道内为正】压并提交《测试报告格式—可参考？表6的规定 — 表6  ！压力测试记》录表 【 【    《(2)？。氦，检漏试？验由于特种气体有】易燃性有毒腐蚀【性、氧？化性、窒息性—。等，特性这些《气体在生产》作，业过程中一旦发生泄！漏将会引发作火【、中毒、腐》蚀和损害作业人员健！康等事故为防止【泄漏特种气体管【道在进行气密性试】验或泄漏性试验后】还应进行氦检漏试】验以便严《格检查控《制管道系《统可能？出现的？泄漏点确保管道【施工质量特》。种气：体氦检漏测试要求】应符合本标》准附录A的规定；测！试完毕后应》提交测试报告格式见！表7 表！7  氦检漏测试】记录表 ！ ，   【  ：(3)颗《粒、水？、氧测试为》了确：保特：种气体管道投入【运行后不会》因，。为管道内存在污【。染物或管道内壁吸】附的污染物》质逐渐释放》或管道附件、—阀门花簇渗漏污【染物影响输送的特种！气体受到《污染达不《到产品生产所—要，。求的纯度为此应在特！种气体进行》。氦检：漏试验合《格后进行纯度试验】根据所输送》。的特种气体种类和】物理化学性》。质的不同采用—不同的试《验，气体包括颗粒测试】、，水，分测试、氧》分，测试的？纯度测试或纯度试验！均采用增《重法进行评价即【从被测试特种—气体管？道的测试气体引入端！获取引？入，的测试气体的颗粒、！水分、氧《分含量同被测试【管，。道排出？口的测试《气体的相关杂质含量！进行：比较若增量值未超过！规定值？判断为验收合格【纯度测试用仪—器应根据增量规定值！的要求选用相应检测！精度的分析》仪器 】    颗粒度分】。析主要是《检查高纯气体系统】中各种尺寸超细【颗粒：的数量也是系统纯】度检查和《纯度保证的一种方】。式它对于《辅助吹扫气源的颗】粒度有严《格的要求一般要求0！．1μm《～0．5《μm的？颗，粒数量？为零辅助吹扫气体】的雷诺数应大于1】0000表8—。是各种尺寸管道【颗粒检查对于吹扫气！体流量及雷诺数的推！荐要：求 ： 《 表8  管道【。吹扫气体流》量 ： 【 《    气体系统颗！粒计数仪器大都采】用激光？式，的计：数仪器激光颗粒计】数仪主要应用光【散射：和分子？布朗运动的基本物理！。性质制成激光具【。有很好的单色性和】极强：的方：向性所以在没有阻】碍的无限空间—中激光将会照射【到无穷远的地方并且！在传：播过程中很少有发散！的现象 【     特种气！体系统颗粒测试合】。格的参考标》。准，    ！ 1)大规模集成电！路行业管道系—统测试气体中—大于0．《1μm的《颗粒数宜小于—。或等于1颗／标准立！方，英尺；连续5次达标！为，合格； 《   【  2)平板显【示行业管道系统测】试，气体：中大于0《．，1μm的《颗粒：数宜小于或等于1】颗／标准《立方英尺；连续3】次达：标为合格； ！ ，   ？  ：3，)太阳？能电池行业管—道，系统测？。试气体中《大，于0．3μ》m的颗？粒数宜小于或—等，于1颗／标准立方】英尺；连续》3次达标为合格【  【   4)颗粒测】试完：毕后应提交测试报告！。格式见表9 【 表9  】颗，粒测试记录表 】 —    【。 ，(4)水分测试为】保证：高纯气体《系统的水分》含量及系统的—纯度需要进行水【分分析一般情况下直！接阅读水分分—析仪的显示》数值：水分分？析仪器有很多种【它的测量《方式主要有电化学测！量法和光学绝—。对测量法 》 ： ？   ？ 特种气体系统【。的水分？测试应符合下列【要，求 ？ 《   ？ ，1)特种气体系【统水分测《试时气体速》度应低于设计流速的！10％？且小于？3m：／s  ！ ，  2)测》试，气源的水分》应，小于：10ppb》v  】  ： 3)水分测—试合格参考标准【 ， ， ？   ？  ①大《规模集成电路—行业管道《系统测试气体水【分增量宜小于10】ppbv； 【 ？   ？  ：②平板显示行—业管道系《统测试气体水分【增量宜小于10【ppbv； 】     【。③太阳能电池—行业管？道，系统测试《气体水分增量宜【小于：20ppbv 】  》   4)测试结】束后应至少保持2】0min稳定在规定！值以下为合格 】   —  5)水分测【试，。完毕后应《提，交，测试报？告格式见表10 ！ 表》10  《水，分测试记录表 【 ， 】  ！   (5)—氧分分析氧》分分析的目的和【。水分分析《一样也是检》查，气体系统纯度的一】。种方式一般情况下】直接阅读氧》分，分析仪的显示数值】电子行业所用的氧】分分析仪器主要为电！。化学分析仪器 】  》   特种气—体系统的氧》分测试应《符合下列《要求： —    1)—特种气体《系，。统氧分测试时气体速！度低于设计流速的1！0％且小于3—m／s； 》 《     2)测】试气源的氧分应小于！10：。ppbv； 】 ？。    3》)氧分？。测试合格的》参考标准 》。 《 ，    ①大—规模集？成电路？行业：管道系统《测试气？体氧分增《量宜：小于：1，0ppb《。v； 《。     】。②，。平板显示行业管【道系统测试气体氧分！增量宜小于10pp！bV； —。     ③太！阳，能电池行业管—道系统测试气体氧分！增，量宜小于《20ppbv—。 》。。    《 4)测试结—束后应至少》保持20《。。min？稳定在规定值—以下为合格 ！     5)】氧分测试《完毕后？应提交测试报—告格式见《表11 《 表11 ！ 氧分？测试记录表》 ？ 《 ，