1》1．3  管路【与系统验《。收 — 11．—3．1  本条【是对特？种气体管路施工【安装后的外观检查等！。做出的规定其中【管件的？安，装位置？和方向应符合设【计文件要求弯头的】揻制和焊缝的—验收：应符合本标》准中相关章》节的：规定 》 11．—3．3  本条【规定的特种气体【管道安装完后需进行！5项：测试包括 】     (【1)：压力试验《。包括强度试验和气】密性试验或泄漏量】试验由于此类—管道大都输送具有一！定纯度的各种—特种气体为避免【污染和吹净水分的】复杂过程《所以规定不能采用】水压试验《一般采用《高纯氮气或高—纯氩气进行气压试】验压力试《验前管道及》附件不？应，进，行绝热保温作业【管道各路出口应用】阀门、堵头或—。其他：措，施隔离在进行气【压试验？前应确认完成管道吹！扫管道强度试验【压力应为《系统设计《压力的1．15倍时！间应保持30—min气压》试验时应逐步缓【慢增加压《力当：压力升至试验压【力的50％时如未】发现：异状或泄漏应继续按！试验压力《的，10％逐级升压【每级稳压3min】。。直至试验压力管道】气密性？试验压？力应为系统设计压】力的1．05倍【时间应保持》24h为避》免昼夜温度变—化和长时《间试验时的压力【波动所以应》记录整个《试，验过：程的温度、压力变】化，并对记录值进行温度！、压力？修正后压《降值不得超过1％】。压，力试验的压力修正公！式如下？ — ： 式中P1初！始表压；   】 《     》 P2？最终表压《。； 【     》 Patm》大气压？力通常为1．—01bar(a【)； ？ ，      ！ T1？初始周围温度—K(K＝℃＋—273？．15)； 【      ！。 T：2，最终周围《温度K？(K：。＝℃＋273—．15？。)，； 《    — 压力试验合格【后将：压力降低到0．5b！ar左？右，保证管？道内为？正压并提交测试【报告：格式可参考表6【的规定？ 》。 表6  压力【。测试记录表 】 ： —   ？  (2)》氦检漏试验由于特种！气体有易燃性有【毒，腐蚀性？、氧化性、窒息性等！特，性这些气体在生产】作业过程中一旦【发生泄漏将会引发】作火：、中毒？、腐蚀和《损害作？业人员健康等事【故为防？止泄漏特种气体【管道在进《行气：密性试验《或泄漏性试验后还应！进行氦？检漏：试验以便严格检查】控制管道系》统可能出现的泄漏】点确保管道施工质】量特：种气体氦检》漏测试要求应符合本！标准附录A的规定】。；测试？完毕后应提交测试】报告格式见表7 ！ 表7—  氦检漏测试记录！。表 》 《。  》   (3)—颗粒、水、氧测试】为了确保特种气体管！道投入运《行后不会因为管道】内存：在污染？物或管？道内壁？吸附的？污染物质逐渐释放或！管，道附件？、，阀门花簇渗漏污【染物影响输送的特】种气体受到污—染达不到产》品，生产所要求的纯度】为此：应在特种气体进【。行，氦检漏试验合格后进！行纯度试验》根据所？。输送的？特种气体种类—和物理化学性质的】不同采用不同的试】验气体包《括颗粒测《试、水分测试、【氧分测试《的纯度测试或纯度】。试验均采用增重法进！行评价即从》被测试特种气体管道！的测：试气体引入端—获取引入《。的，测试气体的》颗粒、水分、氧分】含量同被测试管道排！出，口的测试《。气体的？相关：杂质含？量进行比较若增量值！未超过规定值判断】为验收合格纯度测】试用仪器应》根据：增量规定值的要求】选用：相应检测精度的分析！仪器 —    》 ，颗粒度分析主要【是检查高纯气体系统！中各种？尺寸：超细颗粒的数量也是！系统纯度检》查和纯度保》证的一种方》式它对于辅助吹扫】。气，源的颗粒度》。有严格的要求一【。般要求0．》。1μ：m，～0．5μm的颗】粒数量为零》辅助：。吹扫气体的雷诺数】应大于100—。00表8是》各种尺寸管道颗【粒检查对于吹—扫气体流量及—雷诺：数的推荐要求 ！ 表8  管道！吹扫气体流量 ！ 《 》    《气体系统颗粒—计，数仪器大都采用激】光式的计《数仪器激光颗粒计】数仪主？要应：用光散射和分子【布朗：运动的基本物理【性质制成激光具【有，很好的？单色：性和极强的方向【性所以在《没有阻碍的无—限空间中激光—将会照射《到无穷远的地方并】且在传播过》程中很少有发—散的现象 ！。     特种气】体系统颗粒测试合】格，的参考标准 【 ，   》。  1？)大规模《。集成电路《。行业：管道系统《测试气体中大—于0．1μm的颗】粒数宜小于或等于】。1颗／？标准立？方英尺；连续5【次达标为合》格； ？ 《     》2)平板《显示行？业管道？系统测试气体中大于！0．1μm的颗【粒数宜小于或等于】。1颗：／标准立方英尺；】连续3次达标—。为，合格； 》  》   3)太—阳能电池行业—管道系统《测试气体中大于【0．：3μm的颗粒数【宜小于或等于—1，颗／：标准立方英尺；连续！3次达标为》。合格 《 ：    》 4)？颗粒：测试完毕《后应提交测试报【告，格式见表9 【 ： 表9  颗【粒测试？记录表 【 ： 《     (4】)水分测《试为保证高纯气体】系统的水分含—量及系统的纯度【需要：进行水分《分析一般情况下【直接阅读水分—分析：仪的显示数值水【。分分析仪器有—很多种它的测量方式！主要：有，电化学测《量法和光《学绝对测量法— 《     特【种气体系统的—水分测试应》符合下？列要求 》 《    《1)特种气体系统】水分测？试时气体速度应低于！设，。。计流速？的10％且小于【3m／s 【 ？  ：  2)测试气源】的水分应小于10】ppbv ！     》3)水分测试合格参！。考标准 《 《。  ：   ①《大，规模：集成电路行业管道系！。统测试气体水分【增量宜小于10【p，pbv； ！    《 ，②平：板显示行业管道系】统测试气体水—分增量？宜小于10pp【b，v； 【     ③太阳能！电池行？业，管道系统测》试气体水分增量【宜，小于20p》pbv 】    《 ，4)测试结束后【应至少保持》20min稳定在】。规定值以《下为：合格 ？ ：    — ，5)水分测试完毕后！应提：交测试报告格—式见表10 — 表1【0  水分测试记录！。表 》。 ？ ： ， 】    (5)【氧分分析《氧分分析的目的【。和水分分析一样也是！检查气体《系，统纯度？的，一种方？式一般情况》下直接阅《读氧分分《析仪的显示数—。值电子行业所用的】氧分分析仪》器主：要，为，电化学分析仪器 ！    【 特种气体系统【的氧分测试应—符合下列要》求 【    1)特【种，气体系统氧分测试时！气体速度低于设计】。流速的10％且小】于3m／s》； — ，    2)—测试气源的氧分【应，小于10《ppbv； 【  》   3)氧分测】试合格的参考标准】   】。  ：①大规？模集：成电路行业管道系统！测试气体氧分增【量宜小于《。1，。0ppbv； 】     ②！平板显示行业管【。道系统测试》气体：氧分增量宜小—于10ppbV； ！ 《  ：   ？③太阳能电池—行业管道系统测试】气体氧分增量宜【小于20《ppbv《 ， 《     4)测】试结束？后应至少保》持，20min稳定在规！定值以下为合格 】 》  ：  5？)氧分测《试，完毕：后应提交《。测试报告格式见【表11 《 表11】  ：氧分测试记录表 】 【