9．3 ！采暖通风与空—气，调节
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9．3．1！ 特种《气体站房用于储存】和，分配自燃性、易燃】性、毒性、腐—蚀性、？氧化性、《。窒息性气体存在【管道或阀《门泄漏和积聚的潜】在危险？性因此特种气体站】房应设？置连续的机械通风】防止自燃性、—易燃：性、毒性、腐蚀性】、氧化性、》窒息性气《。体在特种气体—间内积聚通》常自燃性、》。易燃性、毒》性、腐蚀性气体【储存在气瓶柜内气瓶！柜应设置局部—通风房间通风量【应，不，小于气瓶柜的通风要！求为了保证房—间通风？良，好本条规定了—特种气体站房—的，最，小通：风，。换气率？美国国家消防协会标！准半导体生产设【施防护标准N—F，。。PA-318-2】018第5．—5．3条也做—了规定该条》内容摘录如下
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5】．5．？3 有害化—学品储存和配送房】间，应设置机械通—风机械通《风换气率《。不应：低于0．31—m3／？(m：。in·m2)[【1ft3／(min！·ft2)]—地面面积
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《 ， 0．31m3／！(min·》m，2)相当于》18：m3／(h·m2】)地面面积特—种气体气瓶安装在气！柜内特种气体—气柜设有机械排风】、自动喷水》灭火喷头、》气体侦？测装置、控制—以及吹扫《装置一旦有极少量】。有害气体泄漏气体】探测装置将自动切断！气瓶瓶头阀》门并停止气体供【应自动吹扫管道【。机，械排：风系统将《释放在气《柜，内的：。极少：量有害气体及时排】出不：会造成？。有害气？体，。在特种气体站—房扩散？。特种气体站》房为恒温恒湿空【调，环境且采用直—流，式空调系统为降低能！耗在保证安》全的前提下》应尽量减少新风量基！于上述原因故本条规！定了特种气体站【房通风换气率不【应小于18m3／】(h·m《2，)地面面积》。
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9．3．2】 本条《为强制性《条文必须严格执【行特种气体》气瓶柜和阀门—箱内安装了特—种气：。体分配阀门和—管，道阀门和管道—接口较多存在泄漏的！可，能性因此特种—气体的气瓶》柜和：阀门箱应设置机械排！风进行强制通风防】止自燃性《。、易燃性《、毒性、腐蚀性、】氧化性、窒》息性：气，体在气瓶《柜，和阀门箱《内积聚而引起事故
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9．3】．3 特种气体】的，排风系统划分—原则包括以下三点】
！ (1)防》止不同种类和性【质，的特种气《体混合后引起燃烧或！爆炸事故
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(2)避！免形成毒性更大的混！合物或化《合物：对人体造成危害或设！备和管道腐蚀—。
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(—3)防止在》风管：中积聚？粉尘从而增》加风管阻力或造成风！管堵塞影《响通风系《统的：正常运行
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9．【。3．4 大宗特】种气体？站房内特《种气体？容器容？积较大且特种气【。体容器直《接暴露在特气站【房环境？内发生气《体，泄漏时气体》直接泄漏至特种气体！。站房环境内操作人员！、，救援人员暴露风险】。高，因此大宗气体站【房应设置事故—通，风事故通风量—应根据？事故时泄《放的特？种气体量和》危害程？度通过计算确—定根：据现行国《家，职业卫生标准工业】。企，业设计卫生标准中】的规定事故通—风换：气次数？的下：限定为12次／【h特种气《体站：。房，事故通风系统与环】境气体探测》器联锁当发生气体泄！漏事故时《自动开？启事故？通风系统《以降低环境中—气体浓？度报：警，在特种气体站房外】设置紧急按钮以便救！援人员启动事故排】风系统？
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，9，．3．5、9．3．！6 硅烷属于易燃！、易爆气体一—旦发生泄漏将会发】生自燃有可能导致】火，灾或爆炸为》了确保硅烷》的泄漏数量不会【导致自燃本条规定】。是，为了将硅烷供应使用！区域的硅烷》浓度：控制在0．4—％以下美国国家标】准学会标准硅—烷和硅烷混合物储存！和操作？CGA G-13】。-2015》第13章第》13．2．3条也】。做了规定该条的内容！摘录如下
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13【．2．3 》 排风？罩，、，抽，风，罩、气柜应设—。置排：风系统以阻止渗漏】硅烷积聚并限制硅】烷平均浓度为0【．4％即体积比【25：。01：试验表？明0．4％平均【浓度：可能引起气》柜内局部体积爆燃】(，PVD)估计0【．4：％限值所产生的超压！可以通过《。。气柜门闩失灵来泄】爆标：准硅烷体积流量应】根据：管道系统泄放—。至密闭空《间的最大流量来决】定流量应根据管【线限流孔《。板或气瓶《阀，尺寸和硅烷》源最大压力来—计算在硅烷》。气瓶：或管道系统非焊【接附件？和连接处的最小通】风量应不小于最大】硅烷体积流》量的250倍表13！．，2．3为《标准硅烷流量和最】小通风量《
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表13．2．3】 ， 标准硅烷流量【和，最小通风量
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！ 注1．硅烷！气源温度为7—。5°F(24—℃)
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： 《 2．限流孔板！下流侧压力为—opsi
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《 ？ 3》．限：流，孔板孔口出流系【数为0．8
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【 ，。 4．立【方英尺／分(sc】。f，m，。)转：换为升／分换算系】数2：8．3？2
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《 ？ 5—．Psi转》换为kP《a换：。算系数6．》895
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9．3．》7 ？排风管？。道为负压采》用柔性风管或软管】风管的？有效通风面积减【小将会影《响到通风效果同时柔！性风管或《软管对火《灾，的耐：受，性较差很容》易造成排风管烧坏】和变形因《此易燃性、毒性【、腐蚀性气体柜和阀！门箱的排风》与主排风管道—连接的？支管采用《刚性风管气瓶柜、阀！。门箱排风管道是保】证气瓶柜通风—良好的必要前提【如果在气《瓶柜、阀门箱—的，排风管道上设—置防火阀一方—面防：火阀可能误》动作导致气瓶—柜，、阀门箱排风—故，障将存在有害气体】在，气瓶柜内积聚存在】安全风？险；另一方面在火】灾情形下气瓶柜、阀！门，的排风仍《有必要保《持联系工作才能保】证操作？人员和消防》人员的生命安全因】此本条规定》了气瓶柜、阀门箱】的排风管路上不应】设置防火阀大宗有毒！性气体容器出口阀门！部，位管道连接》。为机械密封存在【泄漏风险故本条规定！了应设置抽风罩提高！通风效？率阻：止泄漏气体进入室】内环境
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》9．3．8 房】间排风口的位置【应根据特种气体与】空气的相对》密，度来确？定防止有害气体积】。聚为了将不》。同位置积聚的特种】气体排？出，本条规定了根据特种！气，。体相对？。密度的大小设置房】间排风？口的位置这》样可以有效地将【大于、小于空气密度！的，特，种，气体：排至室外
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9．3．9 避！免特种气体站—。房排风造成对—周围环境《和人身安全造成危害！因此应根据排风中特！种气体的性质—和浓度等因素确【定设：置处理装《置进行处《。理如洗涤塔、吸附塔！等
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9．3—．10 为—保证特种气》。体站房排风系统的】连续：可靠运行宜设置备用！排风机备用排风机】也可以兼做事—故排风机特种—气体间通风系统电源！设，置应急电源目的【是保证排风系—统的稳？定运行可靠
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9．3．11 ！。 特种气体站房的火！灾危险性属甲类、乙！类，如采用循环空调系】统易：形成易燃性气体积聚！而引起爆《炸事故？。另外毒性、》腐蚀性？的特种？气体的积聚也—危及：人员的生命安全因】此不应采《用循环空《调系统特种气—体间：。设置空调系统目【的是为特种气—体柜：。及其控制系统提供】一个适宜的工作环境！
9．】3．12 避免】。相邻特种气体间的】火灾蔓延或》因一个特《种，气体间火灾而导致多！个特种气体》间，的通风关闭》造成更大的危害因】此空：。调风管？不应穿越特种气体间！之间的分隔墙
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9？．3．？13 ？ 为保证特种气体】间的环境状态稳定】因此：建议空调系统设置】备用空？调机组当受到条件】限制时采用适当措】施保：证在：空调机组维护或【故，。障时特？种，气体房间能取—得足：够的：。补风也是保证安全的！有，效措施之一
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9．【3．14 特【种气体间空调系统电！源设置应急电—源目的？是，保证特种气体间【的通风平衡和稳定】
9．】。3．15 本【条为强制《性条文必须》严格执行特种气体设！备及站房排风管道及！空调风管采用不燃】材料制作保温采用应！采用：不燃或难燃材—料是：为了防止火灾—蔓延和？扩散规定《腐蚀性？特种气体的排风【管道采用耐腐蚀材料！是为了防止腐蚀气体！破坏排风管道—产生气体泄漏—事故
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9．？3，．16 为—防，止，因空：气摩：擦产生静电积聚而引！起燃烧和爆炸—。事故因此《特种气？体设备排风管—、站房？通风管道及》空调风管应设置【防静：电接地装置消—除风管静《电
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9．3】．17？ 本条为强制性条！。文必须严《格执行？为了保证特》气站房排风系统连续！运行防止《特种：。气，体积：聚从而降低了火灾】危险性？和对救？援人员的危害本条规！定特气站房排风【系统不得与火灾报】警系统联动》控制因为火灾时【一旦：关闭特种气体站房的！排风：系统：特种气体系统的自燃！、易燃、毒性、【。腐蚀：性，、窒息性气体—。可能：会泄漏？进入房？。间造：成人员伤害伤—害可能比火灾危【险发生更早所以【本条规定火灾发【生时：严禁关闭排》风系统？。
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