《9．3  采—暖通风？与空气调节 】 9—．，3．1  特种气体！站，房用于储《。。存和分配《自，燃性、易燃》性、毒性《、腐蚀性、氧化性、！窒息性气《体存在？管道或阀门泄漏和】积聚的潜在》危险性因《此特种气体》站房应设置连续【的机械通风》。防止自？燃性、易《燃性、？毒性、腐蚀性、氧化！性、窒？息性气体在特种气体！间，内积聚通常自燃性】、易燃性、》毒性、腐蚀》性气体储存在气【瓶柜内？气，。瓶柜应设置局部【通风房间《通风量应不》小于气瓶柜的通风要！求为了？保，证房间通风良好【本条：规定：了特种气体》站房的最小》通风换气率美国国家！消，防协会标《准，半导体生产》设施防护标准NF】PA-318-20！18第5．5．3】条也做了规定该条】内容：摘录如下 —   — ，。。 5．5．3  有！害化学品储存—和配送房间应—设置机械通风机械通！风换气率不应低【于0．31》m3／？(mi？。n，·m2)[1ft】3／(mi》n·f？t2)？]地：面，面积：  【   0《．31？m3／(min·】m2)相当于—18m3／(—h·m2)地面面积！特种气体气瓶—安装在气柜内特种】气体气柜设》有机：械排风、自动喷水】。灭火喷头、气体侦】测装置、《控制以及吹扫装置】一旦：有，。极少量有害》气体：泄漏气体探测装置】将自动切断气瓶瓶头！阀门并停止》气体供应自动吹扫】管道机？。械排风系统将—释放在？气柜内的极》少量有害《气体及时排》。出不会造《成有害气体在特种】气体站房扩散特【种气体站房为恒【温恒：湿空：调环境且采用直流式！空调系统为降—低能：耗在保证安全的前】。。提下应尽《量减少新风量基于上！述原：因故本条《规定了特种气—体，站，房，通风换气率》不应小于18m3／！(h·m2)地面面！积 《 9．3．【。2  ？本条为强制性—条文：必须严？格执行？。特种气体气瓶柜【和阀门箱内安装【了特种气体分—配阀门和管道阀门和！管道接口较多—存，在泄漏的可能性因此！特种气体的气瓶柜和！阀，门箱应设置机械排风！。进行强制通风防止自！燃性、易燃性、毒性！、腐蚀性、》氧化性？、窒息？性气体在气瓶柜【和阀：门箱内积聚而—引起事？故 ？ ？ 9．3．》3  特种》气体的排风系统划】分原则？包括以下三点 ！ ：     (1)防！止不同？种类和？性质的特种气体混合！后引起燃烧》。或爆炸？事故 【   ？  ：(2)避免形成毒】性更大的《混，合物：。或化合物对人—体造成危害或设备】和管道腐蚀 ！    》 (：3)防止在风—管中积聚粉尘从而增！加风管阻力或造成风！。管堵塞影响通—风系统的正常运行 ！ 9．【3．4？  ：。大，宗特种？气体：站房内特种气—体容器容积较大且特！种气体容器直接暴】露在特气站》房，环境内发《生气体泄漏时气体】直接：泄漏至特种》气体站房环境内操作！人员、救《援人员？暴露：风，。险高因？此大宗气体站房应】设置事故通风—事故通风量应根据事！故时泄放的特种气】体量和危害程—度通过计算》。确定根？据现：行国：家职业卫生》标准：工业企业设计卫生标！准中的规定》事故通？风，换气次数的》下，限定为12》次／：h特：。种气体站房事故【通风系统与》环境气体探测—。器，联锁当发生气体泄漏！事故时自动》开启事故通风—系统以降《低环境中气体浓度】报警在特种气—。体站房？外设置？紧急：按钮以便《救援人员启动—事，故排风系统 ！ 9．《3．5？、9．3．6  硅！烷属于易燃、易爆气！体一旦发生》泄漏：将会发生自燃有可能！导致火灾或爆—炸为：了确保硅烷的泄漏】。数量不会导致—自燃本条规定是【。为了将硅烷供应使】用区域的硅烷浓度控！制在0．《4％：以下美国国家—标准学会《。标准硅烷和硅烷混】合物储存和操—作CGA G-1】3-2015第【13章第13—．2．3条也做了规！定该：条的内容摘录如下 ！     ！。13．2．》3  排《风罩、？抽风罩、气柜应【设置排风系统以【阻止渗漏硅烷积聚】并限制硅烷》。平均浓度为0．【4，％即体？积比：2501试验表【明0．4《％，平均浓度可能引起气！柜内局部体积爆燃(！PVD)估》计0．4《％限值所产生的【超压：可以通过气柜门闩失！灵来泄爆标准—硅烷体积流量应根】据管道系统泄—放至密闭空间—。的，最大流量来决定流量！应根据？管线限流孔板或【气瓶阀尺寸和硅【烷源最？大压力来计算在硅】烷气瓶或《管道：系统非？焊接：。附，件和连接处的最小】通，风量应不小于最大】硅烷：体积流量的25【0倍表13．—2．3为标准硅烷】流量和最《小通风量 》 表1【3．2．3  标准！硅烷流量和最—小通风量《 ， 【   —  注1．硅烷【气源温度《为，。75°F(24【℃) 《。 《   ？     》2．限流孔板下流侧！压力为opsi ！      ！   3．限流孔板！孔口出流系》数为0．8 — 《   ？      4．立！。。方英尺？／，分(scfm)转换！为升／分换算系数】28．32 — 》  ：   ？ ，  ：5，。．Psi转换为k】Pa换算系》数6．895 】。 9．3．7！  排？风管道为《负，压采用柔《性风管或软管风管的！有，效通风面积减小【将会影响到通风效】果同时柔《性风管或软管—对，火灾的？耐，受，性较：差很容易造成—排风管烧坏》和变形？因此易？燃性：、毒：。性、腐蚀性气体柜】和阀门箱的排风【与，主排：风管道？连接的支管采用【刚性风管气瓶柜、】阀，门箱排？风管道是保证—气瓶柜通风》良好的必要》前提如果在气瓶柜、！阀门箱的排》风管道上设置防火阀！一方面防火阀—可能误动《作导致气瓶柜、阀门！箱排：风故障将存在有害气！体在：气瓶柜内积聚存在】。。安全风险；另一方面！。在火灾情形下气瓶柜！、阀门的《排风仍？有，必要保持联》系工作才能保证操】作人员和消防人【员的生？命安全因此》本条规？定了气？瓶柜、阀门箱—的排风管路上不应】设置防火阀大宗有毒！。性气体？容器：出口阀门部》位管道连接为机【械密封存在泄—漏，风险故本条规—定了应设置抽风【罩提高通风效率阻】止泄漏气体进入室】内环境？ 9．3！．8：  房间排风口的】位置应根据特种气体！与空气的相对密【度，来确：定防：止有害气体积聚为】了将不同《位置积聚的特种气】体排：。出本条规定了根【据特种气体相对【密度的大小设—置房间排风口的位置！这样可以有效—地将大？于、小于空气密【度，的特种？气体排至室外 ！ 9．3．9】  避免特种—气体站房排》风造：成对周？围环境和人身安全】造成：危害因此应根—据排风中《特种：气，体的性质和浓度等因！素确定设《置处理装《置进行处理如—洗涤塔、吸附—塔等： 《 9．3》。．10  为—保证特种气》。体站房排《风系统的连续可靠运！行宜设置备用排风】机备用排风》机也可以兼做—事，故排风机特》。种气：体间通风系统—电源设？置应急电源目的是保！证排风？系，统的稳定运行可靠】 9．3！．11？  特种气体—站房的火灾危险【性属甲？类、乙类如采用循环！空调系统易形成易燃！性气体积聚而引起】爆炸事？故，另外毒？性、腐蚀性的特种气！体，的积聚？也危及人员的—生命：安全因？此不应？采用循环空》调，系统特？种气体间《设置空？调系统目的》是为特种气》体柜及其控制系统提！供一：个适宜的工作环境 ！ ：。 9．》3．：12  《避免相？邻特种气《体，间的火灾《蔓延或因一个特种】气，。体间火灾而》导，致多个特种》气体间？的通：风，关闭造？成更大的危害—因此空调风》管不应？。穿越特种气》体间之间的分隔【。墙 《 9．》。。3，．13？  为保证特种【气体间的环境状态稳！定因此建议》空调：系统设置备用—空，调机组当《受到条件限制时【采用适当措施保证在！空调机组《维护或故障时特【种气体房《间，能取得足《够的补风也》是，保证安全的有效措】施之一 ！9．：3．14《  特种气》体间空调系》统电源？设置应急电源目的是！。保证特种气体间的通！风平衡和《稳定 《 9．3．】15  本条为强】制，性条文？必须严格执行特【种气体设备及站【房排风？管道及空调》风管采用不燃—材料制？作保温采用应采【用，不燃或难燃材—料是为了防止—火灾蔓延和扩散【规，定腐蚀性特种—气体的排风管—道采用耐《腐蚀：材料是为《了防止？腐蚀气体破坏排【。风管道产生气体【泄漏事故 【 9．3．1】6 ： 为防止因空—气摩擦产生静—电积：聚而引起燃烧—和爆炸事故因—。此特种气体设备排】。风管、？站房通？风管道及空调风【管应设？置，。防静电接《地装置消《除风：。管静电 【 9．3．17 ！ 本条为强制性条】文必：须严：格执行？为了保证特》气站：房排风系统连续运行！防止特种气》体，积，聚从而降低了—火灾危险性和对救援！人员的危害本条规定！。特气站房排风系统】。不，。得与火灾报》警系统联动》控制因为火灾时【一旦关闭特种—气体站房的排风系】统特：种气体系统的自燃、！。易，燃、毒？性、腐蚀性、窒息】性气：体可能会泄漏进【入房间造成人员【伤害伤害可能比火灾！危险发生更早所以】本条规定《火灾发生《时严禁？关闭排风系统 】