附录A 】 特种气体管道【氦检漏方法》
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A.】。0.1 顺—序宜采用《。内向检漏法、阀座】检漏:法、外?向检漏法
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A.0.》2 ?内向:检漏:法(喷氦法)应【采用管道内部—抽真空外部》喷氦气的方》法检漏测试管路系统!的泄漏率《
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:A.0?.3 阀》座检漏法应采—用阀门上游充氦气】下游抽真空》的方:。法检漏测试管路系统!。的泄漏率
!
A.0.4 外!向检漏法(》吸枪法)应采用管路!内部充氦《气或氦?氮混合气《外部应采用吸枪【检查:漏点的方法检漏测试!管路系统的泄漏率】
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《A.0.《5 氦检漏仪【表应采用质谱型【氦检测?仪其检测精度不得低!于1×?10:-,10mbar—·L/s
【
A.0.【6 特种》气体系统氦检—漏,的泄漏率应符合下】列规:定
:。
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【1 : 内向测漏》法测定的《泄漏率不得大—于1:×10?-9m?b,ar·L/s;【
— 《2 阀座》。测漏法测定的泄漏率!不,得大于1×10-6!。m,ba:r·L/s;
【
— 3 外向测!漏法测?定,的泄漏率不得大 】 1×1《0-6mbar【·,L/s
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A.》。0.7 氦检漏发!现的泄漏点》经修补后应》重,新经过气密性试验】合格后?。然,后按规定再进—行氦检漏
!
,A.0?。.8: , 所有可能》泄漏点应用塑料【。袋进行隔离
!
,。
A.0.9 【 系统测试》。完毕应?充入:高纯:氮气或氩气并应进】行吹扫
】
A.0.1—0, 测试《完毕:后应提交测试—报告
《