1》0．2  》主要设备、》材料进场验收 】 《 10《．2．1  气【瓶，柜、气瓶架、阀【门箱、阀门盘进场】验收：应符合下列规定【 —   ？ 1  《外包装？上应具有防止倾倒、！。轻放、防雨标识【、防震标《识并应完整无损；】 《    》 2：。  表面应平整光】洁、色泽《一致、？无毛刺、无划痕、无！锈蚀、不起鼓—；柜：体顶部应设》抽风口柜门下方【应设可调节空气【过滤网进风口； 】   【  3 《 面板上应有气【体的：名称、化学式—、浓度、《化学性质和危险【标志：的标识并应》有管线、阀体及【附件相互《。连接的系统图；【同时应配有与—其对应的操作手册】； 【   ？ ，4 ： 内部引出的管路】。和阀件接口应用专用！管帽和？堵头封堵； 】   》。  5？ ， ，在运输过程》中盘面内应保有【。不低于0．1MP】a(表压《)压力的氮气；【   】  ：6  阀门、仪表】。与面板之间应有专用！。阀门：。支撑件支《撑件材质应采—用不锈钢；不得将】阀门、仪表等—直接用螺栓固定【在，面板上 ！10．2．2  尾！气处理装《置进场验《收应符合下列规定 ！   【  1  尾气【处，理装置进场应对外观！、外形尺寸、构【成、接口、铭—牌，、气密试验》、，。。阀门动？作，、信号？传输等性能进行检查！和核对； ！     》2  尾气》。处理装？置的主要组成件【、附件应符合设计】与合同的要求随机资！料和专用工具应齐】全；： —    《3  酸碱中—。和装：置的洗涤塔》、风：机、泵、控》制盘、酸(碱)储罐！以及连接管路—等应进行外观检查随！机资料应齐全；【 ？。  《   4  尾【气处理装《置，。、风机、《泵的：出厂合格证、—性能：测试报告铭牌、【标，识应齐？全； ？ ？ ，  ：   5  系统流！程图、控制原理图】、设：备使用说明书应【。齐，全 》 10．》2．3  管道、管！件和阀门《进场验收应符合【下列规定 】 ：    1  【在非洁净室全数目测！检查：管道：外包装不得》有破损、变》形； 》 ：     2 【 检查合格的管道】、管件及《阀门搬入洁净室前应！。在缓：冲间(前室)去除】外包装薄膜；搬入】洁净室后应按种类】、规：格分别存放在洁净室！的货架？上不得直接放—在地面上洁净—室，的洁净度宜》优于或等于》7级(0．5μm)！； ？ ，     3 ！ 进：场的管道、》管件和阀门应有【产品规？格、型？号、合格证》、材质证明、使用】说明书、检验报告 ！ ， 10．2】．4  管道、【管件和阀门应—在洁净室内进行内包！装开：封检查并应符合下列！规定 】    1  【。管道、管件、阀门应！有独立的内包装【端口均应装有防【。尘，帽； 【    《 2  管》。道、管件、阀门检】查后应恢复内包【装及防尘帽；— 》  ：   ？3  ？管道外观检》查应按？全数的5％以—上抽查规格》尺寸、壁厚圆—度、端面子整—度等应符合产品的技！术要求； ！     4—  材质《检，查宜采用便携式【金属光谱分析仪【检查每批《每，种规格应随机抽【查5％以上且不得】少于l件其化学成分！应符合材《质质量保《证书：及，相关要？。求；  ！   5  管道】、管件内表》面粗糙度应采用样品！比较：法在管道两》端检：查每批每种》规格：应随机抽查5—％以上且不得少【于1件有不合—格，时，应加倍抽《查；：  【   6  管【道内壁平《均表面粗糙度R【a及最大表》面糙度Rmax【应满足设计文件的】要求 《