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10.2 】 主要设备、—。材料进场验收
【
10!.2.1 气瓶】柜、气瓶架、阀【。门箱、阀门盘进场验!。收应符?合下列规定
】
1 ! 外包装上》应具有防止倾倒、】轻,放、防雨标识、【防震标识并应完整】无损;
! ? 2: :表面应平整光洁【、色泽一《。。。致、:。无毛刺、无划痕、无!。锈蚀、不起鼓;柜体!顶部应设抽》风口柜门《下方应?设可调节空气过【滤网进风口;—
?
— 3 面板—上应有气体的名称】、化学式《、浓度、化学性质】和危险标志的—标识并?应有管?线,、阀体及附》件相互连接的系统图!;同时?应配:。有与其对应》的操作?手册;
】
4— 内部引出的管】路和阀件接口—应用专用管帽和【堵头封堵;
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5 】 在运输过》程中盘面内应保有不!低于0.1MPa(!。表压)压《力的氮?气;
《
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《 ?6 : 阀:门、仪表与》面板之间应有专用】阀门支撑《件,。支撑件材质应—采用不锈钢;不得】将阀门、《仪表:等直接用螺栓固【定在面板上
—
10.2!.2 ? 尾:气处理装置进—场验收应符合下【列规定
】
1 尾!气处理装置进—场应对外观、外【形尺寸、构成、接】口、铭?牌、气密试》验、阀门动作、信】号传输等性能—进行检查和核对;
!。
【 2 《 尾气处理装置的主!要组成件、附件应】符合设计与合同的要!求随机资料和专用】工具应?齐全;
】。
, 3 【酸碱中和装置—的,。洗涤塔?、风:机,、泵:、,。控,制盘、酸(碱)储】罐以及连《接,管路等应《进行外观检查随【机资料应《齐全;
《
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?
》4 尾《气,处理装置、》风,。机、:泵的出厂合格证、性!能测试报告铭牌【。。、标识?应齐全;
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》。 ?5 系统》流程图、控制—原理图、设》。备使用?说明书应齐全—
《
10.2.3】 管道、管件和阀!门进场验收应符合】。下列规定
【
? , ?1 在非洁净室】全数目测检查—管道外包装不—得有破损、变—形;:
》
》2 检查合格的管!道、:管件及阀门搬入洁净!室前:应在缓冲《。。间(前室)去除【外包:装薄膜;搬入洁净】。室,后应:按种类、规格分别】存放在洁净室的货】。架上不得直接放在地!面上洁净室的洁净度!。宜优:于或等于7级—(0:。.5μm《);
》
— 3 进场—的,管道、管件和阀【门应有产品规格、型!号、合格证、材质证!明、使用说明书【、检验报告
】
10.2.4! 管道、管件【和阀:门,。应,在洁净?室内进行内包装开】封检:查并应符合下—列规:定
【 : 1 管道、管!件、阀门应》。有独立的内》包装端口均应装【有防尘帽;
【
:
: 2 管】道、管件、阀—门检:查后应恢《复内包装及防尘【帽;
】 《3 管道外观检】查应按全数的5%以!上抽:查规格尺寸、壁厚】圆度:、端:面子:整,度等应符合》产品的技术要求;
!
!4 材质检查【宜采用便携式—金属光谱《分析仪检《查每批每种规—格应随机抽查5%】以上且不得少于【l件其?化学成分应符—合,材,质,质量:保证:书及相关要》求;
》
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—5 ?管道、?管件内表面粗糙度应!采用样品比较法在管!道两:端检查?每批每?种规格应《随机抽查5%以上且!不得少于1件—有不合?格时应加《倍抽查;
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】6 管道内壁平均!表面粗糙度R—a及最大表面糙度】Rmax《应满足设计文件的要!求
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