？ 10．2  【主要设备《、材：料进场验收 — — 10．《2．1？  气瓶柜、—气瓶架、阀门箱、阀！门盘进场验收应符】合下列规定 — 》    1  外包！装上应？具有防止《倾，倒、：轻放、防《雨，标识、防震标识并应！完整无损《； —  ：   2  —表面应？平整光洁、色泽一】。致、无毛刺》。、无划痕、》无，锈蚀、不起鼓；柜】体，顶部应设抽风口【柜，门下方应《设可调节空》气过滤网《进风口； 【。 ，  ？   3《  面板上应有【气体的名称、化【学，式、：浓，度、化学性》质和危险标志—的标识并应有管线】、阀体及附件相互连！接的系统图；同【时应配有与其对应的！操作手册； ！ ， ，    4 — 内：部引出的管路和阀】件接口？应用专用管帽和堵】头封堵； — ？     5 【 在运输过程中盘】面内应？保，有，不低于0．1MPa！(表压)压力—的氮气； 】     —。6  阀门、仪表】。与面：板之间应《有专用阀门支撑件】支撑：件材质应采》用不锈钢；不得将阀！门、仪表等直接用螺！栓固定在《面板上 【 ：1，0．：2．2  尾气处】。理装置？进场验收应符合下】列，规定  ！   1  —尾气处？理装置进场应对【。。外观、外形尺寸、构！成、接口、铭牌、】气，密试验、阀门动作、！信号传输等性—能进行检查和核对；！    ！ 2：  尾气处理—。装置的主要组成件】、附件应符合设计与！合同的要求随机【资料和专用工具应】齐全； ！  ：  3 《 酸碱中和装置的】洗涤：塔、风机、泵—、控制盘、》酸(碱)储罐—以，及连接？管，路等应进行外—观检查随机资料【应齐全； —   —  4 《 尾气处理》装置、？风，机、泵？的出厂合格证、性】能测试报《告铭牌、《标识应齐全； ！ ：    《 5  系统流【程图、控制原理图、！设备使用说》明，书应齐全 ！ ，10．2．》。3，  管道、管—件，和阀门进《场验收应符》合下列规《定 》  ？   1  —在非洁净室全数目】测检查管道外包装】。不得：有破损？、变形； 》 ，  》   2 》 检查合格的管【道、管？件及阀门搬入洁净室！前应在缓冲》间(前室)去除外】包装薄膜；》搬入洁净室后—应按种类、规格【分别存放在洁净室的！货架上不得》直，。接放在？。。地面上洁净室的【洁净度宜《优于或等于7级(0！．5：μ，m)； 【     —3  进场的管道】、管件和阀》门应有产品规格【、型号、合格—证，、材：质证：明、使用《说明书？、检验？报告 》 ？10．？2．：。4  管道、—管件和阀门应在洁】净室内进行内—包装开封检查并【应符合下列规定【 》     1  管！道，、管件、阀门—应有独立《的内包装端口均【应装有防尘帽； ！ 《    2  管】道、管件、阀—门检查后应恢复内】包装及？防尘帽； 】。   《  3 《 管道外观检查【应按：全数的？5％以？上抽查规格》尺寸、壁厚》圆度：、端面子整度等应】符合产品《的技术要求； ！    — 4  材质检【查宜采用便携式【金属光谱分析仪检】查，每批每种规格—应随机？抽查5％以上且不得！少，于l件其化学成分应！符合材？质，质，量保证？书及相？关要求； 【   》  5  管道【、管件内《表，面粗糙度应》采用：样品比较法在管【道两端检查》每批每种规格应随】机抽查5％以—上且：不得少于《1件：有不合格时应加倍抽！查； —  ？ ，  6  》管，道，内壁平均表面—粗糙度Ra及最大表！面糙度R《ma：。x应满足设计文件】的要求 》