《10．2《  主要设》。备、材料进场验收】 【 ，10：．2．1 》 气瓶柜、气瓶【架，、阀门箱、阀门盘进！。场验收应符合下列】规，定 《     1】  外包装上应具有！防止倾？倒、轻放、防—雨标识、《。防震标识并应完整无！损；： 》 ，  ：  2  表面应平！。整光洁、色》泽一致、无毛刺、】无划痕、无锈蚀、不！起鼓；柜体顶部【应设：抽风口柜门下方【应设可调节》。空气：过滤网进风口； 】。    】 3  面板—上应有气体的名【。称、化？学式：。、浓度？。、化学？性质和危险标—志的标识并》应有管？。线、阀体及附件【相互连接《的系统图《；同时？应配有与《其对应的操作—手册； 《 ， ，     4 ！ 内部引出的管路】和阀：件，接口应用专用管帽】。和堵头封堵；— 《     —5，  ：在运输过程中盘面】内应保有不低于【0．：1MPa(表压)压！力的氮气； ！  ？。   6  阀门、！仪表与面板之间应有！专用阀门支撑件【支撑件材质应采用】不锈钢？；不得将阀》门、仪表等直—接用螺栓固》定在面？。板上 — 10．2．【2 ： 尾气处理》装置进场验收—应符合下列》规定 【  ： ，。  ：1 ： 尾气？处理装置进场应对外！。观、外形《。尺寸：、构成、接口、铭牌！、，气密试验、》阀门动作《、，信号传输等》性能进行检》查和：核对； 《 ，  》   2  —尾气处理装》置的：主要组成件、附【件应符合设》计与合同的要求【随机资料和专用工】具应齐全； ！     3【 ， 酸：碱中和装置》的洗涤塔、风—机、泵、控制盘【、酸：(碱)储罐以及连】接管路等应进行【外观检查随》机资料应齐全；【  【   4  尾气】处理装置《、风机？、泵的出厂合—格，证、性能测》试报：告铭牌、标识—应齐全； —。 《。    5》  系统流程图【、控制原《理图、设备》。使用说明书》应齐全 】 1：0，．2．3 》 管道？、，管件和阀门进场【验收应符合》下列规定 】     —1  在非洁净室全！数目测检查管道【外包装不得有破损】、变形； —    【 2 ？ 检查合格的—管，道，、管件及阀门—搬入洁净室》。前应在缓《冲间：(前：室)去除外包装【薄膜；搬入洁—净，室后应按种类、规格！分别存放在洁净室的！货架上？不得直接放在—地面上洁净室的【洁，净度宜优于或等【于7级(0》．5μm)；— ？ ， ：    3  进场！的管道、管件—和阀门应有产—品规格、型号—、合格证、材质【证明、使用说明书】、，检验报告 】 1？0．：2，．4 ？ 管道？、管件和《阀门应在洁净室内进！行内包装开封检【查并应符合下列【规定  ！  ： 1  管道—、管件、《阀门应有独》立的内包装端—口均应装有防尘帽；！ ？ ：     2  管！道、管件、阀—门检查后应恢复内】包，装及防尘帽； 【 ：     3 ！ 管道外观检查应】按全数的5％—以上抽查规格尺寸、！壁厚圆度《、端面子整度等应】符合产品的》技术要？求； 》     4】  材质检查宜【采用便携式金属【光谱分析仪检查每】批每种规格应随机抽！查5：％以上？且不：。得少于l件其化【学成分应符合材【质，质量保证书》及相关要求； 】 ？     5  管！道、管件内表面【粗糙度？应采用样《品比较法在管道两端！检查每批每》种规格应随机抽查5！％以：上且不得少》于1件有不合格时】应加倍抽《查； 》     【。6  ？管道内壁平均表面】粗糙度？Ra及最大表面糙】。度Rmax应—满足设计文件的要】求 ？