10．2 ！ 主要设《备、材料《进场验收《 1！0．2．1  气】瓶柜、气《瓶架、阀门》箱、阀门盘》。进场验收应符合【下列规定 》     ！1  外包装上【应具有？。防，止，倾倒、轻放、防【雨标识、防震标识并！应完整无损》； ？   —  2  表—面应平整光洁—、色泽一致、无【。毛刺、无划痕—、无锈蚀、不起鼓】。；柜：体，顶，部应设？抽风口柜门下方应】。设可调节空》气过滤网进风口【；，    ！ 3  面板上【应有气体的名称、】化学式、浓度—、化学性质和—。。危，险标志的标识并应】。有管线、阀体及【附件相互连接的系统！。图；同时应配有与】其对：应的操？作手册； 》   【  4  内部【引出的管路和阀【件接：口应用专用管帽【和堵头封堵； 【  —   5 》 在运输过程中盘】面内应保有不—低于0？．1MPa(—表压)压力的氮气；！ ： 《   ？ 6  阀门、仪表！与面板之间应有【专，用阀门支撑件—支撑件材质应采【。用不锈钢；》不得将阀门》、仪表等直》接用：螺栓固定在面—。。板，上 ： 10．】2．2  尾气处理！装置：进场：验收应符合下列【规定  ！   1  尾气处！理，。装，。置进场应对外观【、外形尺《寸、构成、接—口、铭牌、》气密试验、阀门动】作、信号传输等【性能进？行检查和核》。对，。； 【    2  尾】气处理装置的主【要，组，成件、附件应—符合设计与》合，同的要求随机—资料和专《用工具应齐全—； 《   》  3  酸—碱中和装置的—洗涤塔、风机、泵、！控制盘、酸(—碱)储罐《。以及连接管》路，等应进行《外观检查随机—资料：应，齐全； ！。   ？ 4  尾气处理装！置、风机、泵的【出厂合格《。。证、性能测试报【告铭：牌、标识《应齐全； 》  —   5  系【统流：程图、控制原—理图、设备使用说明！书应齐全 》 》1，。0，．2．3  管道、！管，件和阀门进场验【收应符合下列—规，定   ！  1  》在非洁净室全数目测！检查：管，道外包装《。不得：有破损、变形—； ： ，     】。2  检查》合格的？管道、管件及阀【门搬入？洁净：室前应在《。缓冲间(前室—)去除外包装薄膜】；搬入洁净室后应按！种类：、规格分别存放在】。洁，。净室的货架上不得】直，接，放，。在地面？。上洁净室的》洁净度宜优于或等】于7级(0．5μm！)；：。 》     》3  进场的—管道、管《件和阀门应有产【品规格、型号、【合格证、材》质证明、使》用说明书、检验【报告 《 1》0．2．4  管道！、管件？和阀门应在洁—净室内进《行，内包装开封检—查并应符合下列【规定 《。 ？     1  管！道、管件《、阀门应《。。有独立的内包装【端口均应装有—防尘帽； 》    】 2  管道、管】件、阀？门检查后应恢复内包！装及防？尘帽； 《。 ， 《    3》 ， 管道外观》检查应按全数—的5％？以上抽？查规格尺寸》、壁：厚圆度、端面子【整度等应《符合产品的技术要】求；  ！   4  材质】检，查宜采用便》携式：金属光谱分析仪【检查每批每种—规，格，应随机？抽查5％以上—且不得少于l件其化！学成分应符合材质】质量保证书及相关要！求； 】    5》 ， 管道、管件内表面！粗糙度应采用样品比！较，法在管道《。两，端，检查：每批每种《规格应随机抽—查5％以上》。且不得少于1件有】不合格时应加倍【抽查：； ：    】 6  管》道内壁平均表面粗糙！度Ra及最大表【面糙度Rmax【应满足设计文件【的要求 》