安全验证
7.—3  气《 体 》 ? 7.3》.2  条文—中规定风《冷式空?气压:缩机设置热排—风管道?这是:为了防止热》。。空气发?生短路?现象:导致设?备,因为冷却不当而停机! —7.3.3  工】程实践表明干燥压】缩空气输送》露点低于-40℃时!管道采?用不锈钢无缝—钢管、阀门采—用,球阀是?合适的 《 ?。 7.3.4  !由于微波集成组件工!厂大宗气体用量【相对较小采用外购】液态气储罐或瓶装气!体方式供《气可以满足生产需】求这也是目前微【波,集,成,。组件工厂《普遍采用《的大宗气体供气方式! —7.3.《5  气体纯化【装置是保证》气体品质的》重要设备气》体气源参数和使用参!数是确定纯》化装置的重要数【据终端纯化器靠【近工艺设备》是为:了保证气体的品【质 — ,7.3?.6  大宗气体】管道和阀门的选择】与工艺对《。。气体品质的要—求关联度《较大:因此规定根据气体】的纯:度确:定管道材料》和阀门类型可燃【气体管道尽量—采用波纹管》阀 》 7.3.7  !工艺真空系统管【。道材料根据工艺【真空系统压力—选用 7!.3.9  常用】的工艺真空》管道材料为镀锌钢管!或厚壁?聚氯乙烯管道 】