7.3.2  条文中规定风冷式空气压缩机设置热排风管道，这是为了防止热空气发生短路现象，导致设备因为冷却不当而停机。

7.3.3  工程实践表明，干燥压缩空气输送露点低于－40℃时，管道采用不锈钢无缝钢管、阀门采用球阀是合适的。

7.3.4  由于微波集成组件工厂大宗气体用量相对较小，采用外购液态气储罐或瓶装气体方式供气可以满足生产需求，这也是目前微波集成组件工厂普遍采用的大宗气体供气方式。

7.3.5  气体纯化装置是保证气体品质的重要设备，气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据，终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质。

7.3.6  大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大，因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型，可燃气体管道尽量采用波纹管阀。

7.3.7  工艺真空系统管道材料根据工艺真空系统压力选用。

7.3.9  常用的工艺真空管道材料为镀锌钢管或厚壁聚氯乙烯管道。