7》.3  《。气 体 》 》 7.3.2 【 条文中规定风【冷式空气压缩—机设置热排》风管道？这是为了防止热【。空气发生《短路现象《导致设备因为冷却不！当，而停机 《 7.3.！3 ： ，工程实践表明干燥】压缩：。空气输送露点低于】－4：0℃时管道》。采用不锈《钢无缝钢管、—阀门采用球阀是【合适：的 ： 《 7.3.4  由！于微波集成组件工厂！大宗气体用》量相对较小采—。用外购液态气—储罐或瓶装气体方式！供，气可以满足生—产需求这也》是目前微波集成组】件工厂？普，遍，采用的大宗气体供气！方式 — 7.3.5  ！气体：纯，。化装置是保证气体品！质，的重要？设备气？体气：源参数？。和使用参数是确【定纯：化装置的重要数据终！端纯化器靠近工艺】设，备是为了《保证气体的》品质 》 7《.3.？6  大宗》气体管？道和阀？门的选？择与工艺对气体品质！的要：求关联度较大—因，此规定根据》。气体的纯《。度确定管道材料和】阀门类型可燃气【体管道尽《。量，采用波纹管》阀 7】.3.7  —工，艺真空？系统管道材料根【据工艺真空系—统，压力选用 ！ 7.3.9—  常用的工艺【真空管道材料为【镀锌钢管或厚壁聚】氯乙烯管道 — ，