。 7》.3  气 —体 ！7，.3.2  条文】。中规：定风冷式空》气压缩？机设置热排风管道】这是为了防》止热空气发》生短路？现象：。导，致设备因《为冷却不当而—停，机 7】.3.3《  工程实践—表明干燥压缩空气】输送露点低于－40！℃时管道采用不锈】钢无缝钢管、—阀门采用球阀是合适！的 ： 7—.3.？。4  由于微波【集成组件工厂大宗】气，体用量？。相对较小采用—外购液态气》储罐或瓶《装气体？方，式供气可以满足【生产需求这也是【目，前微波集成》。组件：工厂普遍采用的【大宗：气体供气方》。式 ： 7.3】.5  气体—纯化装置是保—证气体品质的重要】设备气体气源参数】。和使用？参数：是，。确定纯化装置的重要！数据终端纯化器靠近！工艺设备是为了保】证气体的品质 】 7.—3.：6  大宗气体管】道和阀门的选择与工！艺对气体品》质的要求关联度较】大，因此规定根据气【体的纯度确定管【道材料和阀门类【型可燃气体管道尽】量采用波纹管—阀 ？ 7.3【.7  《工，。艺，真空：系统管道材料根【据工艺真空系统压】力，选用 》 7《.3：.9  常》用的：工艺：真空：。管道材料为镀锌钢】管或厚壁聚氯乙烯】管道 ？ ，