《7.3 《。 气 体 》 ， 》 7.3.2 【。 条文中规定风【冷式空气压缩—。机设置热排风管【道这是为了防止【热空气发生短路【现象导致设备因【为冷却不当而停【机 7】.，3.3  》工程实践表明干燥】压缩空？。气输送露《点低于？－4：0℃时管《道采用不《锈钢无缝钢管、阀】门采用球阀是合适】的， —7.3？.4  由于微波】集，成组件工厂》大宗气？体用量相对较—小采用外购》液态气？储罐或瓶装气体方】式供气可以满足【生产需求《这也是目前微—波集成组件工厂普】。遍采用？的大宗气体》供，。气方式 《 》7.3.《5  气体纯化装置！是保证？气体：品质的重《要设备气体气源参数！和使用参数是确【定纯：化装置的重要—数，据终端纯化器靠近工！艺，设备是为了保—证气体的品质 ！ 7.3.【6  大宗气体管道！和阀门的选择—与工：艺对气？体，品质：的要求关联度较【大因此规定根—。据气体的纯度确定管！道材料？和阀门类型可—燃气：体管道尽量采用波纹！管阀 】7.：3.7  工艺真】空系统？管道材料根》据工：艺真空系《统压力选《用 7】.，3.9？  常用的工艺真空！管道材？料为镀锌钢管—或厚壁聚氯乙烯【管道 《