， 7.3 【 气 体《 《 7.—。3.2  条文【中规定风冷式空【。气压：缩机设置《。热排：风管道这是为了防止！热空气发《生短路现象》导致设？备因为冷却》不当：而停机 — 7.3.3】  工程实》。践表明干燥》压缩：。空气：输送露点低于—－40℃《时，管道采？用不：。锈钢无缝《钢管、阀《门采用球阀是—合适的 】 ，7.3？.4  由于—。微波集成组件工【。厂大宗气体用量相】对较：小，。采用外购液态气储罐！或瓶装气体方式供】气，可以：满足生？产需求这也是—目前微波集成—组件工厂普》遍采用的大宗—气体供气方式— 7.】3.：5  气体》纯化装置是保证气】。体品：质的重要设备气体】气源参数和使用参】数是：确定纯化装置的重要！数据终端纯化器【靠近工艺设》备是为了保证气体】的品质 — ， ， 7.3.6—  大宗气》。体管道和《阀，门的：。。选择与？工艺对气体品质的】要求关？联度较大因此规定根！据气体的纯度确定管！道材料和阀门—类型可燃《气体管道尽量采用波！纹管阀 【 7.3.7  ！工艺真空系统管道材！料根据工艺真空系统！压力选用 】 7.3.9【  常用的工艺真空！管道材料为》镀锌：。。钢，管或：厚壁聚氯《乙烯管道 —