7.3  ！气 体 】 7.3.【2  ？条文中规定风冷式】空气压缩机》。设置热排风管道【这，是，为了防？。止热空气发生—短路现象导致设【备，因为冷？。。却不：当，。而停机 】 7：.3.3《  工程实践表明】。。。干燥压缩空气—输送露点低于－40！℃时管道采用—不锈钢无缝钢管、阀！门采：用，球阀是合适的— —7.3.《4  由于微波【。。集成组件工厂大宗气！体用量相对》较小采用外购—液，态气：储罐：或瓶装气体》方式供气《可以满？足生产需求》这，也是目前微波—集成：组件工厂普遍采用的！大宗气？体，供气方式 》 ？ 7.3》.5  气体纯化】装置是保《。证，气，体品质的重》要设备？气体气源参数和使】用参数是《确，定纯化装置》的重要数据终端纯】化器：靠近工艺设备是为了！保，证气：体的品质《 ，。 ： 7.》3.6 《 大宗气体管—道和阀门的选—。择与工艺对气体【品质的要求关联度较！大因此规定根—据气体？的纯度确定管道【材料和阀《。门，类型：可燃：气体管道尽》量采用波纹管阀 ！ 《7.3.7》  工艺真空—系统管道材料根据】工艺真空《系，统压：力选用 】 7.3.9 【 常用的工艺真空】管道材料为镀锌【。钢管或厚壁聚氯【乙烯管道 —