7.—3  气《 体 》 ？ 7.3》.2  条文—中规定风《冷式空？气压：缩机设置热排—风管道？这是：为了防止热》。。空气发？生短路？现象：导致设？备，因为冷却不当而停机！ —7.3.3  工】程实践表明干燥压】缩空气输送》露点低于－40℃时！管道采？用不锈钢无缝—钢管、阀门采—用，球阀是？合适的 《 ？。 7.3.4  ！由于微波集成组件工！厂大宗气体用量【相对较小采用外购】液态气储罐或瓶装气！体方式供《气可以满足生产需】求这也是目前微【波，集，成，。组件工厂《普遍采用《的大宗气体供气方式！ —7.3.《5  气体纯化【装置是保证》气体品质的》重要设备气》体气源参数和使用参！数是确定纯》化装置的重要数【据终端纯化器靠【近工艺设备》是为：了保证气体的品【质 — ，7.3？.6  大宗气体】管道和阀门的选择】与工艺对《。。气体品质的要—求关联度《较大：因此规定根据气体】的纯：度确：定管道材料》和阀门类型可燃【气体管道尽量—采用波纹管》阀 》 7.3.7  ！工艺真空系统管【。道材料根据工艺【真空系统压力—选用 7！.3.9  常用】的工艺真空》管道材料为镀锌钢管！或厚壁？聚氯乙烯管道 】