《7.3  气— 体 《 《。 7.3》.2  条文中规】定风冷式空气压缩机！设置热排风管—。道这是？为了防止热空气发】生短路现象导—致设备因为冷—却不当而《停机： 7.】3.3  工—。程实践表明》干燥压缩空》气输送露点低于－】40℃？时管道？采用：不锈钢无缝钢管【、阀门采用球阀【是，合适的 ！7.3.4  由于！微波：集，成组件工《厂大：宗气体用量相—对较小采用外—购液态？气储罐或瓶装气体方！式供气？可，以满足生产需求【这也是目前》微波集成《组件工厂普遍—采用的大宗气体供】气方式 》。 ： 7.3.5  ！气体纯化装置是保】证气体品质的重要】设备气体气源参数和！使用参数是确定纯化！装置的重要数据终端！纯化器？靠近工艺设》备是：为，了保：证气体？的品质 【 7.3.—。6  大宗气体【管道和阀门的选择】与工：艺对气？体品质的《。要求关联度较大因】此规定根据气体的纯！度确定管道材料和阀！门类型？可燃气体管道尽量采！用波纹管阀 】。 7《.3.7  —工艺真空《系统管道材料根【据工艺真空系统【压力选用 》 ， ，。 ？7，.3.9 》 常用的工艺真空】。管道材？料，为镀锌钢管或厚【。壁聚氯？。乙烯管道 》 ，