电子工业厂房综合自动化工程技术标准 [附条文说明] GB51321-2018 建标库

4.5  工艺冷却水系统监控设计

4.5.1  工艺冷却水的控制系统宜独立设置,当系统规模较小时,可与其他控制系统合用。

4.5.2  工艺冷却水系统监控应对工艺冷却水系统的状态、故障、启停、手自动转换等进行监控。

4.5.3  工艺冷却水系统监控应监测工艺冷却水换热器冷媒的进出温度和压力信号。

4.5.4  工艺冷却水系统监控应监测工艺冷却水主管水温度参数和压力参数。

4.5.5  工艺冷却水系统监控应监测工艺冷却水过滤器两端的水压差参数。

4.5.6  工艺冷却水系统监控应监测开放式循环工艺冷却水水箱的液位。