： 4.2》  洁净室（区）环！境监控设计 】 ？ 4？.，2.1  根据工】艺要求？应对洁净室（—区）的空气参数进】行监视？、，测量和记录 】 ？4.2.2  【洁净室？（区）的监控—系统与净《化空调的监控系统宜！合用或？采用通信的方—式进行数据共享 ！ 4.2【.3  多个—洁，。净，室（区）采用一【套，监，控系统？时应根据《最严格的《洁净室（区）的温】度和湿度要求选择控！制系统的《精度： 4.】2.4  洁净室（！区）内外的压差【检测宜采《用压差变送》。器监测 】 ，4.：2.5  》。洁净室（区）安【装有过滤器时—宜具有过滤器压差报！警功能 》。 《4.2.6 — 传感器宜》对，化，学物：质沉：。。积采：取防护措施》或具备自洁》功能 《