4.—2  洁《净室（区）》环境监控设》计 ： 4】.，。2.1  》根据：工艺要求应》对洁净室（》区）的空气参数进】行，监视、测量》和记录 【 4.《2.2  洁—净室（区《）的监控系统—与净：化空调的《监控系统宜合用【或采用通《。信，的方式进行数—据共享？ 4.2！.3  多个洁净】。室（区）《采用一套监控系统时！应根据最严格—的洁净？室（区）《的温度和《湿度要求选择控制】系统的精度 — ， 《4.2.4  洁净！室（区）内外的压差！检测宜？。采用压差变送器【监测 【。。 4.2.5  】洁净室（区）安装有！。过滤器？时宜具有过滤器压差！报，警功：能 【。4.2.《6，  ：传感器宜对化学物】质，沉积采取防护—措，。施或具备自洁—功，能 ？