， 4《.2：  洁净室（—区）环境监控—设计 》 4—.2.1  —根，据工艺？要求应对《洁净室（区）—的空气？参数进行监视—、测量和记录 ！ ， 4？.2.2 》 洁净室（区）的监！控系统与净》化空调的监控系【统宜：合用或？。采用通信的》方式进行数据共【享 —。 ，。。4.2.3  多个！洁净室（《区）采用一》套监控系《统时应根据最严格的！洁净室（区》）的温？度和湿度要求选择控！制系：。统的精？度 《 4《.2：.4  洁》净室（区）》内外的压差检测【宜采用压差》变，。送器：监，测 》。 4.2.5 】 ，洁净：。室（区）安装有过】滤器时宜具有过滤】器压差报警功—能 《。 ： 4.2.》6 ： 传感器宜对化【学物：质沉积采取防护措施！或具备自洁功—。能 ？