《4.2  洁净室】（区）环境监控设】计 ： 》。 4.2.1 】 根据工艺要—求应对洁净》室（区）的空气【参数进行监视、【测量：。和记录 》 ？ ，4.2.《2  ？洁净室（《区）的监控系统【与净化？空调的？监控：系统宜合用》或采用？通信的方式进行数】据共享 《 《。。 4.2.3—。  多？个洁净室（区—），。采用一套监控系统】时应根？据最严格的洁净室（！。区）的温度和湿度要！求选择控制系统的精！度， ？ 4.2.【。4  洁净室（区）！内外的压差检—测宜采用压差变送】器监测 ！4.2？.5  洁净室【（区）安装有过滤】器时宜具有过—滤器压差报警功能 ！。 4—.2：.6  传感器宜对！化学物质沉积采【取防护措施或—具备自洁《功能 《