4.2【  洁净室（区）环！境监控设计 】 ， ： 4？.2.1《  根据《工，艺要求应对》洁净室（区）的空气！参数进行监视、测量！和记录 】。 ，4.2.《。2  洁《净室：（区）的监控系【统与净化空调的【监控系？统宜合用《或采用通信的方【式进行？数，据共享 — 4.》2.3  多个洁净！。室（区）《采用：一，。套，监控系统时应—根据最？严格的洁净室（区】），。的温度和湿度—要求选择控制系统的！精度 【 4：.2.4  洁净】。室（区）内外的压】差检测宜采用压【差变送器监测— ？ 4.2.【。5  洁《净室（区）安装有过！滤器时宜具》有过滤器《压差报警《功，能 4】.，2.6  传感【器宜对化学物质沉积！采取防护措》。施，或具备自洁功—能 ？