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4《.2 洁净室(区!)环境监控设计【。。
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—4.2.1》 根据工》艺要求应对洁—净室(?区,)的空气参数进行】监视、测量和记【录
【4.2.2》 :洁净:室(区)的监控系】统与净化《空调的监控系统宜合!用或:采,用通信的方》式进:行数据共享
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4《.2.3 多【个洁净室《(区)采用一套【监控系统时应根【据最严格的洁—净室(区)的温度和!。湿度要求《选择控制系》统的精度
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4—.,2.4 《 洁:净室(?区)内外的压差【检测宜采用压差变送!器监测
!。。。4.2.5 洁】净室(?区,)安装?有过滤器时》宜,具有:过,滤器压差报警功【能
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4.【2,.6 传感器宜】对化学物质沉积采】取,防护措施或具备自】洁功能
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