。 ，。 ：。 ，4.：。2  洁净室（区】）环境？监控设计《 4！.2.1 》 根据工艺要求应】对洁净室《（区）的空气—参数进行监视、测】量和记录 【 4.》2.2  洁净【室（：区）的监控系—统与净化空调—的监控系统宜合用或！采，用通信的方式进行】数据共享《 ： ： 4.2》.3  多个洁净】室（区）采用一套监！控系：统时应根据最严格的！洁净室（区）的【温度和湿度要求选】。择控制？系统的精度 ！。 4.2.4 】 洁净室（区）内外！的压差？检测宜采用压差【变送器？监测： ， 4.2.！5  洁《。净室（？区）：安装：有过滤器《时宜具有过》滤器压差《报警功能《。 ， ： 4.2—。.6  传感器【宜对化？学物质沉《积采取防《护措施或具备自【洁功能 》