8》.6：  空气《弹簧隔振《器 ： 【。8.：6，.1  《空气弹簧隔振装置是！由空气弹簧隔—振器、高度控制阀、！控制柜及气》路等组成《的装：置气浮式《隔振系统由》台座、空气》弹簧隔振装置—及，控制系统组成与其他！隔振材料或隔振器】相比空气弹簧的三】。。种隔振方《式具有刚度低—、能随着质心变动追！踪，的特点隔振效果良】好已成为精》密仪器及设备隔【振的主要隔振—元件 【 8：.6.2  —本条提出空气弹簧隔！振器制造商需—要提供的资》料空气？弹簧气密性》参数为当充气—气压达0.》5M：Pa后保压(—即不充、不排)经】24h后气压下降值！不大：于0.02MP【a时认？为气密性是良好的 ！。 ： ？8.6.3》  在容《积不变的条》件下空气《弹簧：的刚度？因胶囊？结构形？。式不同而变化—常用的？胶囊结构有4种即自！由膜式？、约束膜式、囊式】及滑：膜式其中自》由膜式及约》束膜式最为常用；】多曲囊式大于3曲时！不要：使用会因横向—刚度过？小而：产生横向不稳—定现象？；，滑膜式不《常使用？ ： 8.6.】4  由于空气弹】簧隔振器的》高度控制阀》在调整？台，座高度时需将空气】弹，簧内的部《分压缩？空气：。(或：惰性气体)排—出排入室内当位于厂！房的洁净室内时要】求从高度控制阀【排出的压缩》气，。体，的洁净度不低于【。。。洁净室内空气—的洁：净，度如低于该等级则排！出，压，缩气体将对洁净室】。。产，生污染洁净厂房【空气洁净等级的规】定在现行《国家标准洁净厂房设！计规范GB —5007《3中做了《。规定 》 8.6.【5 ： 本条提《出空气弹簧隔振【装置：的适用范围以及【制造商需要提—供的资料高度—控制阀？的灵：。。敏度由2个指标衡】量即被隔《振体由倾《斜到调平的时—间一般不大于10s！；被隔振体调—平，的精度？一般：不大于0《。.，1mm／m》控制：。柜是具？有对空气弹》簧隔振装《置的运行实施—人机界面的自动【控制功能的一种【控制系统其》主要：功能包括①对空气】弹簧：隔振装置实》施基本操作如气压设！定，、稳压快《速充气、《自动转换《、排气、故障紧【。。急处理等；②自动】监测如？对空气弹 ！ 簧内？压、台座高度、【台座面水平度、【倾斜：度等自动监测；【③实时？监测隔？振，系统的？微振：动状态(振动位移、！振动速度、振动【加速：度，等)并作数据分析；！④所有上述数—据均：可用可？视化界？面表：示；⑤实施数—据远程传《送控制柜《的安装要求包括【进出口管道位置、供！电要求等 】 8.6.6【  气源配置需要根！据使用？。状况不同《来选择？小型空气弹簧—隔振装置《可使：用瓶装惰性气体【如氮气、氦气等大】中型空气弹》。簧，隔振装置要由专用气！源供气一般采—用空压设备不使用氢！气、氧？气等可燃、易燃气体！作为气源《 ， ？ 8.6》。.7  本条提【出气浮式隔振—系统制造商》需，要提：供的资料 】 ：。8.：6.8  气源配】置需要根据》使用状？况不同来选择小型】气浮：式隔振系统可使【用瓶装惰性气—。体如氮气、氦气等】大中型气浮式隔振】系，统需要由专用气【源供气一般采用【空压设？备，不使：。用氢气、氧》气，等可燃、易燃气【体作为气源》 ：