8.6 】 空气弹簧隔振【器
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8.》6.1 《 ,。空气弹簧隔振装置是!由,空气弹簧隔》。振器、高《度,控制阀、《。控制:柜,及气路等组成的装】置,气浮:式隔振系统由台座、!空气:弹,簧隔振装《置及控制系》统组:成与其他隔振材料】或隔振?器相比?空气弹簧的三种隔振!方式具有刚度低、能!随着质心《变动追踪的特点隔】振效果良好已—成为:精密仪器《及设备隔《振的主要《。隔振元件
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,。8.6.2 【本条提?出空气弹簧隔—振,器制造商需》要提供的资料空气弹!簧气:密性:参数为?。当充气气压达0.5!MPa后保压(即不!充、:不排)经24—h后气压下》降,。值,不大于?0.02MP—a时认为气》密性:是良好的
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8》.6.3 》 在容积《不,变的条件下》空气弹簧的刚度因】胶囊结构形式不【同而变化常用的【胶,。囊结构有4种即自】由膜式、《约束膜式、囊式及】滑膜式其中自由膜】式及约束《膜式最为常用;【多曲囊式大于3曲】时,。不要使用会》因横向刚度过小而】产生横向不》稳定现象;滑膜式不!常使用?
—8.6.4 由于!空气:弹簧隔?振器的高度控制阀在!调整台座高》度时需将空》气弹簧内《的部分压缩》空气(或惰性—。气体)排出》。排入室内当位于【厂房的洁净室—内时要求《从高度控制》阀排:出的压缩气体的洁】净度不低于洁净室】内空气的《洁,净度如低于该等【级则排?出压缩气体将—对洁净?室产生污《染洁净厂《房空气洁净》等级的规定在—现行国家标准洁净】。厂房设计规范—。GB 50》073中做了—规定
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?8.6.5 本】条提出空气》弹簧隔振装》置的适?用范围以及制造商需!要,提供的资料高度【控制阀的灵敏度由】2个指标衡量即【被,隔振体由《倾斜到调平》的时间一般不大于1!0s;被隔振—体调平的精度一【。般不大于0.1mm!/m控制《柜,是具有对空气弹簧隔!振装置的运行实【施人机界面》。。的自动控制功能的一!种控制系统其主要】功能包括①对空气】弹簧隔振装置实施基!本操作如气压设定、!稳压快速充气、自动!转换:。、排气、故障紧急处!理等:;②自动《监测:如对空?。气弹:
—簧内压、台》座高度、台座面【水平度、倾斜—度等自?。动监测;③实时监测!隔振系统的微—振,动状态?(振动位移》、,。振动速度《、振动加速度—等)并作数据—分析:;④所有《上述数据《均可用可《。视化:界面表示;⑤实【施数据远程传送控制!柜的安装要求包括】进出口管道位置、供!电要求等《
—8.6.6 【气,源配置需《要根据使用状—况不同来选择小型】空气:弹簧隔振装》置可使?用瓶装惰性气体如氮!气、氦气等大中型空!气弹簧隔振装置【。要由专用气源供气一!般采:用空压设备不—使用氢气、氧—气等可?燃、易燃气体作【为,气源
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8?.6.7 》 ,本条提出气浮式隔】振系统制造商需要提!供的资料
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?8.6.8 【气源配置需要根据】使用状况不同来【选择小型《气浮式隔振》系统可?使用瓶装惰性气体】。如氮气、氦气等大】中型气浮式隔振系统!需要:由专用气源供气一】般采用空压设备不】使用:氢气、氧气等—可燃、?易燃气体作为气【源
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