： 8.6  空】气弹簧隔振器 【 【。。8.6.1  空】气弹簧隔振装置【是由空气弹簧隔振】器、高度控制阀、控！制，柜，及气路等组成—的装置气浮式隔【。振系统由台座—。。、，空气：弹簧：隔振装置《及控制系统》组成与其《他，隔振材料或隔振【器相比？。。。空气弹？簧的三种隔振方式具！有刚度低、能随【着质心变动追—踪的特点隔振效果】良好：已，。成为：。精密仪器及设备隔振！的主要？隔振元件 — 8.—6.2？  本？。条提出空《。。气弹簧隔振器制【造商需要《提供的资料空气弹】簧气：密性：参数为当充气气压】达0：.5：MPa后保》压(：即不充、不排—)经24h后气压】下降值不大于—0.02MPa时】认为气密性》是良：好的 《。 8.6.3！  在容积不变的】条件下空《气弹簧的刚度因胶囊！结构形式不同而变】。化常用？的胶囊结构有4种】即自由膜式、约【束膜式、囊式及滑膜！。式其中自由膜式及】约束膜式最为常【用；多曲囊式大于】3曲时不要使用会因！。横向刚？度过小而产生横向不！稳，定现象；滑》膜式不？常使用 ！8.6.4  由于！空气弹簧隔振器的高！度控制阀《。在调整台《座，高度时需将空气【弹簧内的部分压缩】。空，气(或惰性气体)排！出排入室内当位于厂！房的洁净室》内，时要求从高度—控制阀排出的压【缩气体的洁》净度不低于洁净【室内空气的洁净度如！低于该等《级，则排出？压缩：气体将对洁净室【产生污染洁》净厂房空气洁净【等级的规定在现行】国家标准洁净—厂房设计规》范GB 50—。073中做了规定 ！ 8.【6.5  本条提出！空气弹簧隔振装置的！适用范围《以及制造《商需要提供的资料】高度控制阀的—灵敏：度，由2个指标衡量即】被隔振体由倾斜到调！平的时间一般不大】于10s；被隔振体！调平的精度一般【不大：于0.1mm／m】控制柜是《具有对空气》弹簧隔？振装置？的运行实施》人机界面的自动控制！功能的一种控制系】统其主要功》能包括①对空气【弹簧隔振装置实【施基本操《作如气压设定—、稳：压，快速充？气、自？动，转换、排气、故障紧！急处：理等；②自动—监测：如，对空气？弹 【簧，内压、台座高—度、：台座：面水平度《、倾斜？度等自动监测；③】实时监测隔振系【统的微振动》。状态：(振动位移、振动速！度、振？动加速度等)并【作数据？分析；④所有上述】。数据均？可用可视化界面【表示；⑤实施—数据远？程传送控制柜的安装！要求包括进出口管道！。位置、供电》要求等 》 8.6【.6  气源配置需！要根据使《用状况不同》来选择小型》空气：弹簧：隔振装置可》使用：瓶装惰性气体如氮气！、氦气等大中—型空气弹簧隔—振，装置要？由专用气源供气一般！采用空压设备—不，使用：氢气、氧气等可燃、！易燃气？体作为气源 ！ 8？.6.7  —本条提出《气浮式隔振系—统制造商需要提供的！资料 ？ 8—.6.8《 ， 气源配置需要【根据：使用状况不同—来选择小型气浮式】隔振系统可》使用瓶装惰性气体】如氮气？、氦气等大中型气浮！式隔振系《统需要由专用气源供！气一般采用空—压设备不使用氢气】、氧气等《可燃、易《燃气：体作为？气，源 ？