？ 8.6  —空气弹簧隔振器【。 》 8.6.【1  空《气，弹簧隔？振装置？是由空？气，弹簧隔振器、高【度控制阀、控—制柜及气路等组成】的，装置气浮式隔振系】统由台座《、，空气弹簧隔振装置及！控制系统组》成与其？。他隔：振材料或隔振器相】比空气弹《簧的三种隔振方【。式具有刚度低、能】随着：质心变动追踪的特】点隔振效果》良，好，已，成为：精，密仪器？及设备隔振的—主要隔？振元件 ！8.6.2》  ：本条提？出空气弹簧隔振器制！造商需要提供的资】料空气弹《簧气：密性参数《为当充气《气压：达0：。.5MP《a后保压(即不充、！不排)经24h后气！压下降值不大—于0.0《2M：P，。a时认为《气密性？是，良好的 《 8.【。6.3  在—容积不变的》条件下空气弹—簧的刚度因胶囊结构！形式不同《而变化常用的胶囊】结构有4种即自【由膜式、约束膜式、！。囊，式及滑膜式其—中自由？膜式及约束膜式最为！常用；多曲囊式大于！3曲时不《要使用会因》横向刚？。度过小而产生—横向不稳定》现象；滑膜式—不，常，使用 》 8.6—.，4  由于》空气弹？簧隔振器的》高度：控，制阀在调整台座高度！时需：将空气弹簧内的部】分压缩空气(或【惰性气体)排出【排入室内当位于厂】房的洁净《室内时要求从高度】控制阀？排出：的压缩气《体的洁净度不低于】洁净室内空气的洁】。净，度如：低，于该等级则》排出压缩气体将对】洁净室产生污染洁净！厂，房空气洁净等级【的，规定在？现行国家《标准洁？。净厂：房设：计规范？GB 5《0073《中做了规定 】。 8.6.【5， ， 本：条提出空气弹簧【隔振装置的适用【范围以及制造商需】要提：供的：资料高？度，控制：阀的灵？敏度由2个》指标衡量即》被隔振体由倾斜到】调平的时《间一般不大于1【0s；被隔振体【调平：。的，。精度一般《不大于？0.1m《m／m控制柜是具】有，对空气弹簧》。隔振装置的运行实】。。施人机界面的自动】控制功？能的一种控制系统其！主，要功能包括①对空】气弹簧隔振装置实】。施，基本操作如气压设】定、稳压快》速充气、自动转换】、排：气，、故障紧急处理等；！②自动监《测如对空气弹 【 《 簧内压、台座高】度、台座面水—平度、倾斜度—等自动监测》。；③实时监》测，隔振系统的微—振动状态(振动位移！、振：动速度、振动加速度！等)并作数据—分析；④所有上【述数：据均可用《。可视：化界面表示》；⑤：实施数据远》程传送控制柜的【安装要求包》括进出口管道位置、！供电要求等 【 ， ， 8.6.—6，  ：气，源配置需《要根据？使用状况《。不，同，来选择小《型空气弹簧》隔振装置可使用【瓶装惰性气体如【氮气、氦气等大中】型空气弹《簧隔振装置要由专用！气源供气一》般，采用空压《设，备不使？用氢气？、，氧气等可燃、易燃气！体作为气《源， ， 8.【6.7？  本条提出气【浮式隔振系统制造商！需要提供《的资料 ！8.6.8  气源！配置需要根据使用状！况不同来《选择小型气浮式【隔振系统可使用瓶】装惰性气体》如氮：气、氦气等大—。中型气？浮式隔振系统—需要由专用气源【供气一般采用空【压设备不使》用氢气、氧气等【可燃：、易燃气体》作为气？源 ？