？ 8：.6  空气弹簧】隔，振器 】 8.6.—1  空《气弹簧隔振装置【是由空气弹簧隔【。振器、高度控制【阀、：。控制：柜及气路等》组成的装置》。气浮式隔振系统由台！。座、空气弹簧隔【振装置及控制系【统组成与其他隔振】材料或？隔振器相比空—气弹：簧的：三种隔振方式具有】刚度：低、能随着》。质，心变动追踪的特【点隔振？效果良好已成为精密！仪器及设备隔—振的：主要：隔振元件 】 ， 8.？6.2  本条【提出空气《弹簧隔振器制—造商需要提供的资料！空气弹簧气密性【参数为当充气气【压达0.5MPa后！保压(？即不充、不排—)经24h后气压】下降值不大于0【.02？MPa？时认为气密性是良】好的 【 8.6《.3  在容积不】变的：条件下空气弹簧的刚！度因胶囊结构—形式不同而变化【常，用，的胶囊结构有4【种即自由膜式、约】束膜式、囊式及滑膜！式其中自由膜式及】。约束膜式最为—常用：；多：曲，囊式大于3曲时【不要使用会因横【向刚度过小而产生横！向不：稳，定现象；《滑膜式不常使用 】 《 8：.6.4 》 由于空气弹—簧隔振器的高度【控制阀？在调整台座高度【时需将？空气弹簧内》的部：分，压缩空气《。(或惰性气体)排】出排入室内》当位于厂房的—洁净室内时要—求从高？度控制阀排出的压缩！。气体的洁净度不【低于洁净室内空气】的洁净度如低于该】等级则排出压—缩气体？将对洁净室》产生污染洁》净厂房空气》洁净等级的规—定在现行国家标准】洁净厂房《设计规？范GB？ 50？073中做》了规定？ ， 》8.6.《5  ？本，条提出空气》弹簧隔？振装置的适用范围】以及制造商》需要提供的资料高】度控：制阀：的灵：。敏度由？2个指标衡量即被】隔振：体由倾斜《到，调平的时间一—般不大？于10s；被隔振体！调平：的，精度一般不大于【0，.1mm／m控【制柜是具有对—空气弹簧隔振装【置的运行实施人机】。界面的自动控制【功能的？一种：控制系统《。其主要功能包括①对！空气弹簧隔》振装置实施基本操作！如，气压设定《。、，稳压快速充》气、自？动转：换、排？气、故障紧》急处理等；》②自动监测如—。对空气弹 ！ ，簧内压、台座高度、！台座面水平度、倾斜！度，等自动？监测：；③实时监》测隔振系统的微振动！状态(振动位移、】振动速度、振动【。加速度等)并作【数据分析；④所【有上述数《据均可用可视化界面！。表示；⑤实》施数据？远程传送控制柜的安！装要求包括进—出口管道位》置、供电要求等 ！ ， ： 8.6.6 【 气源配置需—要根据使用状况【不同来选择》小型空气弹簧隔振】装，置，可，使用瓶装惰性气【体，如氮气、氦气—等大中型《空气：弹簧：隔振装置要由—专用气源供气—。一般采用空压设备不！使用：氢气、氧气等可【燃、易燃气体作为气！源 《 8.6.【7  本条提出气浮！式隔振？系统制？。造商：需要提供的资—料 《 ？8，.6.8  气【源配置需要根—据使用状《况不同来选择—小型气浮《。式，隔振系统可使用【瓶装惰性气》体如氮气、氦气等大！中型气浮式隔振系统！需要由专用气—源供气一般采用空】压设备不《使用氢气、氧气【等可：燃、易燃气体—作为气？源 ？