8》.6 ？ 空气弹簧隔振器】 ， ： 《 8.6.》1，  空气《弹簧：隔振：装置是由空气弹【簧，隔振器、高度控制阀！。、控制柜及气路等】。组成的装置气—浮式隔振系统由台】座，、空气弹簧隔振装置！及控制系统组成与】其他隔振材料—或隔振器相比空气】弹簧的三种》。隔振：方式具有刚度低、】能随着？。。质心变动追踪的特点！隔振效果良》好已成为《精密仪器及设—备隔振的主要隔振】。元件 【 8.6.2  本！条提出空气弹簧【隔振器制造商—需，要提供的资料空气】弹簧气密性参数为】当，。充气气压达》0.5？MPa？后保压(即》不充、不《排)经24h—后气压下降》值不大于0.—02MPa时认【为气密性是良—好的 【。 8.6.》3 ： ，在容积不变的—条件下空气弹簧【的刚度因《胶，囊结：构形：式不同而变化常【用的：胶，囊结构有4种即【自由膜？式、约束膜式—。、囊式及《滑膜式其中自由膜】。式及约束膜式最【为常用；多曲囊【式大于3曲》时不要使用》会因横向刚度过小而！产生横向不》稳定现象；滑膜【式不常使用 — 《 8.？6.4  由于空】气弹簧隔振器的【。高，。度，控制阀在调整台【座高度时需将—空气弹簧内的部分压！缩空气？(或惰？性气体)排出—排入室内当位于厂】房的洁净室内时【要求从高度控制【阀，排，出的压缩气体的洁】净，。度不低于洁》净，室内空气的洁净度如！低于该等级则—排出压缩气体将对洁！净室产？生污染洁净厂房空气！洁净等级的规定【在，现，。行国家标准洁净厂】房设计规范GB【 50073中做了！规定 《。 ，。 8.6.【5，  本条提出空气弹！簧隔振装《置的适用范》围以及制《造商需要提供—。的资料高度控制阀的！灵敏度由2个指【标衡量即被隔振【体由倾斜到调平的】时间一般《不大于10s；被】隔振体调平》的精度一《般不大于0.1m】m／m控制柜—是具有对空气弹【簧隔振装《置，的运行实施人机【界，。面的自动《控制功能的一种控】制系统？其主要功能》包括①对空气弹簧隔！振装置实施基本操】作如：气压设定、稳压【快速充气、自动转换！。、，排气、故障紧急处理！。。等；②自动监—测如对空气》弹 簧内！压、台座高度、台座！面水平？度、：倾斜度等自动监测；！③实时？监测隔振系统—的，微振动？状态(？。振动位移、振动速】度、：振动加速度等)【并作数据分析；④】。所有上述数据均可用！可视化界面表示；】⑤实施数据远程传送！控制柜的安装—。要，求，。包括进出口》。管道位置、供电要求！等 ？ 8.6【.6  气》源配置？需要根据使用状【况不同来选择小型空！气弹：簧隔振装置》可使：用瓶装？惰性气体如氮气、氦！气，等，大，中型：空，气弹簧隔振装—置要由专用气源供】气一般采《用空压设《备，不使：用，氢气、氧气等可燃、！易，燃，气体作为气源 ！ 8《.6.7  本【条提出气浮式隔振】系统制？造商需要提供的【资料 8！.6.？8  ？气源配？置需要根据使用【状况不同来选择小型！气浮：式隔振系统可使用瓶！。装惰：性气体如氮》气、氦气等大中【型气浮式隔振系统需！要由专用气源供【气一般采用空压设】备不使用氢》气、氧气等可燃【、易燃气体作为气源！ ：