8.6  ！空气弹簧隔振器 ！ 》 8.6.1 【 空气？弹簧：隔振装置是由—空气弹？簧，隔振器、《。高度控制《阀、控制柜及气【路等组成的装置气】浮式隔振系统由【。台座、？空气弹簧隔》振，装置：及控制系统》组，成与其他隔》振材料或隔》振器相比《空气弹簧的三—种隔振方式具有刚】度低、能随着质心】变动追踪《的，特点隔？振效：果良好已《。成为精密《仪器及？设，备隔振的主》。要隔振元件 】 ？。8.6.2  本条！提出空气弹簧隔振器！。制造商需要提供【。的资料空气弹簧气】密性参数为当—充气气压达》0，.5MPa后—保压(？即不：充、不排《)经24h后气【压下降值《。不大：于0.02MP【a时认为《气密性是良好的 】 8.6】.3  在容积不变！。的条件下空气弹簧】的刚度因胶囊结构形！式不同而变化—常用的胶《囊结构？有4种即自由膜式】、约束膜式、囊式】及滑膜式其》中自由？膜式及约束膜式最】为常用；《多曲：囊式大于3》曲时不要《使用会因横向刚【度过小而产》生横向不稳定现象；！滑膜：式不常使用 ！。 8.6.4【  由于空气弹簧隔！振，器的高度控》制阀在调整台—座高度时需将空气弹！簧，内的：部分压？缩空气？(或惰性气》体)：排出排入室内当位于！厂房的洁净室内时要！求从：高度控制阀排出【的压缩？气体的洁《净度：不低于洁净室—内空气？的，洁净度如低于该等级！则排出压《缩气体将对洁净室产！生污染洁《净厂房空气洁净等】级的规定在》现行国家标》准，洁净厂房《设计规范GB— 50073中做了！规定 8！.6.？5  本条提出空气！弹簧隔振装置的适】。用范围以及制造【商需要提《供的资料高度控【制阀的灵敏》度由：。2个指？标衡：量即被？隔振体由倾斜—到，调平的时间一般不大！于，10s；被》隔振体调平的精度一！般不：大于0.1m—m／m控制》柜是具有对空气弹簧！隔振装置的运行【实施人机界面—的自：动，控制功能的》一种控制系统—其，主要功能包括①对】空气弹簧隔振装置】实施：基本操作如气压设定！、稳压快速》充气、？自动转换、排气、故！障紧急？处理等；②自—动监测如对空气【弹 簧内！压、台座高度、【台座面水平度、倾斜！度等自动监测；③实！。时监测隔振系统【。的，微振动？状态(振动》。位移、振动速度、振！动加速度等)—并作数据分析；【④所有？上述数据均可用【可视化界面表示；⑤！。实施数据《远程传送控》制柜的？安，装要求包括进出口管！。道，位置、供《。电要求？等， 8.】。6.6  气源配】置需要根据使用状】况，不同：来选择小型空气弹簧！隔振装置可使—。用瓶装惰性气体【如氮气、氦气等大中！型，。空，气，弹，簧隔振装置要由专用！气，源供气一《般采用空压设—备不使用氢气、【氧气等可《燃、易燃气体作为】气源 】8，.6.7《  本条提出气【浮式隔振系统制造】商需要提供的资料】 8.】6.8  》气源配置需要—根据使用状况不【。同来选择小》型气浮式隔》振，系，统可使用瓶》装惰性气《体如氮？气，、氦气等大中型气】浮式：隔振系统需》要由专用《气源供？。气一般采用空压设】备不使用氢气、氧气！等，可燃、？易燃气体作》为气源 》