？ 8.6  空【气弹簧隔《振器 ！ 8：.6.1  空【气弹簧隔振装置是】由空气弹簧隔振【器，、高度控制阀—、控制柜及》气路等组成的—装置气？浮式隔？。振系：统由台座、空气【弹簧隔振装置及控制！系统组成与其他隔】振材料或隔振器【相比空气弹簧的【三种隔？振方式具《。有刚度？低、：。能随着质心变动追】踪的特点隔振效【果良好已成为精密仪！器及设备《隔振的主《要隔：振元件 — 8.6.2】 ， ，本条提出空气弹簧】隔振器制《造商需要提供的资料！。空气弹簧《气密性？参数：为，当充：气气：压达0.5MPa】后保：压(即？不，充、不排)经2【4h后？气压下？降值：不大于0.02MP！a时认？为气密？性是良好的》。 8【。。.，6，。.3  《在容积不变的—条件下空气》弹簧的刚度因胶囊】。结构形式不同而变化！常用的胶囊》结构有4种即自由膜！式、约束膜式—、囊式？。及，滑膜式其中自由膜式！及，约束膜式最为常用；！多曲：囊式大于3曲—时不要？使用会因横向刚度】过小而产生横向【。不稳定现象；滑膜】式不常使《用 8】.6.4  由于】空气弹簧隔振器【的高：度控制？阀在：。调整台？座高：度，。时需将空气弹簧内】的部分压缩》空气：(或惰？性气体？)，排出：排入室？内当位于厂房—的洁净室内时要求】从高度控制阀排出的！压，缩气体的《洁净度？。不低于洁《净室内空《气的洁净度如低【于该等？级则排出《压缩气体将对洁净室！产生污染洁》净，厂房空气洁净等【。级的：规定在现行国—家，标准洁净厂房设【计规范GB —50073中做了规！定 8】。.6.5  本条提！出空气？弹簧隔振《。装置：。的适用范围以—及制造商《需要提供的资料【高度：控制阀的灵》敏度由2个指标衡】量即被隔振体—由倾斜？到调平的时间一般不！大于：10s；被隔振体】调平的精度》一般不大于0—.1mm／m控制】柜是具有对空—。气弹簧？隔振装？置的运行实》施人：。机界面的自》。动控制功能的—一种控制系统其主要！功能包括①对空气弹！簧，。隔振装置《。实施基本操作—如气压设《定，、稳压快速充—气、自动转换—、排气、故障紧急处！理等：；②：自动监测如对—空气弹 】 簧内？压、台座高度、台】座面水平度、倾【斜度等自动监测；】③实时监测隔振系统！的，微振动？状态(振动位移、振！动速度？、振动加速度等)并！。。作数据分《析；④所有上述数据！。均，可用可？视，化界面？表示；⑤实施—数据远程传送控【制柜的安装要—求包括进出口管道位！置、供电要求等 ！ 8.—6.6 《 气源？配置需要根据使用状！况不：同来选择小型—空气弹簧隔振装【。置可使用瓶装惰【性气体如氮气、【氦气等大中型空气弹！簧，隔振装置要由专用】气，源供气一般采用【空压设备不使用【氢气、氧气》等可：燃、易燃气体—作为气源 》 8.6.！7  本条提—出气浮式隔振系统制！造商：需要提供的资—料 《 8.6—.，8  气源配置需】要根据使用状况不同！来，选择小型气浮式【隔振系统可使用瓶装！惰性气体如氮气【、氦：气等大中《型气浮式隔振系统】需要由？专用气源供气—一般采用空压—设，备不使用氢气、氧气！等可：燃、易燃气体作【。为气源 》