5.—3 静电敏感电气!或,电子元件《、组件和设备
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《
5.3《.1: , 本条根据国际【电工委员会》标准电气或电—子元件?、组:件和设备防静电【技术要求I》。EC:。 61?340-5-1【-20?07规定其防静电工!作区的防护》等级以静《电安全电《压±100V为界】限值分为两级
】
《 , 当静电安全!电压小于或等—于±100》V时该?防静电工作区的【地面电阻值小于10!7Ω:其适用场所》如下
—
1 !微电子器件制—造和测试场》。所,包括
?
【 1) ! 芯:片的氧?化、扩散、清洗【、刻蚀、《薄膜、离子注入、C!MP:、光刻、《检测、设备区等工序!;
?。
—。 》 2) 芯—片封装的划》片、键合、封装等】工序;
! 【 3) TFT液!晶,制造的阵列板(薄膜!、光刻、刻》蚀、剥离)、成【盒(:涂覆、摩擦》、液晶注入》。、切割、磨边—)、:模块:、彩模板(C/【F):等工序
—
》 2 电—子产品生产》过程中操作静—电敏感器件的场【。所包括?。
《
《 1) ! 硬盘制造(—HDD)《区,;
?
,
— , ? 2)? 等离子》。电视(PDP—)核心区;》
《
! 3)? :彩色显像管表面处】理工序;
【。
:
? 《。 4) 高密磁!带制造;
!
, : 5【) 光导纤—维,制造;
《
,
】 6》。) 光《盘制造工序;
【
《
》 , 7《) 磁头生产的核!。心区
《
当!。静,电安全电压大于【±100V时—该,防静:电工作区的地面【电阻值?小于109Ω—其适用?。。场所如?下
:
》 1 】 静电敏感》精密电子仪器—的测试和《维修场所;》
》
【2 静电敏感电子!器件制造和测试场所!包括
】 《 《1,) 半导体材料】制造的拉单晶、磨】、抛、外《延等工?序;
》。
】。 2《。) ST》N液晶制造;
!
【 3) 【 ,硬盘:制造除制造区外的其!他区;
《
《
,。 ? 4) 】 等:离子电视(》PDP)的支持区;!
?
:
: 5】) 锂电池制造】晾干工艺和其—他地区;
】
》 》6) 彩色显【像管制造锥石墨涂覆!、阴罩装配等工【序;
》
:
? 《 7?) 印制》版,的照相、制》版干膜工序;
【
】 》8) 光导—纤维的预制棒、拉丝!工序;
《
! : , 9) 》。磁,头生产的清洗区【;
》
— 10—) 片式陶瓷【电容、片式》电阻:等制造丝印、流延】工,序;:
,
?
: , 1】1): 声表面波器【件制造;光》刻、显影、镀膜、清!洗、:划,。片,、封帽工序》
【 3 —除上述范围以外的】电子器?件和整机的组装【调试场所;》
?。
【4 存在外部电】磁干扰必须对环境中!电子设备和设施提供!最基本防静》电保护的场所
【
5.【3.2 本条【对计:算机:房及各类《通信、管制》、遥测、遥控—、,调度、?指挥中心等场所的】地面选择作出—规定这些场所因【使用环境《的需要有大量—的输入输出》信号电缆连接因【此多采用活动地板
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【 电?。性能指标比较稳定】的,活动地板有水—磨石地板、天然花岗!岩,和由基材、》防静电贴面板及导】通,件组成的复合—活动地板《等,花岗岩属火成岩含】有二氧化硅等—。成分是很好的防【静,。电面层材料编制组对!我国东北、》西北、华北、—华东、华中、华南十!几个省所产》的花:。岗岩和美国、意【大利等国进口的花岗!岩,进行过大量的调【研和电性《能测试结果表明上述!各地、各种花样的】花岗:岩的体积电》阻率都在《109Ω·cm以】下这是材料本—。身的固?有,性能
! 在设计、【施工防静《电地面或活》动地板时可局部采】用活动地板而—场所其余部分仍【采,用防静电《建筑地面这样其地】面面层?类型的选择面更【。大,一些如选择复合【防,静电瓷?板、防静电树脂类】活动地板等在—进,行,产品比选《时,应先进行样品检【测确认符合要—求后再选用
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】 不:论,采,用,何,种类型架空活—动地板其结构、强】度和电性能等—都应满足本规范的要!求
《。
?5.3.《。3 移动式地垫】是临时性防静—电地面适用于临时】。构建:的防静电工作区【满,足有防静电要求的】设备维?护、检修的》某些局部性的防【静电工作《区,移动地垫种类较多常!用的是防静》电塑胶地垫》它一般由底层(【导电橡胶)、中间】层(:布料)、面层(【防静电塑《。胶)三?层结构组成此外【还有:。防静:电织品类《、防静电非织造布】类等材质做成—的地垫?防静电移动》式,地,垫使用?时应可靠接地
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