5.3 静电敏感电气或电子元件、组件和设备
5.3.1 本条根据国际电工委员会标准《电气或电子元件、组件和设备防静电技术要求》IEC 61340-5-1-2007规定,其防静电工作区的防护等级,以静电安全电压±100V为界限值分为两级。
当静电安全电压小于或等于±100V时,该防静电工作区的地面电阻值小于107Ω,其适用场所如下:
1 微电子器件制造和测试场所,包括:
1) 芯片的氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP、光刻、检测、设备区等工序;
2) 芯片封装的划片、键合、封装等工序;
3) TFT液晶制造的阵列板(薄膜、光刻、刻蚀、剥离)、成盒(涂覆、摩擦、液晶注入、切割、磨边)、模块、彩模板(C/F)等工序。
2 电子产品生产过程中操作静电敏感器件的场所,包括:
1) 硬盘制造(HDD)区;
2) 等离子电视(PDP)核心区;
3) 彩色显像管表面处理工序;
4) 高密磁带制造;
5) 光导纤维制造;
6) 光盘制造工序;
7) 磁头生产的核心区。
当静电安全电压大于±100V时,该防静电工作区的地面电阻值小于109Ω,其适用场所如下:
1 静电敏感精密电子仪器的测试和维修场所;
2 静电敏感电子器件制造和测试场所,包括:
1) 半导体材料制造的拉单晶、磨、抛、外延等工序;
2) STN液晶制造;
3) 硬盘制造除制造区外的其他区;
4) 等离子电视(PDP)的支持区;
5) 锂电池制造:晾干工艺和其他地区;
6) 彩色显像管制造:锥石墨涂覆、阴罩装配等工序;
7) 印制版的照相、制版干膜工序;
8) 光导纤维的预制棒、拉丝工序;
9) 磁头生产的清洗区;
10) 片式陶瓷电容、片式电阻等制造:丝印、流延工序;
11) 声表面波器件制造;光刻、显影、镀膜、清洗、划片、封帽工序。
3 除上述范围以外的电子器件和整机的组装调试场所;
4 存在外部电磁干扰,必须对环境中电子设备和设施提供最基本防静电保护的场所。
5.3.2 本条对计算机房及各类通信、管制、遥测、遥控、调度、指挥中心等场所的地面选择作出规定。这些场所因使用环境的需要,有大量的输入输出信号电缆连接,因此,多采用活动地板。
电性能指标比较稳定的活动地板,有水磨石地板、天然花岗岩和由基材、防静电贴面板及导通件组成的复合活动地板等。花岗岩属火成岩,含有二氧化硅等成分,是很好的防静电面层材料。编制组对我国东北、西北、华北、华东、华中、华南十几个省所产的花岗岩和美国、意大利等国进口的花岗岩,进行过大量的调研和电性能测试,结果表明,上述各地、各种花样的花岗岩的体积电阻率都在109Ω·cm以下,这是材料本身的固有性能。
在设计、施工防静电地面或活动地板时,可局部采用活动地板,而场所其余部分仍采用防静电建筑地面,这样,其地面面层类型的选择面更大一些,如选择复合防静电瓷板、防静电树脂类活动地板等。在进行产品比选时,应先进行样品检测,确认符合要求后再选用。
不论采用何种类型架空活动地板,其结构、强度和电性能等,都应满足本规范的要求。
5.3.3 移动式地垫是临时性防静电地面,适用于临时构建的防静电工作区。满足有防静电要求的设备维护、检修的某些局部性的防静电工作区。移动地垫种类较多,常用的是防静电塑胶地垫,它一般由底层(导电橡胶)、中间层(布料)、面层(防静电塑胶)三层结构组成。此外还有防静电织品类、防静电非织造布类等材质做成的地垫。防静电移动式地垫使用时应可靠接地。