： D.3》  高效《空气过？滤，器的泄漏检测— 《 D.3.】。1 ： 高效空气》过滤：器安装后应对空气送！风口的滤芯》、，过，滤器的边框、过滤】器外框？和高效箱《体，的密封？处进：。行泄漏？检测检测宜在洁【净室处于“空—态”或“《静态”下进行 【。 D.3】.2 ？ 高效过滤器的【检漏：应使用采样速率大于！1L／m《in的光学》(离散)粒》子计数器D类—高效过滤器的—检测应？采用激光粒子计【数器或凝结核—粒子计数器 】 D.3.【3  采用粒子【计数器检漏高效【过滤器上风》侧应引入均》匀浓：度的大气尘或—含其他气溶胶—尘的空气上风侧浓】度宜为？20mg／》ms～80mg／m！3大于或等于0.5！μm尘粒《浓，度应大于或》等于3.《5×：105pc／—m3；大于或等于】0，.1μm尘粒浓度】应大于或等于3【.5×107pc／！。。m3检测D》类高效过滤器—时大：于或等于0.—。1μm？尘粒浓度应大于【或等于3《.5×？109pc》。。／m3 ！D.3.4》  高？效过：滤器的泄漏》检测宜？采用扫描法过—滤器下风侧用粒子计！数器的等动》。力采样头《。应，放，在，距离被检部位表面】20mm～3—0mm处以5mm】／s～20mm／s！的速度对过滤器【的表面、边》框、封头胶》接处进行移动—扫描检查 ！ D.3《.，5 ： 在：移动：扫描检测《过，程中应对计》数突然递增》的部位？进行：定，点检验当《检测浓度大于或等于！上游：浓度的0《.0：。1％时应《判定为存《在渗：漏， 》 D.3.6  无！菌药：厂中安装的高效过滤！器宜采用PAO【气溶胶法《进行检漏 — ： D.3》.7 ？ 安装在风管内与】空气处理《机组内的空气过滤】器泄漏的《。检测可按《本规范第D.3【。.1～D.3.6条！的规定执行泄漏率】应符合现《行国家标准洁净【室及相关受控环境】  第3部分检测方！法GB？／T 2591【5.3-20—10第C《.4节的规》定检测时应》向，远，离洁净室的过滤【器上：风侧向注入》气溶胶？然后测量风管或空气！处理：机组内过滤器后【的空气粒子浓—度计算出过滤器设】备的透？过率检测的所有点】的透过率均不应大于！过滤：。。器最易透过粒径额】定透过率《的5倍当使用光度】计时：透光率？不应大于《0.0？1％ 《