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:附录D 洁净室】(区)工程测试
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D.1 》。。 风量和风速的检测!
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D?.1.1 风速检!测仪:器宜采用热风速仪】、,三维或等效》三维超声风速仪【、叶:轮风速仪风量检测仪!器可采?用带流量《计的风量罩》、文丘里流量—计、:孔板流量计等
】。
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D.1.》2 单《向流洁净室系统的系!统总:风量:、室内截《面平均风速和风【口风:量的测试《应符合下列规定
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《 , 1 单向流!洁净室室内风—速的测试其测试平】。面应为?。垂直于?。送风:气流距离高效—。空气:过滤器出风面3【00mm处测试平面!应分成?若干面积相等的【栅格栅格数量—不应:少于被测试截—面面积(m2)【1,0,倍的平方根》数测点应取》在每个栅格的中心全!部测点不《应,少于5点
》
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》直接测量过滤器【面风速时测点—距离过?。。滤器出风面应为【150mm》测试面应划》分为:面积:相等边长不》。大,于600mm×6】00m?m的格栅测点—应取在每《个栅格?。的中心
! 每》一风:速测:点持续测试的—。有效时间不应少【于,10s?。并应记录最大值、最!小值和平均值
】
【 单向流洁》净室(区)的—总送风量应按下式计!算
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】
—式中VCP每个栅】格的平均风速—(m:/,s);
! 《 :。。 A每—个栅:格的面?积(m2)
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2 】 单向流洁》净室气流《。风速分布《的测试应《由建设方、测试【。方共:同协商确定且—宜在:空态下进《行风速?分布测?试应取工作面高【度为测试《平面平面上》划分的栅格数量不】应少于测试截面面积!(m2)10倍【的平方根数测点应】取在每个《栅格的中《心
【 《风速:分布的不均匀度【β0应按《下式计算其数值不应!大于0.25
【
《
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【。。 : ,式中v各测点—风速的平《均值;
! , — s标准—。。差
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》当,洁净室内《安装好工艺设—备和工作台》后若还需进行风速】分布:测试时其测》试,的实施要《。求、合格判断规【定等应根据》工程:项目的具体情—况由:。建设方、《测,试,方共同协商确定【
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D.1.》3 ?洁净室系统风口风量!的检测?。应符合下列》规,定
【 《1 安装有高【效过滤器风口风量】的测试应根据—风口形状采用—加接辅助风管的方法!辅助风?管应:采用镀锌钢》板或其他不产尘材】料,制成形状及内截面】应与风口相》同,长度不应《。小于:2倍风?口长边长的直管段并!应连接于风》口,外部应在辅助风管】出口求取的风口截】面平均风速和风量并!应按:附录E.2的规定】执行
! ?2 当风口—上风侧有《2倍:风管长边长度的直管!段且已有预留测孔或!可以设置测点—时风量宜采用—风管法测试并应按附!录E.2的规定【执行
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3 【 常:规风口的送风—量宜:采用带有流》量计的风《罩仪进行直接—测量测?量时风罩的开口应】全部罩住被测风口】不,应有泄漏
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— 4 》风口的上风》侧已安装有》文丘里或孔板流量】装置时可利用该流量!计直接测《量该处的风口风【。。量
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