1》1．5  工艺设备！安装 】 11．5—．2  这是为了在！安，装过程？中避免？有污染发生而在【系统已稳定运行条】件下可保证能及时】。迅速排除污染 ！ ： ，1，1．：5．5？。。  ：此条是参照I—S，0 ：14644》有关部分的精神制】。定的说明在》。安装期间《安装空间不》能有正压风而—把污染压向外界 】 11．】5．7  这是为了！避免移动时少破【坏少产尘《。 ， 11．5！．10  这是【为了防止缝隙中积】尘不好清洁 【