。 11．【5  工艺》设备安装 ！ 11．—5．2  这是为】了在安装过》程中避免《有污：染发生？而在系统已》稳定运行条》件下可保证能—及时迅速《排除污？染 《 11．—。。5．5？  此条是参—照IS0《 14644—有，关部分的精神—制，定的：说，明在安装《期间安装《空间不能有正压风而！把污染压向外—。。界 【11．5．》7  这是为了避】免，移动时少《破坏少产尘 —。 11．】5．10  这【是为了防止缝—隙中积尘不好—清洁 《