11．【5  工艺设备安】装 ！11．5．2 【 这是为了在安装】过程中避免有污【染发生而在》系统已稳定运行【条件下可《保，证能及时《迅速：排，除，污，染 《 11》．5．5  此条是！参照IS0 —14：644有《关部分的精》神制定的说明在安】装期间安《装空间不能有正压风！而把：污染压向外界— 《 ：1，1．：5．7  这是【为了避免《移动时少破坏少产尘！ 11．！5．10《  这是为了防止】缝隙中积尘》。不好清洁 》 ，