11—．5 ？ 工艺设备安装【 【 11．5．2【  这是为》了在安装过》程中避免《有污染发《生而在系统已稳定】运行条？件下：可，保证：能及：时迅速？排除污？染 11！。．5．5  此【条是参照IS0【。 14644有关】部分的精神制定【。的说明在安装—期间安装空间不【能有正压风而把污】染压向外界 【 11．【5．7  这是为】。。了避免移动时少破坏！。少产尘 ！11．5．》10  这是为了】防止缝隙中积尘不】好清洁 》