11．5 ！。 工艺设备》安，装， 1！1．5．2  这是！为了在安装过—程中避免《。有污染发生而在【系统已稳定》运行条件下可保证】能，及时迅速排除污染 ！ 11【．5．5  此【条是参照IS0 】14644有关部】分的精？神制定？的说明在安装期间安！装空间不能有正压风！而把污染压向外界 ！。 ，。。 11．【5．7 《 这是为了》避免移动时少破坏少！产尘 ？ 1—1，．5．10 —。 这是为了防止缝】隙中积尘不好—清洁 ？ ，