9．3  ！电气：设备与？装置 — ： 9？．，3．2  》洁净室墙体》上嵌装的《一，切装置包括配电盘】等均应遵守尽量不】突出墙面、不易【积灰的原则 — 9—．3．3  主【要是为了《减，少一旦检修》时对室内《的污染 】 9：．3．5 》 单向流静》压箱底面(》室内一？面)：上穿过螺栓》之类而？造成严重漏泄—并很难？补修的孔洞很多【。即使焊住也》不行螺纹处仍漏加】上螺帽打上胶都【难以封住必须时【只能：把螺杆根部焊在【底面上 》