6．—2  管材及—附件 《 6【．2．1《  除了纯》度与：干燥度的控》制外洁净室的洁净度！级别是我们控制【管道系统输》送气体？。污染物粒子量级【。的重要依据气体管道！系统供气《质量符合洁》。净室的等级要求就】能，够满足工艺气—体洁净度对粒子污染！物的控制《。要求 《 ，。 关于》管材选配原》则是这样考虑的 】 》1 ： 管材？的透气性《要，小， —。1)对于不同材质的！管道其透气性能不】同如果？管材本身《透气性较《大而安装中不恰当地！作了选用那么无【论采：取任何处《理手段去除污染都】将无济？于事管材透》气性见表1 ！ 防止大气中氧的！渗透和腐蚀》。。不锈钢管和铜管【。最佳对700—mm长管路中水分的！测定见表《2 ： ！ ？ 2)气体！。中，的水分主要来自【管路系？统而管路系统中的水！分在很大程度上【受周边环境湿度的】影响渗透《对，管路内的气质有很大！破坏力普通铜管内】表面：对杂质尤其》对水分的活》性很高？因此：当使用这类管—材，时，。切忌用溶剂或化学】药品清洗而应—当用纯净气体吹【扫 ？ ？ 3)由《于，管道安装的环境可能！。在室外即使》在室内环境空—气也有？。一定的湿《度对铜管也有一定的！影响所以使》用铜管时对》。铜管的吹扫时间应当！延长一般为》不锈钢管的8～【20倍否《则难以达到应有的】效果 》 ： 4)不锈钢管材】的活：性比铜管差》所以：对要求较高的高【纯、洁净气体来【。说不锈钢管是一种】较为理？。想的管材《对于在1《～5级洁《。净室内采用》316L不锈—钢管(对应国产品】牌00C《r17Ni1—4Mo？2) 《 ：。 5)对》于6～9级管路【系统视要求的高【低可以采用3—16：或者304》不锈：钢管(？对应国产品牌分【别，。为0Cr1》7N：i12Mo2—、0Cr18—Ni9？)  【 6)对氧气—管路系统应》根据使用条件—和周边？状况可采用》铜，管，。压缩空？气管道干燥度在-2！0℃与-40℃时】。采用：不，锈钢管304(【0Cr18》N，i9) ！2  管材》。。内表面吸附、解【吸气：。体的作用要小 【 在—不锈：钢熔炼？制材过程《中每吨？。可吸：收，大约200g的气】体 【所以不锈钢材加工完！毕不仅其表》面粘有各种污—。染物而且在其—金属晶格内也—吸留有一定量—的气体这样当管路中！有气流通过时—金属所吸《留的这？部分气体《。会重新？进入气流中污染纯净！。气体尤其当管—内，气流：为不连续流动时【这类材料的作用好】比吸：附剂通过气》流时管材对所—通过的气体形成压】力下吸附气流停止通！过时管材所吸附【的气体又形》。成降压解析而解析的！气体同样作为—杂质进入管内纯净】气体中同《时吸附、《解析周而复始使得】。管材内表《面金属也会产生一】定的粉末这种金属】粉尘粒子《同样污染《管内纯净的气体 】 3—  保持管材—内表面光《滑，、，。耐磨损 》 ： 管？。材的这一特性至关】。重要为了确保输送】的气体的纯净—。。度不：仅要求管材内表【面有极高的光滑度】。而且应当具有很高】的耐磨特性 — 这样既】防止污染《。粒子及湿气在—管壁滞留《管材本身在气流的高！速冲刷(击)—下由于磨阻损耗低】也避：免了管材的金属粉】末进：。入气流中造成—气体的污染不锈钢】管，和铜管的不同—见表3 【 【。 2)为提高内【表面的相对》粗糙度要在》。管材生？产工艺中加》以解：决如特殊拉拔(光亮！退火)？、内面电抛光—等，比起在施工》过程中？加以处理要有效和可！靠因此要使用成品专！用管一般不能在现】。场，加工、处理》使用 — 4  》具有良好的抗—腐蚀性能 》 在生【产工艺中使用腐蚀性！较强的气体时必【须选用耐腐蚀的不】锈钢管材作配管否则！管，材将会由于腐蚀而】在内表面产》生腐蚀斑严重时会出！。。。现，大片：金属锈？班剥离甚至导致【管，道，。穿孔：从而：污，染输配？的纯净气体这种场合！。不得使用普通无【。缝，钢管或镀锌》焊，接，钢管 《 ， 5  在焊接！处理时管材组织不】。发生变化 》 大—流量的？高纯、高洁净度【气体输配管》。道，的连接原《则上：全部采用焊接因此要！求采用的管材在【施焊时组织不—发生变化如果—选用钢？管则低碳《钢管材(《316L)》较为适宜《否则含？碳过高的材》料在焊接时受—焊接热影响的部位】可析出炭来从而【产生：局，部腐蚀应力造成【焊接部位的透气使得！管内外气体的相互】渗透破坏输送气体的！纯度、干燥度—和洁净度导致各项努！力，全部失？去意义？ ， 《 6．2．2  】洁净：室内的管材有—具，。使用的特殊性从进】货、验证、保—存，、下料、焊接、装配！、试压、《吹除、运《行等：工序都有着严格【的要求所有这—些内容与程序都是】管道系统质量—的技术保障措—施因：此条文？规定比较详细以【下几点应特别注意 ！。 》1  洁净管材【。十分珍？贵进货不能》像普通管材那—样随意码放不仅要保！持外观的清洁—、包：装纸：完好：。更要防止磕碰—更重要？的是保持内表面【的，粗糙度与光》滑不受破坏 】 ， 2  管—端头的？密封罩盖甚至管【外壁：的包装纸都应完【。好无：损否则便成为施【工单：位的保管《失，。职 《 3《  由于特殊拉【拔工艺生产的—内表面“光亮退火B！。A”管材及内面【“电研？。磨，抛光：的E：P”：管材加工工艺复杂价！格昂贵市场“—。内壁光滑洁》净管”效果良莠不齐！不仅与国外》的水平差距较—大国内各厂》家的产品效》果也：相差甚远必须进【行相应的粗糙度的】检测验证其》可靠性？与真：实性：确保施工起点高从】源头消除隐患确【保，。洁净：室内相应级别的【管道施工质》量因此随机抽检内】表面的粗糙度—是否与设计相符、】。是否与出厂参数相】符是洁净管》道，施工的一《。项重要的程》。序 【系统内？表面：加以：处理对？减少管材自身可能造！成的污染《十分有效目》前研磨、电抛光是管！材，。内表面处理的最佳】方式如果《在机械加工后经【电抛光则管》。路，系统内表《面，的，粗糙度会得到较大的！改善：(，见，表5)为确保输送气！体，的质量经《过管道输送不发生】变化增大了可靠性 ！ ？ 】6．2．5 — 管路？附件材质《最低应与主》管材质一致在采用】铜材的管路系统中可！以采用不锈钢—材质的？管，路附件而在采—用不锈钢材质的【管路系统中不得【采用低？于主管材的铜材质】的管路附件而且凡】是与应？用气体？接触的？管路系统《。均不得含有塑料制件！ 不锈钢！管的耐？。磨性能优于》铜管：在，气流冲？刷，下产生的金》属粉尘相对》也少对洁净》度要求高的》场合使？用不锈钢《管316《L、316、304！不，得采用铜管材— ， 》。铜管内表而对杂质尤！其对水分的》活性：很高因此《当使用这类管材时】切忌：。用溶剂或化学药【。品清洗而应》当用纯净《气体吹？扫清洗也比不锈钢材！难度大 — 而且在微电子！生产中？。个别生产工艺—如砷化镓的操作【为了：防止：产生器件电阻—。不，允许：。使用铜质《管路及？其附件？ ： 由于—管道安？装的环境《空气也有一定的湿】度对铜管也有一定的！影响所以使用铜管】时对铜管的吹扫时】。间应当延《长一般为不锈钢管】的8：～20？倍 ？