6》．2  管》材及附件 】。 ， 6．2．1】 ， ，除了纯度《与干燥度的控—。制外洁？净室的？洁净度级《别，是我们控《制，管道系统输送气体】污染物粒子》量，级，的重要依据气体管】道系统供《气质：。量，符合洁？净，。室的等级要求就能够！。。满足：工艺气体洁净—度对粒子污染物的控！制要求 《 关于管】材选配原则是—这样考虑的 — ， 《1  管材的—透气性要小》 —1)对于不同材质】的管道其透气性【能不同如果》管材本身透气性较大！而安装中不恰当【地，作，了选用？那么无论采取任何】。处，理手段去除污—。染都将无济于—事管材透气性见表1！ 防止大！气中氧的渗》透和腐蚀不锈钢管和！。铜管最佳对》700mm长—。管，路中水分的测定【见表2 《 【 — 2》)气：体中的水《分主要来自管—路系统而《管路系？统中的水分在很大】程度上受《周边：环境湿度的影—响渗透？对管路内《的气质有很大破坏力！普通铜管内表面【对杂质尤其对—水，分的：活性很高因》此当：使用这？类管：材时切忌用溶剂【或化学药品清洗【而应当用纯净—气体吹扫 》 》3)由于管道安装的！。环境可能在室外即】使在室内环境—空气也有一定的湿】度对铜管也》。有一定的影》响所以使用铜—管，时对铜管《的吹扫？时间应当延长—一般为？不锈：钢管：的8～20倍—否则难？以，达到应有《的，效果 【 4)不锈钢管材的！活性比铜管差所以】对要求较高的高纯、！洁净：气，体来说？不锈钢？管是一种较为理【想的管材对》于在1～5级洁【净，室内采用316L不！锈钢管？(对应国产品牌0】0Cr17》Ni14Mo—2) 【 5)对于6～【9级管路《系统视？。要求的高低》可以采用316【或者304不锈钢】管(对应国产品牌】分别为0Cr17】N，。。i12？Mo2、《。0Cr1《8N：。i9)  ！ 6)对氧气管【路系统应根据—使用条？件和周边状况—可，采用铜管压缩空气】管道干燥度》在-20℃与—-，40℃时采用不【。锈钢管3《04(0Cr—。18Ni9》) 《。 2  管【材内表面吸附、【解吸气？体，。的作用？要小： ： ？ 在不锈钢熔炼【制，材过：程，中每吨可《。吸收大约200【g的气体 — 所以不锈】钢，材加工？完毕不仅其表面【粘有：各，种污染物而且在其金！。属晶格内也吸留【有，一定量的气体这【样当管路中有气【流通过时《金属所吸留的这部分！气体会重新进入气】。。流中污染纯净—气体尤其《当管内气流为不【连续流动时这类材】料的作用好比吸【附剂通？过，气流时管《材对所通过的气【。体形成压《力下吸？。附气：流停止通过时管材所！吸附的气体又—。形，成降压？。解析：而解析的气》体同样作为》杂质进？。入管：内，纯净气体《中同时吸附》、解析周而复始使得！管材内表面金属也】会产：生一：。定的粉末这种金属】粉尘粒子同样—。污染管内纯净的【气，体 3】  ：保持管？材内表面《。光滑、耐磨》损 — 管材的这一—特性至关重要为了确！保输送的气体的【。纯净度不《仅要求管材内表【面有极高《。的光滑度而且应【当，具有很高的耐磨特性！ ？ 这样既防【止污染粒《子，及湿气在管壁—滞留管材本身在气流！的高速冲刷(击)】下由：于磨：阻，损耗低也避免了管材！的金属？粉末进？入气流中造成—气体：的污染不锈钢管和铜！管的不同见》表3 【 2)！。为提高内《表面的相对粗糙度】要在管材《生产工艺中加—以解：决如特殊拉拔—(光亮退《火)、内面》。电抛光等比起在【施，工过程？中加以处理要有【效和可靠因此—要使用成品专—用管一般不能在现场！加工、处理使用【 4【  具有良》好的抗腐《蚀性能 — 在生产工艺】中使用？腐蚀性较强》的气体时必须—选用耐腐蚀》的不锈钢《管材作配《管，否则管材将会由【于腐蚀而在内表面产！生腐：蚀斑严重时会出【。现大片金《属锈班剥离》甚至导？致管道穿孔从而【污染输配的纯净气】。体这种场《合不得？使用：普通无缝《钢管或镀锌焊接钢管！ —5  在焊接—处理时管材组织【不发生变化 ！ ：大流：量的高纯、高洁净】度，气体输配管》道的连接《原则上全部采—用焊接因此》要求采用的管材在施！焊时组织不发生变化！如果选用钢管则【低碳：。钢管材？(3：16L)较为适宜】否则含碳过高的材】料在焊接时》受焊接热影响的【部，位，可析出炭来从—而产生局部腐蚀应力！造成焊接部位的透】气使得管内》外气体的相互渗透破！坏输送？气体的纯度、—干燥度和洁净度导】致各项努力》。全部失去意义 ！ 6．2—．2  《洁净室内的管材有】具使用的特》。。殊性：从进货、验》证、保存、下料、】焊接、装配、试压、！吹除、运《行等工序都有着严】格，的要求所有这些【内容与程《序都是管道系统质量！的技术保障措施因此！条文规定比》。。较详细以下几点应特！别注意 》 1  洁】净管材十分珍—贵进货？不能像普通管材那样！随意码放不仅—要保持外观》的，。清洁、包装纸—完好更？要防止磕碰更重要的！是保持内表面的【粗糙度与光滑—不受破坏 》 》2  管端头的【密封罩盖甚至管【外壁的包装纸都应】完好无？损否：则便成？为，施，工，单位的保管失职【 3 】 由于特殊》拉拔工？艺生产的内表—面“：光亮退火《。。。BA”管材及—内，面“：电，研磨抛光《的EP”管材加【工工艺？复杂价格昂贵市场】“内：。壁光滑洁净管”效果！良莠不？齐，不仅与国外的水平】差距较？大国：内各厂家的产品效】果也：相差甚远必须—进行相应的粗—糙度：的检测验证其—可靠性与真》实，性确：保施工起点高从源】头消除隐患确保洁净！室内相应级别的【管道施？工质量？因此随机抽检内表面！的粗糙度是否与设】计相符、是否与【出厂参数相》符是洁净管道施工的！一项重？要的程序《 —系统内？表面加以处理—对减少管材自身可】能造成的《污染十分有效目前】。研磨：、电抛？光是管材内表—面处理的最佳方【。式如果在《机械加工《后，经电抛？光则管？路系统内表面的粗】。糙度会得到较—。大的改善(见表5】)为确保输送—气体的质量经过【管道输送不》发生变化增》大了可靠性 ！ ，。 》 6．2．—5  管路附件材质！。最低应与主管材【质一：致在采用铜材的管路！。系统中可以采用【不锈钢材质的管路】附件而在采用不【锈钢材质《的管路系统中不得采！用低于主管材的铜】材，质的：管路附件而且凡【是与应用气体接触的！管路系统均不得含有！塑料制件 【 不《锈钢管的《耐磨性能优于铜【管在气流冲刷下产】生的金属粉尘—相对也少《对洁净度要求高【的场合使用不—锈钢管316L、】316？、304不得采用铜！管材 铜！管内表而对杂质尤其！对，水分的活性很高因】。此当使用这类管材】时切忌用溶剂或化学！药品清洗而应—当用：纯净：气体吹？扫清洗也比》。不锈：钢材：难，。度大 《 而》且在微电子生产【中个别生产》。工艺如？砷化镓的操》。作为了防止产生器件！。电阻不？允许使？用铜质管《路及：其，附件 《 由于管道】安装的环境空气【也有一定《的湿度对铜管也【。有，一定的影《响所以使用铜管时】对铜：管的吹扫时间—应当延长一》般，为不锈钢管的8～2！0倍 《