6．2 】 管材及附件 ！ 6．2】．1  除了纯度与！干燥度的控制—外洁净室的洁净度级！别是我们控制管道】系统输送气体污染】物粒子量级》。的重要依据气体管道！系统供气质量符合】洁净室？的等级要求就能【够满足工艺气—体洁净？。度对粒子污》染物的控制要求 】 ？。 ，。 关：于管材选《配原则是这》样考虑的 】 1  管材的】透，。气性要小 — 1)对【于不同材《质的管？道其透气性能—不同如果管材—本身：透气性较大而安装中！不恰当地作了选用那！。么无论采取任何处】理手段去除污染都将！无济于事管材透气性！见，表1 【 防：止大气中氧的渗透】和腐蚀不锈钢管和铜！管最佳对《700m《m长：管路中水《分的：测定：见表2 》 — 】 2)气体—中的水分主》要，来，自管路系统而管路系！统中的水分在—很大程度《上受周？边环：境湿度？的影响渗透对管路内！。。的，气，质有很大破》坏力普通铜管内表】面对杂质尤》其，对水：分的活性很高因此】当使用这类》管材：时切忌用溶剂—或化学药品清洗而应！当用纯？净气体吹扫 【 3)由于】管道：安装的环《境可：能在室外即使在室】内环境空气也有一定！的湿度对铜管也【有一定的影》响所以使《用铜管时对铜管的】吹扫时间应当延长】一般为不锈钢管的】8～：20倍否《则难以达到应有的】效果 《 4)不锈】钢管材的活性比铜】管差所以对要求较】高的高纯《、洁：。净气体来说不锈钢】管是一种《较为理想的管—材对于在《1～5级《洁净室内采用316！L，不锈钢？管(对应《国产：品牌00C》r17Ni14M】o2) 》 ， 5)对于【6，～，。9级：管路系统视》要求的高低可以【采用316或—者304不锈钢管(！对应国产品牌—分别为0Cr17】Ni12Mo2【。。、0C？r18Ni9) 】。 6)对！氧气管路《系统应根据使用【条件和？。周边状况可》采用铜？管压缩空气》管道干燥度在-【20℃与《。-40℃《时采用不锈钢—管3：04(？0Cr18Ni9】) — 2  管材内【表面吸附、解—吸气体的作用—要小 【 ，在不锈钢熔炼制【材过程？中每：吨可吸收《大约200g的气体！ 》 所以不锈钢—材加工完毕不仅其表！。面粘有各种污染物而！且在其金属晶—格，内也吸留有一—定量的？气体这样当管路中】有气流通过时金属】所吸留的这部—分气体会重新—进入气流中污染【纯净气体尤》其当管内《。气流为不连续—流动：时这：类材料？的作用好《比吸附剂通过气流】时管材？对所通？过的气体形成—压，力下吸？附气流停止通过【时管材所吸附的【气体又？形，成降压解析而—解析的气体》同样作为杂质进入】管内纯净气体中同时！吸附、解析周而复】始使得管《。材内表面金属也【会产生一《定的粉末这种—。。金属粉尘粒子同样】。。污染管内纯净的气】体 ： 3—  保持管材—内表面光滑、—耐磨损 ！管，材的这一特》性，至关重要为了确【保输送的气》体的纯净度不仅【要求管？材内表面《有极高的光滑度而】且应当具有很高的】耐磨特性 — 《这样既防止污—。。染粒子及湿气在管壁！滞留管材本》身在气流的高—速冲刷(击)—下由于磨阻》损耗低也《避免了管材的金属】粉末进入气流中【造成气体《的污染不锈钢管和】铜管的不同》见表3？ 》 ： ，。 ， 2)为—提，高内表面《的相对粗糙度要在管！材生产工艺中—加以：解决：如特殊拉拔(光【亮退火)、内面【电抛光？等比起在施工—过程中加以处理【要有效？和可靠因此》要，使用成品专用管一般！不能在现场加工、处！理使用 ！4  具有良—。。好，的抗腐蚀性》能 ？ 在生产工】艺中使用腐蚀—性较强的气体时必】。须选用？耐腐蚀的不锈钢【管材：作配管否则管材【将会由于腐蚀而在】内表面产《生腐蚀斑严重时【会出现大片》金属锈班剥离—甚，至导：致管道？穿孔从？而污染输配的纯净气！体这种场合不得使】用，普，通无缝钢管或镀锌焊！。接钢管？ ？ 5《  在焊接处—理时管？材组织不《。。发生变化 》 大—。。。流量的？高纯：、高洁？净度气体输配管道的！连，接原则上全部采用焊！接因此要求采用的管！材在施焊时组织不发！生变化如果选用【钢管则低碳钢—管材：(316L)较为】适宜否则含碳—过高的？材料在焊接时—受，焊接热？影响的？部，位可析出炭来从而产！生局部腐蚀应—力造成焊接》部位的透气使—得管内外气体的相互！渗，透破坏输送气体的】纯度：、干燥度和洁净【度导致各《项努：力全部失去意义 】 》。6．：2．2  洁净室内！的，管材有具使》用的特殊性从进货】。、验：证、保存、下料、焊！接，、装配、试》压、吹除、运—行，等工序都有着严格】的要求所有这些【内，容与程？序都是管道系统质量！的技：术保：障措施因此条文规】定，比较详细《以下几点应特别注】意 》 1？  洁净管材十分】珍贵：进货不能像普—通，管材那样《随意码放不》仅要保持外观的【清洁、包装纸—完好更要防止磕【碰更重？要的是？保持内表面》的粗糙度与》光滑不受破》坏 ？ 2  管】端头的密封罩盖甚至！管外壁的《包装纸都应完好无损！。否则便成为施工单】位的保？管，失，职 ？ 《3  由于特殊拉拔！工艺生产的内—表面“光亮退火【BA”管材及内面】“电研磨抛光的【E，P”管材加》工工：艺复杂价格昂贵市场！“内壁光滑洁净【管”效果良莠—不齐不仅与国外【的水平差距较—。大国内各厂家的产品！效果也相《。差甚远？必须进行相应的【粗糙度的检测验证】其可靠性《与真实性确保施【工起点高从源头消】。除隐：患确保洁净室内相应！级别的管道施工质】量因此随机》抽检内表面》的粗糙度是》否，与设计相《符、是否与出厂参】。数相符是洁》净，管道施工的一项重要！的程序 ！系统内表面》加，以处理对减少管材自！身可：能造成的污》染十分有效》目前：研，磨、电抛光是管【材内表面处理的最佳！方，式如果？在机：械加工后经电抛【光则管？路系统内表》面的粗糙度会得到较！大的：改善(见表5)【为确保输送气体【的质量经过》管道输送不发生【变化增？。大了可靠性 — ？ — ：6．2．5  管路！附件材质最低—应与主管《材质一致在采用【铜材的管路》系，统中可以采用不【锈钢材质的管—路附件而在采用不锈！钢，材，质的管？路系统中不得采【用，低于：主管材的铜材质的】管路附件《而且：凡是：与应用？。气体：。接触的？管路系统《均不：得含有？塑料制件 】 不锈钢管的【耐磨性能优于铜管】在气流冲刷》下，产生的金属粉尘相对！也少对洁净度要求高！的，场，合使用不锈》钢管3？16L、316【、，。304不得采用【铜管材 》 铜管内表】。而对杂质《尤其对水分的活性很！高因此当《使用这类管》材时切忌用》溶剂或化学药—品清洗而《应，当用：纯，净气体吹扫清洗【也比不锈钢》材，难度大？ ： 而且在【微电子生产中个别生！产工艺如砷化镓的】。操作为了防》止产生器件电阻不允！许使用？铜质管路及其附件】。。 ：。 《。由于管？道安装？的环境空气也有【一定：的湿：度对铜管也有一定的！影响所？以使用铜管时对铜管！的吹：扫时：间应：当，。延长一般为不锈【钢管的8～20倍】 ：