6．2【  管材及附件 】 ？ ： 6．2．1【 ， 除了纯《度与干燥度》的，控制外？洁净室的洁净度级别！是我们控制管道【系统输送气体—污染物粒《子量级？的重：要依据？气体管道《系统供？气质量符合洁净【室，的等级要求就—能够满？足，工艺气体洁净度对】粒子污染物》的控制要求 — 》关于管？材选配原则是这【样考虑的《 》 1  管材的【透气性？要小 》 ： 1)对于不同材】质，的管道？其透气性能不—同如果管材本身透】。气性较大而安装【中不恰当地作了选用！那么：无论采取《任何处理《手段去除污染都将】。无济于事管材透气性！见表1 【。 防止大气中氧】的，渗透和腐蚀不—锈，钢管和铜管》最，佳对70《0，mm长管路》中水分的测定见表】2， ？ ！ 《。 2？)气体中的水分主要！。来自管路《系，。统而管路系统—中的水分在很大程】。度上受周边环境湿】度的影？响渗透对管路内的气！质有很？。大破坏力普通铜【管内表面对》杂质尤？。其对水？分的活性很高—因此当使用》这类管材时切—忌用溶剂《或化学药品清洗【而应当用纯净—气体吹扫 — ，。。 3)由于管】道安装的《环境可能在室外即使！在室内环境空气也】有一定的《湿，度对铜管也有一定】的影响所以使用铜管！时对铜管的》吹扫时间应》当延长一般为不锈钢！管，的8：～20倍否则—难以：达，到应：。。有的效果 【 ： 4)不锈钢管材】的活性？比铜管差所以—对要求较高的高【纯、洁净《气体来说不锈钢【管是一种较》为理想？的管材对于在1【～5级洁净》室内采用316L】不锈钢管(》对应国产品牌00】C，r17？Ni14《M，o2) ！5)对于6～9级管！路系统视要求的高】低可以采用3—16或者304不】锈钢管(《对应国？产品牌分《别为0？Cr17Ni12M！o，2、0Cr1—8Ni9《)  — ， 6：)对氧气管路系【。统，应根据？。。使用条？件和周？边状况可采用—铜管压缩空气管【。。道干燥度在-—20℃与《-40℃《时采用不锈钢管30！4(0Cr18【N，i，。9) 2！  管材内表—面吸附、解吸气体的！作用要小 】 在？不锈钢？熔，炼制材过程中每【吨可吸？收大约200g【的气体？ 所以】不锈钢材加工完【毕不：仅，其，表面：。。粘有各种污染物而】且在其金属晶—格内也吸《。。留有一？定量：的气体这样当管路】中有气流通过时金属！所吸留的这》部分：气体会重新进入气流！中污染？纯净气体《。尤其当？。。管内：。气流为不连续流【动时这类材料的作】用好比吸附》剂通过气流时管材对！所通过的气体形成】压力下吸《附，气流停？止通过？时管材？所吸：附的气体又形—成降压解析而—。解析：的气体同《样作为杂《质进入管内纯—净气体中同时吸附、！解析周而复》始，使得管材内》表面：金属：也，会产生一定的粉末】这种金属粉尘粒子同！样污染？管内纯净的气体【 3  ！。。。。保持管？材内表面光滑、耐磨！。损 》 ， 管材的这》一，特性至关重要为了】确保输送的》气体的纯净度—不仅：要求管材内》表面：有极：高的：光滑度而且应—当具有很高的耐磨特！性 《 ， 这样既防—止污染粒子及湿气】在，管壁滞留管材—本身在？气流的高速冲刷【。(击)下由》于磨阻损耗低也避】免了管材的》金属粉？末进：入气：流中造成气体—的污染不锈》钢管和铜管的不【同见：表3 ？ ！ 2)为》提高内？表面的？相对：。粗糙度要在》管材生产工艺中加以！解决如特殊拉—拔(光亮退》火)、内面电—抛，光，。等比起在施》工过程中加以处理要！有效和？可，靠，因此要？使用成品专用—管一般不能在现【。。场加工？、处理？使，用 ？。 4  具有！良好的抗腐蚀—性能 》 在生产工艺中！使用：。腐蚀性较强的气体】时必须选用耐腐【蚀的不？锈钢管材作配—管，。否则管材《将，会由于腐蚀》而在内表面产生腐】蚀斑严重时会—出现大片《金属锈？班剥离甚至导致【管道：穿孔：从而污染《输配的纯净》气体这种场合不得使！用普通无缝钢管【或，镀锌焊接钢》管 ： 5  在！焊接处理时管材组织！不发生变化 】 ： 大流量的高纯、高！洁净度气体输—配管道的连接原则】。上全：部采用焊接因此要】求采用的管材在施焊！时组织不发生—变，化如果选用钢管则低！碳钢管材《(316L)较为适！宜否：则含：碳过高的材》料在焊接《时受：焊接热影响的部【位可析出炭来从而】产生局部腐蚀应【力造成焊接》部位的透气使得【管内外气体的—相互：。渗透破坏输送气体的！纯度、干燥》度和洁净度导致各】项努力？全部失去意》义 《 6．2．【2 ： 洁净室内的管材】有具使用的》特殊性从进》货、验证、保—存、下料、焊接、】装配、？试压、吹除、—运行等工《。序，都有：着严格的要求所有这！些内容与程》序都是管道系统【质量的技《术保障措施因—。。此，。条，文规定比较详—细，以下几点应特别注意！ —。1 ： 洁净？管，材十：分珍贵进货不—能像普通管》材那样随意码—放不仅要保持外【观的清洁《、包装纸完好更【。要防止磕碰更重【要的是？保持内表《面的：粗糙度？与光滑不受》破坏 — 2 《 管：端头的密《封罩：。盖，甚至：管外壁的《包装：纸都应完好无损【否，则，便成为？施工单位的》。保管失职 【。 ： 3：  由于特殊拉【拔工艺生《产的内表面“—光亮：退火BA”管材及】内面“？电研磨抛光的E【P”管材加工—工艺：复杂价格昂贵—市场“内壁光滑【洁净管”效果良莠】不齐不仅与国外的】水，平差距较《大国内各厂》家的产品《效果也相差》。甚远必？。。须，进行相？应的粗糙度的检测验！证其可靠性与—真实：性确保？施工起点《高从源头消除隐【患确保洁净室—内相应？级别的管道施工质量！因，此随机抽检内表【面，的粗糙度是否与【设计相符、是否与出！厂参数相符是—洁净管道施工的一】项重：要的程序 》 系统内表！面加以处理对减少】管材自身《可能造成的污染十】分有：效目前研磨、电抛光！是管材内表面处理的！最佳方式如果在机械！加工后经电抛—光则：管路系统内表面的粗！糙度会得到较大的改！善，(见表5)为确【保输送？气体的？质量经？过管：。道输送不《发，生变化增大》。了可靠性《 】 6．2【．5  《管路：附件材质最低应与】主管材质《一致在采用铜材的管！路，。系统中可以》。采用：不锈钢材质的管路附！件，而在采？用不锈？钢材质？的管路系《统，中不得？采用低？。于主管材的铜材质的！管路附件而且凡是与！应用气体接触的管】路系统均《不得含有塑料—制件 ？ 不锈钢】管的耐磨性能优【于铜管？在气流冲《刷下产生的金属【。。粉尘相对也》少对洁净《度要求高的场合【使，用，不锈钢？管316L、31】6、304不得采】用铜管材 — 铜管内【。表而对？杂质：尤其对水分的活性很！高因此当使用这【类，管材时切忌用—溶剂或化《学药品清洗而—。应当用纯净气体吹】扫清洗也比不锈钢】材难度大 》 《 而且？在微电子生产中个】别生产工艺》如砷化？镓的：操，作为了防止》产生器件电》阻不允许使用铜质管！路，及其附件 】 由于管道安装】的环境空气也—有一定？的湿度对铜管也有一！。定的影响所》以使：用铜：管，时对铜管的吹扫【。时间应？当延长一《。般为不锈钢管—的8～20倍— ：