， ： 6：．2  管材及附件！ — ：6．2？．1  除了—纯度与干燥度的【控制：外洁净室的洁净度级！别是我们控制管道】系统输送气体—污染物？。粒子量级的重要【依据气？体管道系统供—气质量符合洁—净室的等级要求就能！够满足？工艺气体洁净—度对粒子污染物【的，控制要求 》 关于管材！选配原则是这样考虑！的 《 1  管【材的透气性要小 】 1)【对于不？同材质的管道其透气！性能不同如果管材】本身透气性较大而】安装中不恰当地作了！选用那么无论采取】任何处理手段去【除污染？都将无济于事管材透！气性见表1 】 防止大—气中氧的渗》。透和腐蚀不锈钢【管和铜管最佳对【700mm》长管：路中水分的测定【见表：2 ？ 》。 ： — 2《)气体中的》。水分主？要来自管路系统【而管路？系统中的水分在很大！程度上受周边环境】湿度的影响渗透对】管路内的气》质有很大破》坏力普通铜管内表】面对杂质尤其对水】分的活性《很，高因此当使用这类管！材时切忌用》溶剂：或化学药品清—。洗而应当用纯净【。气体吹扫 — 《3)由于管道安装】的环境可《能在室外即使—在室内环境空—气也有一定》的湿度对《铜管：也有一？定的影响所以使【用铜：管时对铜《管的吹？扫时间应当延长一】般为不锈《钢管的8～2—0倍否则难以—达到应有的效果 ！ 4)不锈】钢管材的活性比【铜管差所以》对，要求较高的高纯、洁！净气体来说不锈【钢管是一种较为【理想的管材对—于在1？～5级洁净室内采】用3：16L？不，锈钢管(对应国产】品牌00《Cr17Ni14】Mo2) — 5》)对：于6～9级管—路系统？视要求？的高低？可以：采用：。316或者3—。04不锈钢管(【。对，应国产品牌》。分，别为0Cr17Ni！12M？o，2、：0Cr18Ni9】)  — 6)对氧气管路！。系，统应根据使用—条件和周边状况可采！用铜管压缩空气管道！干燥度在-2—0℃与？-40℃时采用不锈！钢管304》(，0Cr18Ni9】) ？ 2  管材！内表面吸附》、解吸气《体的作？用要：小 在】不锈钢熔炼制材过】程，中每吨可吸收大【约200g的气体】 ： 所以不【锈钢材加工完—毕不：仅其表面粘有各种污！染物而且在其金属晶！格，内也吸留有一定【量的气？体这样当管路—中有气流通》过时金属所吸留【的这：部分：气体会重新进入【气流中？污染：纯净气体《尤其：。当管：内气流为不连续流动！时这：类材：。料的作用好比—吸附剂通《。过气流时管材对所通！过的气？。体形成压力》下，吸附：气流停止通过时管】材所吸附的气体又形！成降压？解析而解析的—气体同样作为杂【质进入？管内纯净气体中同】时吸附、解析周【而复始使得管材【内表：面金属也会产生一】定的：粉末：这种：金属粉尘粒》子同样污染管内纯净！的气体 — 3《  保持管材内表】面光滑、耐磨—损 》 管？材的这一《特性至关《重要：为了确？保输送的气》。体的纯净度不仅【。要求管材内表—。面有极高的》。光滑度？而且应当具有很高】。的耐磨特性》 这【样既防止污染粒子及！湿，气在管壁《滞，。留管材？本身在气流的高速】冲刷(？击)：下由于磨《。阻损耗低也避免【了管材的金属—粉末进入气流中【造成气体《的污染不锈钢—管和铜管的》不同见表《3 】 《 2)？为提高内表面的相】对粗糙度要在管【材生产工艺中加以解！决如特殊拉拔(【光亮退火)》、内面电抛光等【比起在施工过—程中：加以处理要有效和可！靠因此要使用—成品专用管一般不能！。在现场加工、—处理使用 】 4 《。 ，具有良好《。的抗腐？蚀性能 ！在生产？工艺中使用腐—蚀性较强的气体【时必：。须选：用，耐腐蚀？的不锈钢管材作【配管否则《管，材，将会由？于，腐蚀而在《内表面产《生腐蚀斑《严重时会《出现大片金属—锈班：。剥离：甚至导致管道穿【。孔从而污染输配【的纯净气体这种场合！不得使用普通无缝】钢管或镀锌焊接钢管！ —5  在《焊接处理时管材组织！不发生变化 】 ， 大？流量的高《纯，、高：洁净度气《体输配管道》的连接原则》上全部采《用焊接因此要求采】用，的管：材在施焊时组织【不发生变化如果选用！钢管则？低碳钢管材(3【。16L)较》为适宜否则含—碳过高的材料在焊接！时受焊接《热，影响的部位可析出炭！。来从而产生局部腐】蚀应力造成焊接【部位的透气》使，得管内？外，气体的相互渗透【破坏输？送气体的《纯度、？干燥度和洁净度导致！各项努力全部失去意！义 — 6：．2：。．2  洁净室内的！。管材有具使用的【特殊：性，从进货、验》证、保？存、下料、焊接、】装配、试压》、，吹除、运行等工序】。都有着严格的要求】所有这些内容与程序！都是管？道系统质量的技术保！障措施因《此条文规《定比较？详细以下《几点应特别注意 】 ？ ， 1 ？ ，洁净管材十分珍贵】进货不能像普通【管材那样《随意码放不仅要保持！外观的？。清洁、包装纸完好】更要：防止磕碰更》。重要的？是保持内《表面的粗糙度与【光滑不受破坏 ！ ： 2 ？ 管端头的密封【罩盖甚至管》外壁：的包：装纸都应完好—无损否则便》成为施工《单位的保管失职 ！。 《3 ： 由于特殊拉拔工艺！生产的内表面“【光，亮退火BA》”管材及内面“电研！磨抛光？。的E：P”管材加工工【艺复杂价格昂贵市】场“内壁光滑洁净】管”：。。效果良莠不齐不【仅与：国外的水平差距较大！。国内各厂《家的产品效果也【相差甚远《。必，须，进行相应的粗糙度】的检测验证其可靠】。性与真实《性确保？施工：起点高从源》头消除隐患确保洁净！室内相应级别的管道！施工质量因此随机】抽检内表面的粗糙】度是否与《设计相？符、是否《与出厂？。参数相符是洁—净管道施工的—一项重要《的程序 》 系统内表】面加以？处理：对减：少管材自身可能造】成的：污染十分有》效目前研磨、电抛光！是管材内表》面处理的最佳方【式如果在机械加【工后经电抛光则管路！系统内表面的—。粗糙度会得到较【大，的改善？(见表5)为—确保输送气体的质量！经过管道输》送不发？生变化增大了可靠性！ ： ， ， ？ 6．2】．5  《管路附件材质—最低应与《主，管材质一致在采用】铜材的管路》系统中可以》采用不？锈钢材质《的管路附件》而在采用不锈钢材】质的管路系》。统中不得采用低【于主管材的》铜材质？的管：路，附件而且凡是与应用！气体接触的管路【系统均？不得含有塑料制【件 ： 不锈【。钢管的耐磨性能【优于铜管在气流冲刷！下产：生的金属粉尘相对】。也，。少对洁净度》要求高的《。场合：使，用不锈钢管》316L、316、！304？不，得采用铜管材 【 ： 铜管》内表而对杂》。质尤其对水分的活性！很高因此当使用【这类管材时切忌【用溶剂或化》。学药品清洗而应当用！纯净：气体吹扫清》洗也比不《锈钢材难度大 【 ？ 而且在微—电，。子生产中个》别生产？工艺如砷《化镓的操《作为了防《止产生器件电阻不】。允许使用铜》质管路及其附件【 ： ： 由于管道—安装：的环境空气也—有一定的湿度—对铜管也有一—定的影响《所以使用铜管时【对铜：管的吹扫时间应当延！长一般为不锈钢管】的8：～20倍《 ：