6．2【  管材及附件 】 ： 6．2】．1  除了纯度与！干，燥度的控制外洁净室！。的洁净度级别是我】们控：制管道系统输送气体！污染物粒子量级的重！要，依据：气体管道系统供气】。。质量符合洁净—室的等级要》求就能？够满足工艺气体洁净！度对粒子污染物【的控制要求》 《 关于管材选配原！则是这？样考虑的 — ， 1  管材】的透气性要小 【 1)对】。于不同材质的管道】其透气性能不同如】。果，管材本身《透气性？较大而安装》中不恰当《地作了？选用：那么无论采》取任：。何处理？手段去除污染都将无！济于事管材透气【性见表1 — 防止大【气中氧的渗透和腐蚀！不锈钢？管和铜管最佳对7】0，0mm？长管路中水分的测定！见表2？ 【 ！ 2)气》体中的水《分主要来自管路【系，。统而管？路系统中的水分在】很，大程：度，上受周边环境湿【度的影响渗透—对管路内的气—质，有，。很大破坏力普—通铜：管内：表面对杂《质尤其对水》分的活？性很高因此当使用这！类管材时切》忌，用溶剂或化学药【品清洗而应》当用：纯净气体吹扫 【 《。 3)由于管道【安装的环境可能【在室外？即使在室内环境空气！。也有一定的》湿，度对铜管《也有一定的影响所以！使用：铜管：时对铜管的吹扫【时间应当延》长一般为不锈钢管】的，8～：20：倍否则难以达—到，应有的效果 【 4)不【。锈钢管？材的活性《比，铜管差所《以对：。要求较？高的高纯、洁净气】体来说不锈》钢管是一《种较为理想的管材】。对于在1～5级洁净！室内采用316L】不锈：钢，管，(对应国《产品牌00》Cr17Ni1【4Mo？2)： ： 5)—对于6～《9级管路系统—视要求的高低可以采！用316《或者：304不锈》钢管(对应》国产品牌分别为【0Cr？17Ni12M【o2、？0Cr18Ni9)！  【6)对氧气》管路系？。统，。应根据使用条—件和周边状况可采】用铜管压缩空气管】道干燥度《在-20℃与-40！℃时采？。用，不锈钢管3》04(0Cr—1，8Ni9) ！ 2  管材【内，表面：吸附、解吸》。气体的作用》要，小 在】不锈钢熔炼》。制材过程中每吨可】。吸收大约200【g的：气体 《 ？ 所以？不锈钢材加》工，完毕不仅其》表面粘有各种—污染：物而且在其金—属晶格内《也吸留有一定量【的气体这样当管路中！有气流通过时金【属所吸留的这—部分气体《会，。重新进入气流中污染！纯净气体尤》其当管？内气流为不连续流动！时这：类材料的作用好【比吸：附剂通过气》流时管材对所通【过的气体形成压力】下吸附？气流停止《通过时管材》。所吸附的气体又形】成降压解析而解【析的气体同样—作为杂质进入管内】纯净气体中同—时吸附、解析周【而复始使得管材内表！面金属也《会产生一定的—粉末这？种金属粉尘》粒子同样《污染管内纯净的气】体 【。3  保持管材【内表面光滑》、耐磨？损 ？。 管材的这】一特性至关》重要为？了确保？输，送的气体的纯—。净度不仅要求管材内！表面有极《高的光滑度而—且应当？具有很高的耐磨【。特性 《 这样既防止！污染：粒，子及湿气在管壁【滞留管材本身在【气流的高《。速冲刷(击》)下由于磨阻损耗】。低也避免《了管材的金属粉末】进入气流中造成气体！的污染不锈》钢管和铜管》。的不同？见表3 ！。 》 ，2)为？提高内？表面的？相对粗糙度要—。在管材生产工—。。。艺中加以解决如特殊！拉拔(光亮退火【)、内面《电抛光？等比起在施工过程】中加以处理要有【效和可靠因此—要使用成品专用【管一般不能》在现场加工、处理使！用 4 ！ 具：有良好的抗腐—蚀性能？ 在生产！工艺中？使用腐蚀性较强【的气体时必》须选用耐《腐蚀的？不锈钢？管材作？配管否则管材将【会由于腐《蚀而：在内表面产》生腐蚀斑严重时会出！现大片金属锈班剥】离，甚至导致管道穿【孔从而污染输配【。的纯净气体》这种场合不得使用】。普通无缝钢管—或镀锌？焊接钢管 》 5—  在焊接处理【时管材？组织不发生》变化 《 ， 大流量—的高纯、高洁净度】气体输配管道的【连接原则上全部采用！焊接因？此要：求采用？的，管材在施焊》时组织不发生—变化如果选用—钢管则低碳》。。钢，管材：(316L)较为】适宜否则含碳过高】的材料在焊接—时受焊接热影响的】部位：可析出炭来从而产生！局部腐蚀应力造【成焊接部位的透【气使：得管：。内外：气体的相互渗透破坏！输送气体的纯—。度、干燥度和洁净】度导致各项努力全部！失去意义 — 6．2．】2  ？洁净室内的管材有】具使用的特殊性从进！货、验证《、保存、下料、焊】接、装？配、试压、吹—除、运行《等工序都有着严格的！要，求所有这《些内容与程序—都是管？道系统？质量的技《术保障措施因此条】文规定比较》详细以下几点应特】别注意 》 1  洁】净管材十分珍—贵，进货不能像普通管材！那样随意码放—不，仅要：保，持外：观的清洁、包装纸】完好更要防止—磕碰更重要的是保】持内表面的粗—糙度与？光，滑不受破坏 【 《2  管端头的密封！罩盖甚？至管外壁的包装【纸都应完《好无损否则便—成为施工单》位的保管失职 】 3 — 由于特殊拉拔工】艺生产的内》表面“光亮退火【BA”管材及内面】“电研磨抛》光的EP”管材【加工工艺《复杂价格昂贵市场“！内壁光？滑洁净管”效果【良莠：不齐：不仅与国外的水平差！距较：大国内？各厂家的产品—效果：也相差甚《远必须进行》相应的？粗糙：度的检测验证其可】靠性：与，真实性确保》施工起点高从源头消！除隐患确保洁净室内！相应：级，别，的管：。道施：工质量？因此随机抽检内表】面的粗糙度》是否与设计》相符：、是否与出厂—。参，数相符是洁净管道施！工的：一项重要的程—序 系统！内表面加以》处理对减《少管材自身可—能造成的污染十分有！。效目：前研：磨、电抛光是管材内！表面处理的》最佳方？式如果在机械加工后！经电：抛光则管路》系统：内表面的粗》糙度会得到较大的】改善：(见表5)为确【保输：送气体的《质，。量经过管道》输送不发《生变化增大了可【靠，性 ！ 6．2【．5  《管，路附件？材质最低应与—主管材质一致—在，。采用铜材的》管路系？统中：。可以采用不锈钢材质！。的，管路附件而在—。采用不锈钢材质的管！路系统？中不得采用低于主管！材的铜材质的管路附！件，而且：凡是与应用气体接触！的管：路系统均不得含有塑！料，制件 】不锈钢管的》耐磨性能优于铜管在！气流：冲刷：下产生的金属粉尘相！对也：少对洁净《度要求高《的场合使《。用不：锈钢管316—L、3？16：、304不得采用铜！管材 《 铜管内表而！对杂质尤其对—水分的？活性很高《。因此当？使用这类管》材时切忌《用溶剂或《化学：药品清洗而应当用纯！净气体吹扫》清洗：也，。比不锈钢材难度【大 《 ？而且在微电》子生产中个》别，。生，产工艺如砷化—镓的操作为》了防止产生器—件电：。阻不允许使用—铜质管路及其—附件 》 由于管道【安，装的环境空气也有】一定的湿度对铜管也！有一定的影》响所以使用》铜管时对铜管的【吹扫时间应当延长】一，般为不？锈钢管的8～2【0倍 《