6．2 】 管材及附件 ！ 6．2．！1  除了纯度【与干燥度的控制外洁！净室：的洁净？度，级别是我们控制管道！系统输送气体—污染物粒子》。。量级的？重要依据气》。体管道系统供气质】量符合洁净室的等级！要求就能够》满足工艺气体洁净】度对粒子污》染物的？控制要求《 关于】管材选配原则是【这样考？虑的 》 1  管材】。的透气性要小— ： ？ 1)对于不同【材质的管道其透气】。性能不？同如果？。管材本身透气—性较大而《安装中不恰当—地作了选用那么无】。。论采取任何处—理手段去《除污：。染都将无济于事管材！透气性见表1— ， 防—止大气中氧的渗透】和腐蚀不《锈，钢管和铜管》最佳对70》。0mm长管路中水分！的测定见表》2 【 《 ， ？ ？ 2：)气体？中的：水分主？要来：自管路系统而管【路系统中的水分在】很大程？度，上，受周边环境湿—度的影？响渗透？对管：路内的？气，质有很大破》坏力普通铜管内表】面对杂质《尤其对水《分的活性很高—因此当使用》这类：管材时切忌用溶【剂或化学《药品清洗而应当【用纯：。净，气体吹扫 【 ： 3)由于管道【安装的环境可—能在室外即使在【室内环？境，。空气也有一定—的湿度对铜管也【有一定的影响所以使！用铜：管时对？铜管的吹扫时间【应当延？长一般为《不，锈，钢管的8～20【倍否则难以达—到应有？的，效果 — 4)不锈钢【管材的活性比铜管】差所以对要求较【高的高纯、洁净【。气体来说《不锈钢管是一种较】为理想的《管材对于《在1～5级洁净室】内采：用316《L不锈钢管(对应】国产品牌00Cr1！7Ni14M—o2) — 5)对于6】～，。9级管路系统视要】求，的高低可《以采：用31？6或者304不【锈钢管(对应国产】品牌分？别为0？Cr17Ni—12Mo《2、0？Cr18Ni9【)  》 6)对—。氧气管路系统应根】据使用条件和周边状！况可采用铜管—。压缩空气管道—干燥度在-20【℃与：-40℃《时采用不《锈，钢管：304(《0Cr1《8Ni9)》 》 2  管材内表面！吸附、解《吸气体？的作用？要小 《 ： 在不锈钢—熔炼制材《过程中每吨可吸收大！约，2，00g的气》体 所】。以不锈钢《材加工完《毕不仅其表面粘有各！种污：染物而且在其金属】晶格内也吸留有【一定量的气体—这，样，当管路中《有，气流通过时金属所】。吸留的这部分气【体，会重新进入》气流中？污染纯净气体尤其】当管内气流为不【。连续流动时》这类材料的作用好比！吸附剂？通过：气，流时管材对所通过】的气：体形成压力》下吸附气流停止【通过时管材所吸附】的气体又《形成：降压解？析而解？。析的气体同样—作为杂？质进：入管内纯净》气体中同时吸附【、解析周而复始使】得管材内表面金【属也会？产生一定的粉末这】种，金属粉尘粒》子，同样污染管内纯净】的气：体 《 3  保持】管材内？表面光滑、耐磨【损 管】材的这一《特性至关《重，要为了确保输送【的，。气体的纯净》度，不仅要？求管：。材内表面有极高的】光滑度而且》应当具有很高—的耐磨特性 【 这》样，既，防止：污染粒子及湿气在管！壁滞：留管材本身在气流】的高速冲刷(—击)下由《。于磨阻损耗》低也避免了管—材的金？属粉末？进入气？。流，中造成气《体的污染不》锈钢管和铜管的不同！见表3 》 》 2—)，为提高内表》面的：相对粗糙度要在【管材生？。产工艺中加以解决】如特殊？。拉拔(光《亮，退火)、内面—电抛：光等比起在施—。工过程中加以处【理要有效和》可靠因此要使—用成品专用管一般】不能在现场加—工、处理使用— 》 4 ？ ，具有良好的抗腐【。蚀，性能 】在生产工《。艺中使用腐蚀性【较，。强的气体《。时必须选用耐腐【蚀的不锈钢管材【作配管否《则管材将《会由于腐蚀》而在内表面产—生腐蚀斑严重时【会出现大片》金属：锈，班剥离甚至导—致，管道穿？。孔从而污染输—配的纯净气体这种场！合不：得使用普通无缝【钢管或镀锌焊接钢】管 5 ！ 在焊接处》理，。时管材组织不发生变！化 ？ 大流量的】。高纯、高洁净度气】体输配管道的连接原！则上全部采用焊【。接因此要求采—用的管材在施焊【时组织不发生—变化如？。。果选：用钢管？。则低碳钢管材(31！。6，L)较为适宜否则含！碳，过高的材料在焊接时！受焊接热影响的部】位可析出炭来从【而产生局部腐蚀【。应力造成焊》接部位的《透，气使得管内》外气体的《相互渗透破坏—输送气体的纯—度、干燥度》和，洁净度导致各—项努力全部》失去意义 】 6．2》．2  洁》净，室内的管材有具使用！的特殊？性从进货、验—证、保存、下料【、焊接、装》配、试压、吹除、】。运行等工《序都有着严格的要】求所有这些内容与程！序都是管《道系统质量的技术保！障，措施因此条文规定】比较详细《。以下：。几点应特别注意 】 ， 1 — 洁净管《材十：分，珍贵进货不能像【普通管材《那样随意码》。放不仅要保持—外观的清《洁，、包装纸完》好更要防止磕—碰更重要的是保持】内，表面的粗糙》度，与光滑不受破坏 ！ ： ：2  管《。端头的？密封罩盖甚》。至管外壁的包—装纸都应《完好无损否则—便成为施工单位【的保管失职》 ？ 3  由【于特殊拉拔工—艺生产？的内表面“》光亮退火《。BA”管材》。及，内面：“电研磨抛光的EP！”管材加工工艺【复杂价？格昂贵市场“内壁】光滑洁净管”效果良！莠不齐？不仅与？国外的水平差—距较大国内各厂家】的产品效果也相差甚！远必：须进行相应的粗糙】度的检测验证—其可靠性与真实【性确保施工起—点，高从源头消除隐【患，。确保洁净室内相应级！别的管道施工质量】因此随？。机，抽检内？表面的粗糙度是否】与设计？相符：、是否与出厂—参数相符是》洁净管道施工—的一项重要的程序 ！。 系统内表！面加以处理》对减：少管材自身可能造成！的污染十分有效【目，前研磨？、，。电抛光是管材内表】面处理的最佳—。方式如果在机械加工！后经电抛光则管路系！统内表面的粗—糙度会得到较大的改！善(见？表5)？为确保？。输，送气体？的质量经过》管道输送不发—生变：化增大了《。可靠性 ！。 6．2！．5 ？ 管路？附件材？质最低应与主管【材质一致在采用【铜，材的管？路，系统中可以采用不锈！。钢材质的管路附【件而在采用不锈【钢材质的管路系统】中不得采用》低于主管《。材的铜材《质的管路附件而且】凡是与应用气体【接触的？管路系？统，均不：得含有塑料制件 】 不锈钢管！的耐磨性能》优于铜管在气流冲刷！下产生的金》属粉尘相对也少【对洁：。净度要？求，。高的场合使》用不：锈钢管316—L，、3：16、3《04不得采》用，铜管材？ ？ ： 铜管内《表而对杂质》。尤，其，。对，水分：的活性很高因—此当使用这》类，。管材时切《忌用溶剂或化学药】品，清，洗而应当用纯净【气体吹扫《清洗也比不锈钢【。材难度？大 》 而且在微电【子生产中个别生产工！艺，如砷化？镓的：操作为了防》止产：生器件电阻不允许】使，用铜质管路及其附】件 由于！管道安装的环—境空气也有》。一定的湿度对铜管也！有一定？的影响所以》使用：铜管时对铜管的吹】扫，时间应当延》长一般为《不锈钢管《的8：～2：0倍 ？ ，