6．—2  管材及附件 ！ ： 6—．2．1  除了】纯度与干燥》度的控制外洁净室】的洁净度级别是我们！控，制管道系统输—送，气体污染《物粒子量级》的，重要依据气体管【道，系统供？气质量符合洁净室的！等级：要求就能够满—足工艺？气体洁净度对—。粒子污染物》的控制？要，求 关】于管材选《配原则是这样—考虑的 》 1 —。 管材的透气性要小！ 》 1)？对于不同材质—的管道其透气性能】不同如果管材本身透！气性较大而安装中】不恰当地《作了：选用那么无论采取】。任何处理手段—去，除污：。染，都将无济于事管材透！气性见表1》 防【止，大气中氧的渗透【和，腐蚀不锈钢管和铜管！。最佳对700mm长！管路中水分的—测定：见表2 — — 《 ？ 2)气体—中的水分主要来自管！路，系统而管路》系统中的水分在很大！程度上受周边环【境，湿度：的影响？。渗透对管路内的【气质有？很大破坏力》普通铜管内表—面对杂？质尤其？。对，水分的活性很高【因此当使《。用这类管材时切【忌用溶剂或》化学药？品清洗而应当用【纯净气体吹扫— ？ 3)由—于，管道安装的环—境，可能在室外即使在】室内环境空气也有】一定的湿《度对铜？管也有一定的影【。响所以使用铜—。管时对？铜管的吹扫时间【应当：延长一？。。般为不锈钢管的8】～20？倍否则？难以达到应有—的效果？ ， 》4)不锈钢管材的】活性比铜管差所以对！要求较？高的高纯、洁净气】体来说不《锈钢管是一种较【为理想的管材对于】在1～？5级洁净《室内采用3》。16L不锈钢管【(对应国产品牌0】0Cr17Ni1】4Mo2)》 ， ： 5)对—于6～？9级管路《。系统视？要求的高低可—以采用316或者】304？不锈钢管《(对应？国产品牌分别为0C！r1：7Ni12Mo2、！0Cr18Ni9)！  6】)对氧气《管路系统应根—。据使用条件和周边】状，况可采用《铜管压？缩空：气管道干燥度在-】20℃与-4—0℃时采用不锈钢管！30：4，(0Cr18—Ni：9，) ？ ： ，。 2  管材内表面！吸附、解吸气体【的作用要《小 《 ？在不锈钢熔》炼制材过程》中每吨可吸收大约2！00g的《气体 所！以，不锈钢材《加工完毕不》仅其：表面：粘有：各种污染物而且在】其金属晶格内—。也吸留有一定量的】气体：这，样当管路中》有气流通《过时金属《所吸留的《这部分气体会—重新进入气流中【污染：纯，净气体尤其》当管内气流为不连续！流动时这类材料的】作用好比吸附剂通过！气流时管材对所通过！的气体形成压—力，下吸附气流》停止通过时》管材所吸附的—气体又形成降压解析！而解析？的气体同样作为【杂质进入管内纯净气！体中同时吸》附、解析《周而复始使得管【材内表面金属也会产！生一定？的粉末这种金属粉尘！粒子同？样污染管内纯—净的：气体 ？ 3 【 保持管材内表【面光：。。滑、耐磨损 】 管材的这一】特性至关重要为【了确保输送的气【体的纯？净度不？仅，要求管材内表—面有极高的》光滑：度而且应当》具，有很：高，的耐磨？特性 】这样既防止污染粒子！及湿气在《管壁滞留管材—本身在气流的高速】冲刷(击)下由于磨！阻损耗低也避免【了管材的金属—粉末进？入气：流中造成气体的【污染不锈钢管和铜管！的不同见表3 【 》 ： ： 2)《。为提高内表》面的相对粗糙—度要在管材生产【工，艺中加以解》决如特？殊拉拔(光》亮退火？)、内面电抛光等】比，起在施工过程中【加以处理要有效和】可靠因此要使用成】。品专用管《一般不能在现场加】工、处理《使用 【 4：  具有良》好，。的，抗腐：蚀性能 《 》在生产工艺》中使用？腐蚀性较《强，的气体？。。。时必须选用耐腐【蚀的不锈钢》管材作配管否—则管材将会由—于腐蚀？。。而在内表面》产，生腐蚀斑严重—时会出现大片金属】锈班剥离甚》至导致？管道穿孔从而—污染输配《的纯净气体这种场】。合不得使《用普通无缝钢管或镀！锌焊接钢管 ！ 5  在焊接处！理时管材《组织不发《生变化 》 大流量【。的高纯、高洁净【度，气体输配管道的连】接原则上全部采【用焊接因此要求【采用的管材在施【焊时组织不发生【变化如果选用钢管】则低碳？钢管材(316L)！较为：适宜否则含碳过高】的材料？在焊：接时受焊接》热影响的部位—可析出炭来从而产生！局部腐蚀应》力造成？焊接部位的透气使】得管：内外气体的相互渗透！破坏输送气体的纯度！、干燥度和洁—。净度导致各项努力全！。部，失，去意义？ ， ， 6．2．】2  ？洁净：室内的管材有具使】用的特殊性从进【货、验？证、保存、下料、】焊，接、装配、试压、】吹除、运《行等工？序都有着严》格的要求所有—这些：。内容与程序都是【管道系？统质量？的技术保《障措施因此条文规】定，比较详细以下几点应！特别注意 】 1  洁净管】材十：分珍：贵进货不能像—普通管材那样随【意码放不仅要—保持外观的》清洁、包装纸完【好更要防止磕碰更重！要的是保持内表【。面的粗糙度与光滑不！。受破坏 ！2  管端头—的密封罩盖甚至管外！壁的包装纸都—应完好无损否—则，。便成为施工单位【的保管失职》 ？ 3  由于特！殊拉拔工艺生产【的内表面“光亮退火！BA”？管材及内面“电【研磨抛光的EP”】管材加工工艺复杂】价格：昂贵市场“内壁光滑！洁净管”效果良莠不！齐不仅与国》外的水平《差距较大国》内各厂家《的产品效果也—相，差甚远必《须进：行相应的粗糙度【的检测验《证其可靠性与真【实性确保施》工起点？高从源头消除隐患确！保洁净室内相应【级别的管道施工【质量因？此随机抽检内表面】的，粗糙度是否与设计相！符、是否与出厂参数！相，符是洁？净管道施工的一项重！要的：程序 系！统内表面加以处理】对减：少管材自身可能【造成的污染十分有效！。目前研磨、》电，。抛光是管《材内表面处》理，的最佳方《式如果在机械加工后！经电抛光则》管路系统内表—面的粗糙度会得【到较大的改善(见表！5，)为确保输》送气体的《质量经过《管道输送不发生变化！增大了可靠性—。 《。。。。 《。 6．—2．：5  管路附件【材质最？低，应与主管材》质一致在采用铜材】的管路？系统：中可以采《用不：锈钢材质的》管路：附件而在采用—不锈钢材质的管路系！统中不得采用低于主！管材的铜材质—的管：路，附，件而：且凡是？与应用气体接触的】管路系统《均不得含有塑料制】件 — 不锈钢管的—耐磨性能优》。于铜管在《气，。。流冲刷下《产生的金《属，粉，尘，相对也少《对洁：净，度要求高的场合【使用不？锈钢管316L、3！1，6、30《4不得？采用铜管《材 《 ， 铜管《内表而对杂质尤【其对水分的活性很】高因此？当使用这类管材时】切忌用？溶剂或化《学药品？清洗而应《当用纯净气》体吹扫清洗也比不】锈钢材？难度大？ 而【且在微？电子：生产中个《别生产工艺如砷化】镓，的操作为了防止产】生器件电阻不允【许使用铜《质管路及其附件【 由于管！道安装的环境空气也！有一定的《湿度对铜管也有一定！的影响所以使用铜】管时：对铜管的《吹扫时？间，。应当延长一般为不锈！。钢管的？8，～20倍 —