6》．2  管材—及附：件 】 6．2．1  除！了纯度与干燥度的】控制外？洁净室的洁净度【级别是我们控制管】道系统输送气体污染！物粒子量级的—。重要依据气体—管道系统供气—质量符合洁》。净室的等级要求【就能够？满，足工艺气体洁净【度对粒？子，污染物的控制要求】 关【于管材选《配原则是这样—考虑的 》 1  管】材的透？气性要小 》 ： ， 1)对于—不同材？质，的管道其透气性【。能不同？如果管材本》身，透气性较大而安装】中不恰当地》。作了选？。用那么无论》采取：。任何处？理手段？去除污染《都将无济于事管材透！气性：见表1 【 防？止大气？中氧的渗透和腐蚀】不锈钢管和》铜管最？佳对：700？mm长管《路中水分《的测：定见表2 【 》 ？ ： 《 2)气体中的【水分主要来自管路系！统而管？路系统中的水分【。在很大程度上受周边！环境湿度的影响渗】透，对管路内的》气质有很大破坏【力普通铜管内表面对！杂质尤其《对水分的活》性很高因此》当使用这类管材时切！忌，用溶：剂或化学药品清洗】而应当用纯净气体吹！。扫 【3)由于管道安装的！环境可能在》。室外即？使在室内环境空【气也有一《。定的湿度对铜管【也有一定的》影响所以《使，用铜管时对铜管的吹！扫时间应当》延长一般为》不锈钢？管，的8：～2：0倍否则难以达到】应有的效《果 ： ？ 4)不锈钢管】材的活性《比铜管差所以对要】求较高的高纯、洁】净气体来说不锈钢管！是一种较《为，理想的管《材对于在1～5【级洁净室《内，采用316L不【锈钢管(对应国产】品牌00《Cr1？7Ni1《4M：o2) 《 5)【对于6～《9级管路系统视要求！的高：低可以采用316】或者30《4不锈钢管(对应国！产品牌分别为0Cr！17Ni12—。。Mo2、0C—。r18Ni9—)  》 6)》对氧气管路系统【应根据使用》条件和周边》状况可采用铜管压缩！空气管道《干燥度在-2—0℃与-40—℃，时采用不锈钢管【304(0C—r18Ni9) 】 2  】管材内表面吸附【、解吸气体的作用要！小 【在不锈钢熔炼制【材过程中每吨可吸收！大约2？00g的气体 【 所以不】锈钢材加《工完毕不仅》其表面粘有》各种污？染物而且在其金属】晶格内也吸留有一定！量的气体这样当管】路，中有气？。流通过时《金属所吸留》的，这部：分气体会重新—进入气流中污染【纯净气体尤其当管】内气流？。为，不连续流动时这【类材料的作用好比】吸附剂通过》气，流时管材对所—通，过的：气体形成压力—下吸：附气：流停止通过时管【材所吸附的气体【又形成降压解析而】解析的气体同样【作，为杂：质进入管内纯净气体！中同：。时吸附、《解析周而复始使【得管材内表》面金属也会产生【一定的粉末这—种金：属粉尘？粒子同样污染—管内纯净《的气：。体 3】  保持管材—内表面？光滑、耐磨》。损 — 管材的这一特性至！关重要？为了确保输送的【气体的纯净度不【仅要求管材内表【面，有极高的光滑度而】。且应：当具有很高的—耐磨特性 — 《这，样既防止《污染粒子及湿气【在管壁滞留管—材本：身在气流的》高速冲？刷(：。击)下由于磨阻损】耗低也避免了管材的！金属粉？末进入气《流中造成气体的【污染不？锈钢：管和铜管《的，不同见表《3 ： — 》2)：为提高内表面—的相对粗《糙度要？在管材生产工艺【中加以解决》如特殊拉拔(—光亮退火)、—内面电抛《光等比起在》施工过程中加—以处：理要：有效和可靠因此要】使用：成品：专用管？一般不能在现场【加，工、处理使用 【 》。4  具《有良好？的抗：腐蚀性能 ！ 在生产工艺中使】用腐蚀性较强—的气体时必须—选，用耐：腐蚀的？不锈钢管材作配【管否则管材将—会，由，于，腐蚀而在内表面产生！腐蚀斑严重时会出】现大片金属锈班剥】离甚至导致管—道穿孔从《而污染输《配的纯？净气体这种场—合不：得使用普《通无缝钢《管或镀锌焊接钢管 ！ ， 5  【在焊接处理时—。管材组织不发生变化！。 ： ，。 ， 大流量的高【纯、高洁净度气【。体输配管道的连接原！则上：全部采？用焊接？因此要求《采用的管材在—施焊时组织不发【生，。变化如果《选用钢管则低碳钢管！材(3？。。16L)较》。为适宜否则含碳【过高的材料在焊接时！受焊接热《影响的？部位可析出炭—来从而产生》局部腐蚀《应力造成焊》接部：位的透气使得管【内外气体的相—互渗透破坏输送气】。。体的纯度、干燥【。度，和洁净度导致—各项努力全》部失：。去意义？ 6．】2．2  洁净室】内的管材有具使【用的特殊性从进货】、，验证、？保存、下料、焊【接、装配、试压【、吹除、运行等工】序都有着严格的要求！所有这些内容—。与程序？都，是管：道系统质《量的技？术保障？措施因此条文规定】比较详细以下几【。点应特别注意—。 1 】 ，洁净管材十分珍贵进！货不能像普通—管材那样随意码放】不仅：要保持外《观的清洁《、包装？。纸完好更《要，防止磕碰更重—要的是保持》内表面的粗糙度与】光滑不受《。破坏 】2  管端》头的密封罩盖甚至管！外壁的包装纸—都应：完好无损否则便成为！施工单位的保管【失职 — 3  由于【特殊拉拔工艺—生产的？内，表面“光《亮退：火B：A，”管材及内面“【电研磨抛光的EP】”管材加工工艺【复，杂价格昂贵市—场“内壁光滑洁净】管”效果良》莠不齐不《仅与国外的》水平：差距较大国内各厂家！的产品效果也相差甚！。远必须进行相—应的粗糙度的检测】验证其可《靠性与真实性确保施！工起点高从源头【消除隐患确保洁净】室内相应级》别的管道施工质【量因此随《机抽检内表面—的，粗糙：。。度是否与设》计，相符、？是否与出厂参数相符！是洁净管道施工【的，一项重要的程序 ！ 系统内表】面加以处理对减【少，管材：自身可能《。造成的污染十分有效！目前研磨、》电，抛光是管材内表面处！理的最佳方式如果在！机械加工后经电【抛光则管路》系，统内表面的粗糙度】会得到较大的改善】(，见表5)为确—保输送气《体的质量经过管【道输送不《发生变？化增：大了可靠性》 】 6．—2．5  管路【附件材质最低应与主！管材：质一：致在采？用铜：材的管路系统中【可，以采用不锈钢材【质，的管路？附件而在采用—不锈钢？材质的管路系统【中不得采用》低于：主管材？的铜材质的管—路附：件而且凡《是与应用气》体接触的管路系统均！不得含有塑料—制件 ？ ， ： 不？锈钢管？的耐磨性能》优于铜管在》气流冲刷《下产生的金属—粉尘相对《也少对洁净度要【求高的？场合使用不锈钢管3！16：L、316、304！不得采用铜管—材 【铜管内表而对杂质尤！其对水分《的活性很《高因此当使用这【类管材时切》忌用溶剂《或化学？药品清洗而应—当，用，。纯净气体吹》扫清洗？也比不？锈，钢材难度大 】 ？而且在微电子生产中！。。个别生产工艺如砷】化镓的操《作为了防止》产生：器件电阻不允—许使用铜质管路【及其：附件 》 由《于管道安装》的环境空气也有一定！的湿度对《。铜管也有《一定的影《。响所以使用》铜管时对铜管的吹扫！时间应当延长一【般为不锈钢管—的8～20倍 】