5》。．6  送风末端装！置，的安装 》 》 5．6．1  为！了保护送风》末端：特别：是，安装：有亚高效《或高效？过滤器的送风—末端而制定本—条 》 ， 5．6．2—  为了《保护系统中部件【不致被污染而难于清！理制定本条 】 5《．6．？5  高效》过滤器是洁净室【的最关键的》设备：。是保：证洁净室的最后【一道措施一些小【厂根：。本无检？漏手段甚至连效率也！不能测加上加—。工中：偷工减料使过滤器】实际性能离开该类】型，产品规格性能甚远有！的厂就在《铭牌上写上类—型的：规格数据而根本没有！检测过这对我—国洁净室质量—将造成最严重—最本：质的影响因此—应执行？本条：规定 — ：5．6．6》  实践中有这【。样的例子风口尺【寸比过？滤器：外，框尺寸大无法安装临！时补风？口这显然《是，不允：许的：也有的风口尺—寸仅比过滤器外框尺！。寸大一点《很难压严压》紧因此作了本条规定！ 5．】6．7  用于过滤！。器有害生物气溶【胶或：用于比5级洁净【度更高的特殊场合的！带高效的送风—末端装置《例如用循环风的隔离！病，房和对0《。．1μm《微，粒有控制《要求的特别高级的】。洁净室送《风不能有《漏否则对人》或产品有严重危害必！须确保零泄漏为此非！。零泄：漏，边框的必须对—过滤边？框与过滤器芯面全部！扫描检漏为不漏【是，零泄：漏边框的必须扫【描检：漏过滤器芯面为不】漏 ： 《。 5．6．10【。  以？为将密封条压—到底是最紧的认【识是不对的合理的压！紧，程度以压缩1／3为！好， ：