E．—4 ： 微粒计数浓度的】检测 》 ？ ， E．4．》1，  室内检测—人员应？控，制在：最低数？量不：宜超过2人面积超】过100m2又需】快速完成测定任务时！可适当增加人—数人员必须穿洁【净服应？位于测点下风侧并远！离测点动作要轻保】持静止 》 ： E．《4．2  0．1μ！m至5μm》微粒：的检测应符》。合以：下要求？ —1，  当采用光学粒】。子计：数，器(OPC)测【定0．？1，μm至5m》的微：。粒计：。数浓度时应按本规】范第16．4．5】条第1款给出的【公式计算《空气：洁净度级别》粒子计数《。器粒径分辨率应小】于等于10％粒径】设定值的浓度—允许误差应》。为±2？0％并应按》所测：粒径进行标》定符合现行》国，家标准尘埃粒子【计数器性能试—验，方法GB《／T6167的规】定 》 2  测点数】可按式(E．4．】21)？求出： 《 》 3 》 每一受控环境的采！样点不宜《少，于3点对于洁净【度5级及优》于，5级以上的洁净室】应适当增加采—样点并得到用户(建！设方)同意》并记：。录在案？ —。4  ？采样点应均匀分布】于洁净室或洁净区的！整个面积内并位于工！作区高度(取—距地0．8m或根】据工艺协商》确定)？当工作区分布—于不同高《度时可以有1个以】上测定面 】 乱？流洁净室(区—。)内采样点不得布】置在送风《口正：下，方 》 5  》如建：设方要求增加采样】点应对其数目—和位置协《商确定 【 6 《 每一测点上每【。次的采样必须满足最！小采样量《最小采样量》根据“非零检测原则！”由下式求出 【 《 》 ： 《 7  每点采】样次数应满足可【连续记录《。下3次稳《定的相？近数值3次平均【值代：表该点数《。值 8 ！ 当怀疑现场—计算出的检测结果】可能超标时可增【加测：。点数 《 ， 9  测单向！流时：采样头应对》准气流；测非单向流！时采样？头一律向上 】 ： 10  当要【。求0．？1μm～5μm微粒！在采样管中的—扩散：沉积损失《和沉降、碰撞—沉积损失小于采样浓！度的5％《时水平？采，样管长度也》应符合附录D．【3．6条《的规定 ！11：  ：若采样口《流速与室内气流速】度不相等《。其比例应在0—．3：1～71之间 】 ？ 12？  当因测》。定差错或微粒浓度异！常低下(空气极为洁！净)造？成单个非随机—的异常值并影响计】算结果时允许将【该异常？值删除？但在原？始记录中应注明 】 每一【测定空间《。只许删除一次测定值！并且保？留的测定值不少于】3个 1！3  对于需要很大！采样量？、耗时很大》的某：粒径微？粒的检测可采—用顺序采样法即将每！次测定结果标注于图！E．4．2上当标】注点落入不合—格区时？。。即停：止检测结果为不达】标；当标注点落入合！格区时停止检—。测结果为《。达标；当标》注点一直在继续【。区，中延伸而总采—样量已达到表E．4！．22的《最小采样量累—计微粒数《仍小于2《0，即停止？检测结？果为达标；当标注点！一直在？。。继续区中延伸而【总采样量未》达到：最小采样《量但累计微粒—数已超过20即停止！检，测结果为不达标 ！ ： ： 》 E．4．3  】对小于0．》1μm的《超微粒的检测应采】用适合这类微粒具】体特性的采样装置】组合使？用可：采用凝？结核计？数器(CNC—或CPC《)加：静电：式分级器(》迁移率分《析仪)  》。(DMA)、凝【结，核计数器(CNC】或CPC)加扩散】式分级器(DB)】等但必须有明确的】性能说明《书或：有自检报告》对所测超微粒的最低！粒径的计数效率【应达到50％采样】点，数目应？与E．4．2—条对0．1μm～】5μm的要求相【同 E】．4．4  大于5！μm：的大(宏《)微粒的检》测应符合下》列，要求 【 1  用光学【粒，子，。计，。数器检测时》应遵守下列规—定 1)！粒子计数器》。应经过大微粒—。的标定符合现—行国家标准》尘埃粒子《计数器性能试—验方：法GB／《T 61《67的规《定，对洁：净室为6级或优【于6级？的洁净室《的测定应采用—不小于2《8．：3L／mi》n，的计数器对》其他级别洁净室【的，。洁净度应采用不【小于：2，．83？L／min的计数】器；： ： ， 2)当用2】8．3L／m—in：计数器时水平管【不应：长过0．《5m当用2．83】L／min计数器】时原：。则上不宜有水—平管：； 》 3)采样口面】积应按等《速采样原则确定【室内风速取平均【风速 《。 ？ 2  《用过滤？器采集、《显微镜检测时应遵守！下列规定 】 1)过》滤器为孔径应小于】等，于2μm《的滤膜当过滤器采】样口直径为2—5m：m，时真空泵采样流量不！小于7L《／，m，in 【 当过滤《。器采样口《直径为47m—m时采样流量不小于！28．3L》／，min对于非单向流！洁净室总采》样量不小于28．3！L／min对于单】向流洁净《室总采放量不—小于28《0，L／min 】 取下滤膜【将滤膜放《在，清洁的？盖玻片上(图E．4！．4)采样面—向上放进有》50℃左右丙—酮蒸汽？的烧杯？内熏蒸对《容积为？。600mL的—烧杯大？约加入？15mL丙》。酮当做过3次样片时！。再加入15mL丙】酮待滤膜透明后【取出再将《盖玻片反向固定在载！物片上(用铝箔【圈或纸圈将盖玻片与！。载物片隔开)熏后】在盖玻？。片四：周用：膜，或蜡封？住 ：。 ！ 2)计数时应】把制好的标本片【固定在显微镜(1】00倍)《工作台的适合位置】上一张？标本片上计》。数总面积不小于【0．02×4mm】2在检测中应不断调！整 — 3)测《定之前必须先测出】使用的同一批—滤膜的基《数，。密度最后的计数浓度！。由，下式得出 》 【