。 E．—4  微粒计数浓】度的检测《。 ？ ： E．4—．1  室内—检测人员应控制在】最低：数量不宜超过2【人面：。积超过？1，00m2《又，需快速完成测定任务！时可适当增加人【数人：员，必，须穿洁净服应—位于测点下风侧并远！离测点动作要轻【保持静止 ！ E．4．2  】。0．1？μm至5《μ，m，微粒的？检测应符合》以下要求 — ？ 1  当采用光】学，粒子：计数器(OP—C)测定0．—1μm至5m的微粒！计数浓度时》应按本？规范第16．—4．5条《第1款给《出的公式计算空气】洁净度级别粒子计】数器粒径分辨率应】小于等于10％粒】径设定值的浓度允许！误差应为±20％并！应按所？测粒径进行标定符合！现行国家《标准：尘埃粒子计》数器：性能试？验方法G《B／T616—7的规？定 ？。 2 — 测点数可按式(】E．4．2》1)求出 【 【 3  每—一受控环境的采样点！不宜少于3点对【。于洁净度5》级及：优于5级以上—的洁：净室：应适当？增加采样点》并得到用户(建设方！)，同意并记《录在案 》 ， ，。 4  》采样：点，应均：匀分布于洁净室或】洁净区的整个面积】内并：。位于工作区》高度：(取：。距地0．8m—或根据工艺协商确】定，。)当：工作区分布于不同】高度：时可以有1个以上测！定面 【 乱流洁净室—(区)内采样点不】得布置在送风口正下！方 ？ 5  如建！设方要求增加采【样点应对《其数目和《位置协商确定 ！ 6  每【一测点上每次的采样！必须满足《最小采样量最小采】样量根据“非零检测！原则”由下》式求出 — ？ ， 】 7  每点】采样次数《应满足可连续—记录下？3次稳定的相近数值！3，次平均值代表该【点数值 — 8  当怀】疑，现场：计算出的检测结【果可能超标时可增】加测：点数： 9  ！测单向？流，时采样头应对准气流！；测非单向流时采样！头，一律向上 【 10 — 当要求0》．1μm《～5μ？m微粒在采》样管中的扩散沉【积损失和沉降、碰撞！沉积损失小于—采样浓？度的5％时水平采】样管长度也应符【合附录D《．，3．：。6条的规《。定， ：。 11—  若？采样口流速与室【。内，气流：速度不相等其—。比，例应在0．》31～7《1之：间 —。 12  当因测】。定差错或微粒浓度异！常低下(空气—极为洁净)造—成单个非随机的异常！值并影响计算结【果，时允许将该异常【值删除？。但在原？始，记录中应注明 ！ 每一测定空间！只许删除一次测定值！并，且保留的测定值【不少于3个 —。 ， ？ 13  对于需】要很大？采样：量、：耗，时很大的某粒径微】粒的检测可》采用顺序采样法即】将每次？测定结果《标注于图E．4．】。2上当标《注点落入不合格区时！即停止检《测结果？为不达标；》当标：注点：落入合格《区时停止检》测结果？。为达标；当标注【点，一直在继续区—中，延，伸而总？采样量已达到表【E．4．2》2的最小采》样量累计微粒数仍小！于20即停》止检：测结果为达》标；当标《注点一？直在继续区中延伸】而总采样量未达到最！小采样量但累—计微粒数已超过2】。0即停止检》测结果为不》。达标 》 ！E．4．3》  对小于0．【1μ：m的超微《粒的检测应采用适】合这类微粒具—体特性的采样装【置组合使用》可采用？凝结核计《数，器(CN《C或CPC)加【静电式？分级器(《迁移率分析仪—)  (DMA)、！凝结：核，计数器(CNC或C！PC)加扩散式【分级器(DB)等】但必须有明确的性能！说明：书或有自《检报告？对所测超微粒的【最低粒径的计—数效率？应达到50》％采：样，点，数，目应与E．4—．2条对0．—1μm～《。5μm的要求相【同 ： E．【4．4  大—于5：μm的大(宏)微粒！的检：测应符？合下：列要求？ 《 1？  用光学》粒子：计数器检测时应遵守！下列规定 — ： 1)粒子—计数器应经过大微】。。粒的标定《符合现行国家标准】。尘埃：粒子计数器性能试】验方：。法GB？／T 61》67的规定对洁【净室为6级或优于】6，级的洁净室的测定】应采用不《小于28．3L／】m，。in的计数器—对其他级别洁净室的！。洁，。净度应采《用不：小于2．83L／m！in的计数器； ！ 2)当用2！8．：3L／mi》n计数器时水平管】不应长过0．5m当！用2．83L／【min计《。数器：时原则上《不宜有水平管；【 ？ 3《)采样口面积应【按，等速采样原则确定室！内风速取平均—风速 》 2 》 ，用过滤器采集—、显微镜检测时应】。遵守下列《规，。定 1】)过滤器为孔径应小！于等于2μm的滤】膜当过滤《器采样？口直径为25mm】时真空？泵采样流量不小于】7L：／min 【 当过滤器采】样口直径为4—7mm时采样流【。量不小于28．【3L／min对于】非，单向流洁《净室总采《样量不小于28【．，3L：／min对于单向】流，洁净室总《采放量不小于28】0L／min— 取【下滤膜？将，滤，。膜放在清洁的—盖玻片上(图E．4！．4)采样面向上放！进有50《℃左：右丙酮蒸汽的烧杯】。内熏蒸对容积为60！。0mL的烧杯—大约加入《15mL《丙，。酮当做过3次样片】时再加入1》5mL丙《酮待滤膜透明后取】出再将盖玻片—反向固定在》。载物片上《(用铝箔圈或纸圈】将盖玻片与载—物，片隔开)熏后—在盖玻片四周用膜或！蜡封住 《 ， 》 《 ，2)计数时应—把制好的标本片【固定在显微镜(10！0倍)工作台的适】合，位置：上一张标本片—上计数？总面积不《小于0．《02×4mm—2在检测中》应不断调整 【 《。3)测定《。之，前必须？先测出使用》的同一批《滤膜的基数》密度最后的计数浓度！由下：。式得：出 ？ 》 ，