？。 E．4《  微粒计数—浓度的检《测 】 ，。E．4．《1 ： 室内检测人员应控！制在最低数》量不宜超过2—人面：积超过100—m2又？需快速完成测定任务！时可：适当增加人数人员】必须穿洁净服应【位，于测：点下风侧并》远离测点动作要轻】保持静止 》 E．【4．2  》0．1μ《。m至5？μm微粒的检测【应符合以《下，要求 》 1  当采】用光学粒子计数【器，(OPC)测定【0，．1：μm至？5m的？微粒计数浓度时应按！本规范第16．4】。．，。5条第1款给出的公！式计算？空气洁净度》级，别粒子计数》器粒径分辨率应小】。于等于1《0，％粒径设定》值的浓度允》。许误差应为±—20：％并应按所测—粒径进行标定符合现！。行国家标准》尘埃粒子计》数器性能《。试验方法《GB／T6167】的，规定：。 》 2  《测点数可按式(【E．4？．21)求出— 【 《 3  每一—受控环境的采—样，点不宜少《于3：点，对于洁净度5—。。级及优于5级以【上的：洁净室应适》当增加采样点—并得到用《。户(建设方)—同意并记《录在案 】 4 ？ 采样点应》均匀分布于洁—净室或洁净区的整个！面积内并《位于工作区》高度(？取距地0．8m或根！据工艺协商》确定：)当工作区分—布于不同高度时【可以有1个以上【测定面 】 乱流洁净室(区】)内采样点不—。得布置在送风—口正下方 》 》5  如建设方【要求增加《采样点应对其数目】和位置？。协商确定 【 6  —每一测点上每—次的采样必》须满足最小》采样量最小》采样量根据“非【零检测？原则”由《下式求？出， 【 — ， 7》。  每？点采样次数应—满足可？连续记录《下3次？稳定的相近数值3次！平均值？代表该点数值—。 《 8？。  当怀疑现场计算！出，的检测结果可能超标！时可增加测点—数 ？ 9  测单！向流时采样头应【对准气流；测非单】向流时采样头一【律向上？ 10 ！ 当要求0．—1μm～5μm微】粒在采样《管中：的扩散沉积》损失和沉降、—碰撞沉积损失小于】采样浓？度的5％《时水平采样管长度也！应符合附《录D．？3．6条的规定【 》 11  若采样口！流速与室内气—流速度不相等其【比例：。应在0．《3，1，～71之间 【 ？ 12？  当因《测定差错《或微粒浓《度异常低下(空【气极为洁《净)造成单个非【随机的？。异常值并影响计【算结果时允许—将该异常值删—除但在原始记录中应！注明 【 每一测定空间只】许删除一次测定值并！且，保，留的测定值不少于3！。个 》 13  对【于，需，要很大采《样量：。、耗时很大》的某粒径微粒的【检测可采用顺序采】样法即将每次测【定结果标注》于，。图E．4．2上当标！。注点：落入不合《格区时即停》止检测结果为不达标！；当：。标注点？。落入合格区时停止】检测结？果为达标；当标【。注点一直《。在继：。续区：中延伸而总采—样量已达到表E．】4．22的》最小采？样量累？。计微粒数《仍小于2《0，即停止检测结—果，为达标；当标注点一！直，在继续区《中延伸而总采样量未！达到最小采样量但】累计微粒数已超【过20即停止检【测结果为不达标【 》 E．！4．3  对小于】0．1μ《m的超微《。粒的检？。测应采用适》。合，这类微粒具体—特性的采样装—置组合使用可采【用凝：结核计数《器，(CN？C或CPC)加【静电式分级器(迁移！率分析仪《)，  (DM》A，)、凝？结核：计，数器(CNC—或CPC)加扩散】式分级器(DB)】等，但必须有明确的【性能：说明书或有》自检报告《对所测？超微粒的最低粒径】的计数？效，率应：达到50％采样点数！目应与E．4．2条！对0．1μm～5μ！m的要求《相同 E！。．4．4 》 ，大于5μm的大(宏！)微粒的检测应符合！下列要求 【 1 》。 用光学粒子计数】器检：测时应遵《守下列？规定 — ， 1：)粒子计数器应经过！大微粒的标定—符合：现行国家标准尘【埃粒子计数器性能】试验方法《GB／？。T 6？167的规定对洁净！室为6级或优—于6级的洁净室【的，测定应采用》不小于28．3L／！min的计》数，器，对，其他级？别洁净室的洁—净度应采用不小于2！．83L／mi【n的计数器； 】。 2)—当用28．3—L／mi《n计数？。器时水平管不应长过！0，．5：m当用2．83L／！mi：n计数？器时原则上不—宜，有水平管；》 》 3)采样口—面积应按等》速采样原则确定室】内风速取平均风速 ！ ？。 2？  用过滤》器采集、显微镜检测！时应遵守下列—规定： ： 1》)过滤器为孔径应】小于等于2》μm的滤膜当过滤器！采样口直径为25m！m时真空《泵采样流量不小【于，7L／min 【 当过滤器！采样口直径为—47：。mm时采样》流量不小《于2：8．：3L／mi》n对于非单向流洁】。净室总采样》量不小于2》8．3L／mi【n，对，于单向流洁净室【总采放量不》小于280L／mi！n ？ ， 取下》滤膜将滤膜放—在清洁的盖玻片上】(图E．4．4【)采样面向上—放进有5《0℃左右《丙酮：蒸汽的烧《杯内：熏蒸对容《积为60《0mL的烧杯大约】加入15mL—丙酮当做过3次样】片时再加入》15mL丙酮待滤膜！透明后取出再将【盖玻片反向》固，定在：载物片？上(用铝箔圈或纸】圈将：盖玻片与载物—片隔开)熏后在盖玻！片，四周用？膜或蜡封住 】 ， 】2)计数时应把【制好的标本片固定】在显微镜(》100倍《。)工作台《的适合？位置上一张标本片】。上计数总面积不【小于0．02×4m！m，2在检测中应—不断调整 》 ， 3)测【。定之前？必须先测出》使用的同一批滤膜】的基数密度最后【的计数？浓，度由下式得出 】 ， 》