，。 E．4  】微粒计数《浓度的检测 ！ E．4．1！  室内检测人【员，。应控制？在最低数量不宜超】过2人面积超过【10：0m2？又需快速《完成：测定任务时可适【当，增加人数人员—必须穿洁净服应位】于测点下风侧并【远离测点《动作要轻保持—静止 《 ， E．4．2】 ，。 0．1μm至5】μm微粒的检测应符！合，以下要求《 1 】 ，当，采，用光学粒《子计数器(OPC】)测定0．》1μm至5m的微】粒计数浓度时应按】本规范第16．4．！5条第1款给出的】公式计算空气—洁净：度级别粒子计—。数，。器粒：径，分辨率应小于等于】。10％粒径设定值的！浓度允许误差—应为±20％—并应按所《测粒径进《行标：定，符合现行国家标准】尘埃粒子计数—器性能？。试验：方法G？B／T6167的】。规定： ： 2  测】点数可按式(E．4！．21)求出— 】。 3  【每一受控环》。境，的采样点不》宜少于3点对于【洁净度5级及优于5！级以上的洁净室应适！当增加采样点—并得到用户(建设】方)：同意并记《录在案 】 4  《采样点应《均匀分布于洁—净室或洁净区的整个！面积内并位》于工作？。区，高度(取距地—0．8m或根据【工艺协？商确定)当工作区分！布于不同高度时【可以有1个以上测定！面 乱流！洁净室(区)内【采样点不《得布：置在：送，风口正下方 ！ 5  如建设】方，要求增加《采样：点应对其数目和【位置协？商确定 】 6  每一—测点上每次的采【样必：须满足最小采样量最！小采样量根据“非】零检测原则”由下式！求出 — 【 》 7  每点采】样次数？应满：足可连续记录下【3次稳定的相近数】值，3次平均值代表【该点数值 — ， 8  当【怀疑现场计算出的】。检测：结果：可能超标时可—。增加：测点数 ！9  测单向—流时采？样头：应对准气流；测【非单向流时采样头】一律向上 ！ ，10  《当要求0．1μm～！5μm微粒》在采样？。管中的扩散沉积损】失和沉？降，、，碰撞沉积损》失小于采样浓度的】5％时水平采样管长！度也应符《。合附录D．3．【6条的？规定 【。 11  若采样口！流速与室内》气流速度不相等其】比例应在《0．31～》71之间 — 12  当！因测定差错或—。微粒浓度异常低下(！空气极为《洁净)？造，成单个非《随机：的异常值并影—响计算结《果时：允许：将该：异，常值删除但在原始记！录中应注《明 每】。一测定空间只—许删除一次测定【。值并且保留的测定】值不少于3个 】 13  对！于需要很大采样量、！耗时很大《的某粒径微粒—的检测可采用顺序采！样法即将《每次：。测定结果《标注于图E．4．2！上当标注《点落入不《合格区时即停止检】测结果？为不达标；当标【注点落入合格区时】停止检测《结果为？达标；当标注点【一直在继续区中【延伸而总采样—量已达到表》E，．4．22》的最小采样量累计微！粒数仍小于20即停！。。止检测结《果为达标；当标注】点一直在继续区中】延伸而总采样量未】达到最小采样量【但，。累计微粒数》已超过20即停止】检测结果《为不达标 》 】 E《．4．？3  对小于0【．1μ？m的超微粒的检测】应采用适合这—类，微，粒，具体：特性：的采样？装置组？合，使，用可采用《凝结核计数器(【CNC或CPC)加！静电式分级器—(迁移率分析仪) ！ (D？MA：)、凝结核计—数器(CN》。C或CPC》)加扩散式分级【器(DB)等—但必须？有明：确的性能说明书或有！自检报告对所测超微！粒的最低粒径的计】数效率应达到50】％采样？点数：目应与E．4．【2条对0．1μm】～5μm的要求【相同： E．】4．4  大于5μ！m的大(宏)微粒】的检：测应符合下列—要求 》 1 》 用光学粒子—计数器检测时应遵守！下列规定 — 1)粒【子计数器应经过大微！粒的标定符合现行】国家标准尘》埃粒子计数》器，性能试验方法G【B，／T： 6：167的规定对洁净！室为6级或》优于6级的洁净【室的测定应采用不小！于2：8．：3L／m《in的计《数器对其他级别【洁净室的洁净度应采！用不小于2．—83L／min的计！数器：； ？。 ？ 2)？当用28《．3L／min计数！器时水平《。。管不应长过0—．5m当用2—．83L《／min计数器时原！则，上不：宜有水？平，管； 》 3)》采样口面积》应按等速《采样原？则确定？室，内风速取平均风速 ！ 2  用！过滤器？。。采集、显微镜检测】。时应遵守下列规定 ！ 1)【过滤器为孔径应【小于等于《2μm的《滤，膜当过滤器采样口】直径为？25：mm时真空泵采样】流量：不小于7L／mi】n 当】过，滤器采样《口直：径，为，4，7mm时采样—流量不？。小于2？8．3L／mi【。n对于非单向流【洁，净室总采《样量不小《于28．3》L／m？in对于单向流洁净！室总：采放量不小》于280L／—min 【 ：取下滤膜将滤—膜放在清洁的盖玻】片，上(：图，E．4？．4)采样面向【上放：进有50℃》左右丙酮《。蒸汽的烧《杯内熏蒸对容—积为：600mL的烧杯】大约加入15mL】丙，酮当做过3次—样片时再加入15】mL丙酮《待滤膜透明后取出再！将盖玻片《反向固定在载物【。片上(用《铝箔圈或纸圈将盖】玻片与载物片—隔开)熏《后在：盖玻片四周》用膜：或蜡封住《 【。 《 2)？计数时应把制好的标！本片固？定在：显微镜(100【倍)工作台的—适合位置上》一张标本片》上计：数，总面积不小于0．0！2×4mm2在检】测中：应不断调《。。整 3)！测定之前必须先【测出使？用的：同一：。批，滤膜的基数密度最】后的计？数浓度由下式—得出： 】