E．4【  微粒计数—。浓度的检测 】 E．【。4．1  室内检测！。人员应控制在最低】数量不宜超过2人】面积超过100m2！又需快速完成测定任！务时可适《当增加人数》人员：必须穿洁净服应【位于测点下风侧【并远离测点动—作要轻保《持静止 》 ， E．4．2】  0？。．，1μm至5μm【。微粒：的检测应《符合：以下要求《 ： ？ 1：  当采用光—学粒：子计数器(OPC)！测定0．1μm至5！m的微粒计数—浓度时应按本规【范第16《．4．5《条第1款给出的公】式计：。算，。空气洁净度级别【粒，子计数？器粒径？分辨率？应小于等于》1，0，％粒径设定值的浓】度允许？误差应为±20％并！应按所测粒径进【行标定符合现行国家！。标准尘埃粒子—计数器性能试—验方法GB／—T616《7的规定 — 2》 ， 测点数可按式(E！．4．21)求出 ！ 】 3  每【。一受控环境的采【。样点不宜少于—。。。3点对于洁净度5级！及优于5级以上【的洁净？室，应，适当增加采样点并】。得到用户(建设【方)：。同意并记录在案【 4  ！。采样：点应均匀分布—于洁净室或洁净【区的整个面积内并】位于工作区高度(】取距：地0．8m或根据】工艺协？商确定)当》工作区分布于不同】高度时可以有1【个，以上测定面》 —乱流洁？净室(区)内采【。样点不得布》置在送风口正下方】 ： 5  如建！设方要求增加采【样点：应对其数目和—位置协商《确定 》 6  每【一测点？上每次的采样必须满！足最小？。采样：。量最小采样量根【据“非零检》测原则？。”由：下式求出 】 【 ： 7—  每点《采样次数应满足可】连续记录下3—次稳定的相近数值3！次平均值代》表该：点数值 【。 ， 8  当》怀疑现场计算出的】检测结果可能—。超标时可《增加测点《。数 ？ ： 9 《 测单向流》时采样头《应，对准气流；测非【单向流时采》样，头一律向上 【 ， 10  当要！求0．1μm～【5μm微粒在采样】管中的扩散沉—。。积损失？和沉降？、碰撞？沉积损失小于采样浓！度的5％时》水平采样管长度也应！符合附录D》．3．6条》的规定 】 1：1  若采》样口流？速与室内《气流速度不相等【。其比例应在0．31！～71之间 ！ 12  当因】测定差错或》微粒：浓度异常低下—(，空气：极，为，洁净)造成单个非】随机的异常值并影】。响计算结果时允许】将该：异常值？删除但在原始记录】中应注明 】 每一测》定空间只许删除【。。一，次测定值并且保留】的测定？值不少于3个 ！ 13  对于！需要很大采》样量、耗时很大的某！粒径：微，粒的检测可采用【。顺，序采样法即将每次测！定结果标注于图【E．4．2上当标注！。点落入不合格区时】即停止？检，测，结果：为不达标；当标【注点落入合格—区，时停止检《测结果为达标；【当标注点一直—在继续区中延伸而】总采样量已达—到表E．4》．22的最小采样】量累计微粒数仍小于！20即停止检测结果！为达标；当标注点一！直在继续区中延【伸而总采样量未达到！最小：采样量？但累计微粒数已【超过20即》停止：检测结果为不达标】 ！ ， E．4．3【  对小于0．1μ！m的超微粒的检测】应采用适《合这类？微粒具体特性的【采样装置组合使用可！采用：凝结核计数器—(CNC或CPC)！加静电式分级器(】迁移率？分，析，仪)  《(，DMA)、凝结核计！数，器(CNC》或CPC)加—扩散式分级器(D】B，)，。。等但必须有明确的性！能说明书或有自检】报告对所《测超微粒的最—低粒径的计》数效率应达到50】％采样？点数目应与E．4】．2条对0》．1μ？m～5μ《m的要求相同 】 ， E《．4．4  大于】5μm的大》(宏)微粒的—检测：应符合下列要求 ！。 《1  用光学粒【。子计数器检测时应】遵守下列规》定 — ，1)粒？子计数？器应：经过大微粒的—标定符合现行国家】标准尘埃粒子计数】器性能试《验方法？GB／T 6167！的规定对洁》净室为6级或—优，。于6级的《洁净室的测》定应采用不小—于28．3L／【min的计数器对其！他级别？洁净室的洁净度应】采用不小于2—．83L／mi【n，的计：数器； 】 ，2)当用28．3L！／min计》数，器时水平管不应长】过0．5m当—。用2．83L／m】in计数器时原【。则上不宜《有水平？管； 【 3)采样口—。面积应按等速—。采样原则确定室内风！。。速，取平均风速 ！ 2  》用过滤器采集、显微！镜，检测：时应遵守下列规定】 ： 1)过滤】器为孔径应》小于等于2μ—m的：滤膜当过滤器采样口！直径为25mm【时真空泵采样—流量不小于7L／】min ！当过：滤，器采样口直径为4】7mm时采》样流：量不小？于28．《。3L／？。min？对于：非，单向流洁净》室总采样量不小于】。28：．3L／min【对于：单向流？洁净室总采放—。量不小于2》80L／min【 取下】。滤膜：将滤膜放《在清：洁的盖？。。玻，片上(图E．4【．4)采样面向上】放进有50℃左【右，丙酮蒸汽《的烧杯内熏蒸对容积！为600mL—的，烧杯大约加入15】mL丙酮当做过3】次样：片时再加入》15mL丙酮待滤膜！透明后取出再—。将盖玻片反向固定】在，载物片上(用铝【。箔圈或纸《圈将盖玻《片与：载，物片隔开)熏—。后在盖玻片四周【用，膜，。或蜡封住 】。。 ：。 《 2)计数—。时应把制好的标本】片固定在显微镜【(100倍)工作】台的适合位置—上一：张标本片上计数总】面积：不小：于0：．02×4mm2】在检测？中应：不断调整 —。 3》)测定之前必须先测！出使用的同一—批滤膜的基数密【度最后的《计数浓度由下式【得，。出 【 ：