E》．4  《微粒计数浓度—的检测 》 《 E．4．1  ！室内检测人员应控制！在，最低数量不宜—超过2人面积—超过1？00m2《又，需快：速完成测《。定，任务：时可适当增》加，人数人员《必须穿洁净服应位于！测点下风侧并—远离测点《动作：要轻：保持静止 】 E？．4：．2  《0，．1：μm至？5，μm微粒的检—测应符？合以下？。要求： 》 1：  当采用光学粒子！计数器(OPC【。)测定0．》。1μm至5m的【微粒计数《浓度时？应按本规范第16．！4．5条第1款给】出，。的，公式计算《空气洁净度级—别粒子计数器粒径】分辨：率应小？于等：。于10％粒》径设定值的浓度允许！误差：应为±20》％，并，。应按所测粒径—进，行标定符合现—。。。行国家标准尘埃粒】子计数器性》能，试验方法G》B／T6167的规！定 ： 》2  测《。点数可？按式(E．4—．21)求出 ！ ， ： —。3  每《一，受控环境的采—。样点不宜《少于3点对于—。洁净度5级》及优于5级》以上的？洁净室应适当增加】采样点并得到—用户(建设方)同】意，并记：录在案 【 ，。 4：  采样点应均匀分！布于洁净《室或洁？净区：的，整个面积内并—位于工作区高—度(取距地》0．8m或》根据工艺协》商确定)当》工作区分布于不同高！度时可以有1个以上！测定面？ 》 乱流洁净室—(区)内《采样点？。不得布置在》送，风口正下《方 — 5  如建设方要！求增加采样》点应对？其数目和位置协商】确定 — 6  每一测】。点上每次的采样必】须满足最小采样量】。最小采样量根据“非！零检测原则”由【下式求出 — ， 】 》 7？  每点采样次数】应，满足可连《续记录下3次稳定的！。相近数？值3次平均值代表该！点数值？ ： 8》  当怀疑现场计】算出的？检，测结果可能》。超标时可增》加测点数 【 ？9  测单向流【时采样头应对准气】流；测非单向流【。时采样头一律向【上 》 10  当【要求0．1μ—m～5μm微粒在采！样管中的扩散沉积损！失和沉降、碰—撞沉积损失小于采样！浓度的5《％时水平采》样管长度也应符合】附录D．3．—6条的规定 【。 11  若！采样口流速与室【内气流速度不相等其！比，例应在？0．31～》71之？间 ： ： 1《2  当因测定【差错或微《粒浓度异常低下(空！气，极为洁净)造成单】个非随机的异常值】并，影响计算结果时【允许将该异常—值删除但在原始【记录中应《注明 每！一，测定空？间只许删《除一次测定值并且保！留的测定值不少【于3：个， ： 1》3  对《于需要很大采样量】、耗时很大的某粒径！微粒的检测》。可采用？顺序采样法》即将每次《测定：结果标注于图—E．4．《2上：当标：注点落入不合格区】时即停止检》测结果为不达标；当！标注点落《。入合格区时》停止检测《结，果为达标；当标注点！一直在继续区中延伸！而总采样量已—。达到表E．》4．22的最—小采样量累计微【粒数仍？小于20即停止检】。测，结果为达标；当标注！点一直在继续区中延！伸而：总采样量未达—到最小采样量但累计！微粒数已超过—20即停止检测结】果为不达标》 》 ： 《。 E．4．3  对！小于0．1μ—m的超微粒的检测应！采用适合《这类微粒具体特性的！。采样装？置组：合使用可采》用凝结核计数器(】CNC或《CPC)加》静电式分级器(迁】移率分？析仪)  》(DMA《)、凝结核计数【器(CNC或CP】。C)加扩《散式分级器》(D：B)等？但必须？有明确的性能—说明书或有自检报】告对所测超微粒的最！低粒径的计数效【率，。应达到50％采样】点数目应与E．4】．2条对0》．1μm～5μm】的要求相同 — ？ E．4》．，4  大于5μm】的大(？宏)微粒的》检测应符合下列要】求 — ，1  用光》学粒子计数器检【测时应遵守下列【规定 —。 1)《粒子计数器应经【过大微粒的标定【符合：。现行国家标》准尘埃粒子计数【器性能？试验方法GB—／T 6167的】。。规定对洁净》。室为6级《。或优于6级》的洁净室的测定应采！。用不小于28．【3L：／min的计数器】对其他级别》洁净室的洁净度应采！用不小于2．—83L／min的计！数器； — 2)当—用，28．3L／m【in计数器时水平】管，不应长？过0．5m当用【2．83L／m【in：。计数器时原则—上不宜有水》平管；？ 3)采！样口面积应按等速采！样原则确定室内风速！取平：均风速 】 2 ？。 用过滤器采集、】显，微，镜检测时应遵守下列！规定 【 1)过滤器—为孔径应小于等于2！μm的滤膜当过滤】器采样口直》径为：25mm时真空【泵采样流量》不，小于7L／min】 ， ， 当过滤器】。采样口直径为47】mm时采样流量【不小于28．3【L／：m，in对于非单向流洁！净室总采样量不小于！28．3《L／min对于【单向流洁净室总【采放：量不小于280L／！mi：n， ？ 取下滤膜将滤！膜放在清洁的盖玻】片上(图《。E．4．4)采样】。面向上放《进有5？0℃左右丙酮蒸汽的！烧杯：。内熏：。蒸对容积《为600《mL的烧杯大约加】入15mL丙酮【当，做过：3次样片时再加入1！5mL丙酮待—滤膜：透明后取出再—将盖玻片反向固定在！载，物片上(用铝箔圈或！纸圈将？盖玻片与载物片隔开！)，熏后在盖玻》片四周用膜或—蜡封住 ！ —2，)计：。数时应把制好—的，标本片固定在显微镜！(100倍)工作台！的适合位《置上一？张标本片上计数总】面积不小于0．02！×，4mm2在检—测中应不断调整 】。 ： 3)测定之前！必须先测《出使用的同一批【滤膜的基数密度最后！的计：数浓度由下式得【出 — ， ：