E.4 !微,粒计数浓度的检【测
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【E.4.1 — 室内检测》人员应控制》在最低数量不—。宜超过2人面—积超过100m【2,又需快速完成测【定任务时可适当【增加人数《人员必须《穿洁净服应位于【测点下风《侧并远离测点—动作:要轻保持静》止
—
E.?4.2 》0.1μm至5【μm微粒《的检测应符合以下】要求:
—1 当采用光【学粒子计《数,器,(OPC)》测定0.1》μ,m至5m的微粒计】。数浓度时应按—本规范?第16.4.5【条第1款给出的【公式计算空气洁净】度级别粒子计数器】粒径分辨率》。应小于等于10【%,粒,径设定值的浓—。度允许误差》。应,为±2?0%并应按》所测粒?径进行标定符合【现行国家标准尘埃粒!子计:数器性能试验方【法G:。B/T?61:67的规定》。
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?2 测点数—可按式(E.4【.21)求出
【
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《
3 【每一受控环境的【采样点不宜》。少于3点对于洁【净度5级及优于【5级以上的洁—。净室应适当增加采样!点并得到用户—(建设方)同意并】。记录在案
!
,4 采样点应均匀!分布于洁净室或【洁,。净区的整《个面积内并》位于工作《区高度(取距—地0.8m》或根据工艺协—商确定)当工作区分!。布于不同《。高度时可以有1个】。以上测?定面
】乱流洁净室(区【)内采样点不得【布置在送风》口正下方
】
5 如建设】方要求增加采—样点:应对其数《。目和:位,置协商确定
—
《
6 每》。。一,测点上每次》的采样必《须满足最小采—样量:最小采样量根据【“非零检测原则”由!。下,式求出
】。
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7— , 每点采样次数应】满足可?连续记录下3次稳定!的相:近数:值3次平均值—代,表该点数值
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8 《 当怀疑现场计【。算出的检测》结果:可能超标时》可增加测点数
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9 《测单向流时采样头应!对准气流《;测非单向流时采】样头一?律向上
》
10— 当要求0—。.1μm~5μ【m微粒在《采样管中的扩—散沉积损失和沉降、!碰撞沉积损失—小于采样浓》度的:5%时?。水平:采样:管长度也《应符:合附录D.3.6】条的规定《。
》。
11 若采样口!流速:与,室内气流速度不【相等其比例》应在:0.31~7—1之间
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12 【当因测定差错或【微粒浓度异常低下】(空气极为洁净)】造成单?个非随机的异—常值:并影:响计算结《果,时允许将《该异常值删除但在原!始记录中应注明【
,
每一【测定:空,间只许?删除一次测定—值并且保留的测【定,值,。不少于3个
【
13 【 对于需要》很大采样量、耗【时很大的《某粒径微粒的检测可!。采用顺序采样法即将!每次测定《结果:。标注于图E.4.】2上当标《注点落入《不,合格区时即停止检测!结果为不达》标,。;当标注《点落:入合格区时》停止检测结》果为:达标;当标注点【一直在继《续区中延伸而总采样!量已达到表》E.:4.22的》最小采样量累计微粒!数仍小于《20即停止》检测结果为达标【。;,当标注点一直在继】续区中延伸而总采样!量未达到最小采样】量但:累计微?粒,。数已超过20即【停止检测结果为【不达标?
?
【
E.4.3 !对小于0《。.1μm的》超,微粒的检测应—采用适合这类微【粒具:体,特性:。。的采样装置组合使用!可采用凝结》核计数器(CN【C或CPC)加静】电式分?级器(迁移率—分析:仪) (DM【A)、凝《。。结核计数器(—CNC?或CPC)加扩【。。散式分级器》(DB)等但必须】有明确的性》能说明书《或,有自:检报告对所》测超微粒的最低【粒径的计数》效率应?达到:50%采样点数目应!与E.4.2条对0!.1μm~5μm】的要求相同
!
E.4》.4 大于5μ】m的大(宏)微粒】的检测?应符合下列要求【
《
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1 ? ,。用光学粒子》计数器?检测时应遵守下列规!定
?
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1:)粒子?计数器应经》过大微粒的标—定符合现行国—家标:准尘埃粒子计数【器性能试验方—法GB/T 616!7的规定对洁净【。室为6级或优于6级!的洁:。净室的?测定应?采用不小于28.】3L/mi》n,的计数器《对其他级别洁净【室的洁净度》应采用不《小于2?.83L/m—in的?计数器;
》
《
2)?当用28.》3L/min计数】器时水平管》不应长过《0,。.5m当用2.83!L/m?in:计数:器时原则上不—宜有水平管;
】
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3)采样口面】积应按等速》采样原则确定—室内风速取》平均风速
】
:2 用过滤器【采集、显微镜—检测时应遵守下【列规定
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1)过滤器为】孔径应小于等于2】μm的滤膜》当过滤器采样口【直径为25mm时真!空泵:。采样:流量不小于7L【/mi?n
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当过滤器采样】口直径为《47mm《时,采样流量不小于28!.3L/《。min对于》非单向?流洁净室《总采样量不小—于28.3》L/min对—于单向流洁净室总采!放量不小于2—8,0L/m《in:
—取下滤膜将滤膜【放在清洁的盖玻【片,上(图E.4.【4)采样面向—上放进有5》0℃左?。。右丙:酮蒸汽的烧杯内熏蒸!对容积为600m】L的烧杯大》约加入15mL丙酮!当做过3次》样片时再加入—15:。mL丙酮待滤膜【透明:后取出?再将盖玻片》反,向固定在《载物片?上,。(,用铝箔圈或纸圈将盖!玻片与载物片—隔开)熏后在盖玻】片四周用膜或蜡封】住
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2)计《数时应把制》好的标本片固定【在显微镜(10【0倍)工作台的适】合位置上一》张标本片上计—数总面积《。不小于?0.0?2×4mm》2,在检测中应》不,断调整?
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3)测定之前【必须先测出使用的同!一批:滤膜:的基数密度最—后的计数浓度—由下式得《出
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