E．4 】 微粒计数浓—度的检测 》。 ？ 《E．4．1 — 室内检测》人员：应，控制在最低数—量不宜超《过2：人面积超过1—00m2又需快速完！。。成测：定，任，务时可适当增加人数！人员必须穿洁净服应！位于测点下风侧并远！离，测点动作要轻保持静！止 E】。．4．2  0．】1μm至5μm【微粒：的检：测应符合以下要【求 1 ！ 当采用光学粒子】计数器？(OPC)》。测定0．1μm至】5m的微粒计数【浓度时？应按本规范》第16．4》．，。。5条第1款给出的公！式计：算空气洁净度级别】粒子：计数器粒径分—。辨率应小于》等于：10％粒径设定值】的浓度允许误差应为！±20％并应按所测！粒径进行标定—符合现？。行国家标《准尘埃？粒子计数器性能试】验方法GB／T6】。167的规定 ！ 2  测点】数可按式(》E．4？．2：1)求出《 ！ ， 3  》每一受控环境的采】样点不宜少于—3点对？于洁净度5级及【优于5级以上的洁】净，。室应适当增》加采：样点并得到》。用，户(建设方)—同意并记录》。在案 4！  采样《点应均匀分布于洁】净室或洁净区的【整个面积内并位【于工：作区高度(取距地0！．8m或根据工【艺协商确定)当【工，作，区，分布于不《同高度时可以有1个！以上测定面 — 乱流洁】净室(区)内采【样点不得布置在送】。风口正？下方： —5，  如建设方要求】增加：。采样点应对其数目和！位，置协：商确定 】 6  每一测点】上每：次的：采样必须《满足最？小采样量最小采样】量根据“非零—检，测原则？”由下？式求出 】 ！ 7 — 每点采样次—数应满足可连续【记录下3次稳定的相！近数值3次》平均值代表》该点数值 — 8  【当怀：疑现：场计算出的检—测，结果可能超标时可】增加测？点数：。 》 9  测单向【流时：采样头应对准气流】；测非单《向流时采样头一律】向上： 10】  当要求0．1μ！m～5μm微粒在采！样管中的扩散—沉积损失和沉降【、碰：撞沉积损失》小于采样浓》度的5％时水平【采样管长度》也应：符合附录D．3．6！条的规定《。 ： 1》1  ？若采样口流》速与室内《气流速度不》相等其比例》应在0．31—。～71之间 —。 》12  当》因测定差错或—微粒浓度异常—。。低下(空《气极为洁净)造【成单个非《随机的异常值并影】响计算结果时允许将！该异常值删》除但在原始记录中应！注明 】每一测定空》间只许删除一次【测定值并且保留【的测定值不少于3个！ —13  对》于需要？很大采样量、耗【时很大的某粒径微粒！的检：测可：采用顺序采样法即】将每：。次测定？结果标注于图—E．：4．2上当标注点落！入不合？格区时即停》止检：测结果为不达—标；当标注点落入】合格区时停止检测】结果为达标；—当标注点《一直在继续区中【延伸：。而总：采样量？已达到表E．4．2！2的最小《采样量累计微—粒数仍小于20即停！止检测结果为达标】；当标注点一直在】继续区中延伸而【总采样？。量未达到最小采【样量但累计微粒【数已超过20—即停止检《测结果为《不，达标 【 《 E《．4．3  对【小于0．1》。μm：的超微粒《的检测应采》用适合这类微粒具】体特性的采样装置】组合使用可采用凝】结核：计，数器(CNC或【C，PC)加静电式【分级器(迁移率【分析仪)  (DM！A)、？凝结核计《数器(CNC—。或CPC)》加扩散式分级器(】DB)等但》必须有明确》的性：能说明书或有自检】报告对所测》。超微粒的《最低粒径《的计数效率》应达到50％采【样点数？目应与E．4．2】条对0？．1μm～5—μm：的要求相同 —。 ，。。 E．4．4！  大于《5，μm：的大(宏)微—。粒的检测应符合下列！要求 《 ， 1  用【光，学粒子？计数器检测时应遵】守下列规定 ！。 1)《。粒子计数器》。应经过大微粒的标】定符合？现行国家《标准尘埃粒子计【数器性能《试验方法《GB：／T ？。6167的规—定对洁净室为—6级或优《于6级的《洁净室的测定应采用！不小于2《8．3L／min】。的计数？器对其他级别洁净室！的，洁净度应《采，用不小于2．83L！／m：in的计数器； 】 》2)当用28．3L！／min计数器时水！平管不应《长过0．5》m当用2．83【L／min计—数器时原《。则上：不宜有水平管—； 》 3)采样口【面积应按等速采【样原则确定室内风】速取平？均风速 — 2  用过】滤器采集、显微镜】检测时应《遵守下？列规定 — ？1)过滤《器，为孔径应小于等于2！。。μm的滤《膜当过滤器》采样口直径为2【5mm？时，真空泵采样流量不】小于7L／min】 《 当？过滤器采样口直径为！47mm《时采样流量不小于】。28．3L／min！对于非单《向流洁净室总采【样量不小于28．】3L：／mi？n对于单向流—洁，净室总采放量不小】于280L／m【in： ， 取下滤】膜将滤膜放》在清洁的盖玻片上(！图E．4．4—)采样面向》上放进？有50℃左右—丙酮蒸汽的烧杯【内熏蒸对容》。积为60《0mL的烧》杯大：约加入1《5mL丙酮当做过】3次样片时再加入1！5mL丙《酮待滤膜透明后取出！再将盖玻片反向【固定在？载物片上(用铝箔圈！或纸圈将《盖玻片？与载：物片隔开)熏—后在盖玻片》四周用膜或蜡封住】 — 《 2)计数时应】把制好的标》本片固定在显微镜】(100《倍)：工作台？的适合？位置上一张标本片上！计数总面积不小于】0．02×4mm】2在检测中应—不断调整 】 ， 3)测《定之前必须先测出使！用的同一批滤膜的基！数密：度最后的计》数浓度由下式得出】 《 《