《。E．4？  ：微粒计数浓度—的检测 【 ： E．4》．1  室内检测人！员应：控制在最《低数量不《宜，超过：2，人，面积超？过10？0，m2又需快速完成】测定：。任务时？可适当增加人数人员！必须穿洁净》服应位于《。测点：。下，风侧并远离测点【动作：要轻保持静止 ！。 E《．4．2  0【．1μm至5μm微！。粒的检测应符合以】下要求 —。 1  —当采用光学粒子计】。数器(OPC)测定！0．：1μm至5》m的微粒计数—浓度：时应：按本规范第16【。．4．5条第1款】给出：的公式计算空—气洁净？度级别粒子计数【器粒径分《辨率应小于等—于1：0％粒径设定—。值的浓度《允许误差应为±2】0％并应按》所测：粒径进行《。标定符合现行国家】标准尘埃《粒子：计数：器性能试《验方法G《B／T6167的】规定 — ， 2：  测点数可按式(！E．4？．21)求出 】 ？ 3 ！ 每一受控环境的】采样点不《宜少于3点对于【洁净度？5级及优于5级【以上的洁《。净室应适当增加采样！点并得到用》户(建设《方)同意并》记录在案 ！ 4  采样点应均！匀分：。布于洁净室》或洁净区的整个【面积内并位于工【作区高度《(取距地0．8m】或根据工艺协商确】。定)当工《作区分布于》不同高度《时可以有《。1个：以上测定《面 《 ？乱流洁净《室(：区，)内采样点》不得布置《在送风口正下方 】 5  】如建设方要求—增加采样点应—对其数目和位置【协商确定《 6【  每一测点上每】次的采样必须满足最！小采样量《最小采样量根据“】非零检？测，原则”由下式求【出， 》 《 》 ， 7  每点】采样次数应满足可连！续，记录下3次稳定的相！近数值？3次平？均值代表该点数值】 《。。 ， 8  当怀疑【现场计算出的检测】结果可能超标—时可增加测点—数 — 9  测单向流】。时采样头应对准【气，流；测非《单向：流时采样头一—律向上 — 10  当要！求0．1μ》m～5μm微—。粒在采样管中的【扩散：沉积损失和沉降【。、碰撞沉积损失【。小于采样浓度的【5％时水《平采样管长度也【应符合附录D．3．！6条的？规定 ？ 11  ！若采样口流速与室内！气流速度不相—等其比例应在0【．31～71之【间 【。12  当因测【定差错或微》。粒浓：度异常低下》(空气极为洁—净)造成《单个非随机的异【常值并影响》计算结？果时允许将》该异常值删除但在原！始记录中应注明 】 每—一测定空间只许【删除一次测定值【并且保留的测定【值不：少，于3个 ！13  对于需要】很大采样量、耗时】很，大的某粒径微粒的检！测可采用顺序采样法！即将每次测定结【果标注于《图，E．4．《2上当标注点—落入不合格区时即】停止检测结果为不】达，标；当标《注点落入合格区时停！止检测结果》为达标；当标—注点一直在继续区中！延伸：而总采？样量已？达到表？E．：4，．，22的最小采样量累！计微粒数《仍小于20即—停，止检：测结果为达标；当】标注点一《直在继续区中—延伸而总采样量未】达到：最小采样量但累计】微粒数？已，超过2？0即停止检测结果】为，不达：标 ： 】 E《．4．3  —对小于0．1μm】的超微？粒的检测应采用【适合：。这类微粒具体特【。性的采样装置组【合使用可采》用凝结核《计数器(C》。NC或CPC)【加静电式分级器(迁！移率：分析仪)  (【。D，MA)、凝结核【计数器？(C：NC或？CP：。C，)加扩散式》分级器(DB—)等但必《须有：明，。确的性能《说明书或有自—检报告对《所，测，超微粒的最低粒径的！计数效率应达到50！％采：。样点数目《应与E．4．2条】对0：．1μm～5μ【m的：要求相？同 ？ 《E．4．4》  大？于，。。5，μm的大《(宏)微《粒，的检测应符合—。下列要求《 ， 1—  用光学》粒子计数《器检测时《应，遵守下？列规定？ 1【。)粒子计数器应经】过，大微粒的标定符合现！行国家标准尘埃【粒子计数器性能试验！方法G？。B／T 《6167的规定对】洁净室为6级或优】于6：级，的洁净室的测定应】采用不小于28．】3L／min的计数！器对其他级别洁净室！的洁净？度应采用不》小于2．83L／m！in的计数器—。； ？ 2)当用】28．3L／mi】n计数器时水平管不！应长过0．5m【当用2？．83L／min】计数：。器时原则上不宜有水！平管； ！3)采样口面—积应按等《速采样原则》。确，定室内？风，速，取平均风《速 — 2  用过滤器】采，集，、显微镜检测时应遵！守下列规定 】 1)过滤【器为孔径《应小于等于》2μm的滤膜当过】滤器采样口直径为】25m？m，。时真空泵采》样流量？不，小于7L／min】 ： 当过滤器采！样口：直，径为47mm时【采样流量不小于28！．3：L／min》对于非？单向流？洁净室总采样量不小！于28．3L／【min对于单向流洁！净室总？采放量不小于2【80：L／mi《n 》 取下滤膜—将滤膜放在清—洁的盖玻片上(图E！．4．4)采样面向！上放进有50—℃左右丙《酮蒸汽的烧杯内【熏蒸：。对容积为60—0mL的烧》杯大约加《入15mL丙酮当做！过3次样片时再【。加入15m》L丙酮待滤膜透明后！取出：再将：盖玻片反《。向固：定在载物片上(用铝！箔圈或纸《圈将盖玻《片与载？物片隔开《)熏后在盖玻片【四周用膜或蜡封住】 》 》 2)计数时应】把制好的标本—。片固定在显微—镜(10《0倍)工作台的适】合位置？上一张？标本片上计数总面】积不小于《0．02×》4mm2在检测中】应不断调整 —。 3)测】定之前？必须：先测出使用的同【一批滤？膜的基？数密度最后》。的计数浓度由下式得！出 《 《 ，