11—．5：  工艺设》备安装 —。 ： 11．5．1！ ， 工艺设《备的安装不应影【响洁净室参数和【服务功能 】 1？1．5．2  工艺！设备安装时现场【。的净化空调系统应已！连，续，运行：24：h，以上；现场除正常】照明外？应配备三相》380V、单—相2：20V和低压行灯电！。源 11！．5．3  —。任，何用于大设备的提】升、牵引或定位的】专用设备《在进入洁净》室安：装现：场前：应彻底清洁并应检】查有：无脱屑、剥落—的，表面或不宜进—入洁净环境》的材：料， 《 11．5．【4  设备安装时】应妥善保护墙—壁与：地面设备的软胶【轮应予包裹避免【在地面拖磨》开洞作？业不：。应划伤？。。或，污染所在表》面，设备安装位置—穿越不同洁净—级别区域时》穿，越处：缝隙应用《柔性材料填充—、密封并应装饰处】理 11！．5．？5  设备安装时宜！在设备周《围设临时隔离墙【设备周围应留—出足够的安装空间隔！离区内应《。阻断正压《送风进？入，隔离区的人员应按进！入洁净区要求 】 《。11：。．5．？6，  除设计有明确要！求外：设备的安装宜不作】永，久，。性固定不采用地脚螺！栓方式宜安装成可移！动性的半固定式【。 ： ： ， 11．5．7 】 无脚？轮的设备《安装就位时应有【。承重部位地》面的保护措施— ， 11．5！．8  设备离墙距！离应能满足》维修和清扫要求【当靠墙安《装，时与墙间的缝隙【应密：封 《 11．5．】9， ， 设备底《面应抬离地面80m！m～150m—m不能抬《高这一距离时应落】地安：装与地面间的缝【隙应密封 —。 11．【。5．：1，0  水池、水槽等！。用水设备与》。围护结？构接：触的边沿《部位的缝隙应密【。。封 ？ ？ 11？．5．11  【设备配管配线所用】各，种管线原料和—垫料：、，。。填料等辅料应—对产品和环境无不良！影响应避免在—洁净环境中进行材料！加工当不可避免时应！采取防止粉尘扩【散措施 】 11．5．12 ！ ，当，设备较高无法擦拭】到顶部？时应采取可以—清扫的措《。施 ： ： ， 11．5—．13  应—在设备找《正、调平《后进行设备二次配管！、配线？ ， ，