1》1．5  工艺设】备安装 — 11．】5．1 《 ，工艺设备的安装不】应影响洁净室参数】和，服务：。功能 》 ： 11．5》．2  工艺设备安！装时现场的净化【空调系统应已连【。。续，运行：24h以上；现场除！正常照明《外应：配备三相380V、！单相22《。0，V和低压行灯电【源 《 ： 11．5．—3  任《何用于大设备的提升！、，牵引或定位的专【用设备在进入—洁净室安装现场前】。应彻底清洁并应检查！有无脱屑、剥落的】表面或不宜进—入洁净环境的材【料 ： 《 11．5．—4  设《备安装？时应妥？善保护墙壁与地【面设备的《软胶轮应予》包裹避免在》地面拖磨开》洞，作业不应划伤—或污染？所在表面《设备安装位置穿越不！。。同洁净级别区—域，时穿越处缝隙应【用柔性材料填充、密！封并应？。装饰处？理 《 ：。 11．5．5 】。。 设：备安装时宜》在设：备周：围设临时隔离墙【设备周？围应留出足够的安装！空间隔离区内—应阻断正压送风【进入隔离区的人员应！按进入洁净区要求 ！ 11【。．5．6  除设】计有明确要求外【设备的安装》宜不作永《久，性固定不采用地脚螺！栓方式宜安装成可移！动性的半固定式 ！ ， 1《1．5．7  无脚！轮的：。设备安装就》位，时应有承重部位地面！的，保护措施 【 11．—5．8  》设备离墙距》离应：能满足维修》和清扫要《求，当靠墙安装时—与墙间的缝隙—。应密封 《 11．5！．9：  设备底面应抬】离地：面80？mm：～150m》m不能抬高这一距离！时应落地安装与【地面间的缝隙应密封！ 11．！。5，．，1，0 ： 水池、水槽等用水！设备与围护结构【接触的边沿部位的】缝隙应密封 】 11．—5．11  —设备：配管配？线，所用各种管》线原料和垫料—、填：。料等：辅料应对产》品和：环境无不良影响应】避免在洁净》环境：中进：行，。材料加工当不可【避免时？应采取防止》。粉尘扩？散措施 【 11．5—．12  》当设备？较，高无法擦《拭，到顶：部时应采取可以清扫！的措施 】 1：1．5．13 【 应在？。设备找正、》。调平后进行设备【二次配管、》配线 ？ ，