《11．5  工艺】设备安？。装 》 11．5】．1  工艺—。设备的安装》。。。不应影响洁净室参】数和服务功能 】 11．【5．2？  工艺设备安装时！现场的净化》空，调系统？应已连续运》行24h以上—；现场除正》常照明外应配—。备三相？3，。80V、单相2【20V和低压行灯】电源 《 ？ 1：1．5．3 — 任何用于大—设备的？提升、牵引或定位的！专用设？备在进入洁净室安】装现场前应彻底清】洁并应？检查有无脱屑、【剥落的表面或不【宜进入洁净环境的】材料 1！1，．，。5．4  设—备安装时应妥善【保护墙壁与地面【设备的软胶轮应予】包裹避免在地—面拖磨开洞作业不】应划伤？或污染所在表面【设备：安装位置穿越不【同洁净级别区域时穿！越处：缝隙应用柔性—材料填充、》密封并？应装饰处理 — 》11．5．5 【 设备安装时宜在】设备：周，围设临？时隔离墙《设备周围应》留出足够的安装【空间隔？离区内应阻断正压送！风进入隔离区的人】员应按进入洁净区要！求 — 11．5．6【  除设计有明确要！求外：设，备的安装《宜不作永久性固定不！采，用地脚螺栓方—式宜安装成可—移动性？的半：固定式 ！。1，1．5．《7  无脚》轮，的设备安装就位时】应有承？。重部位？地面：的保：护措施 】 11．5．8 】 设：备离墙？距离：。应能：满足维修和清扫要】求当靠墙安》装时与墙间的缝【隙应密封 》。。。 》1，1．5．《9  设备》底面应抬离地面80！。mm～1《。5，0m：m不能？抬，高，这一：距，离时应落《地安装与地面间的缝！隙应密？封 》 11．5—．10？  ：水，池、水槽等用—水设备与围护结构】接触的边沿》部位的缝《隙应密封 》 11【．，5．11 》 ，设备配管《配线所用各》种管线原料》和垫料、填料—等辅料应对产品和环！境无不良影》响应避？免，在洁净环境中进行】材料加工当不可避】免时应采取防止【粉尘扩散措施 ！。 ， 11．5．12！  当设备较高无法！擦拭到顶部时—。应采取可以清扫的】措，施 》 1？1．5．13—  应？在设备找正、调平后！进行设备二次配管】、配线 》