： 1？1．5 《 工艺？设备安？装 ： 《。 ， 11．5．1 ！ 工艺设《备，的安装不应影响【洁净室参数和—服务功能 》 《 1：1．：5．2  工—艺设备安装》时现场的净化空【调，系统应已连续运【行24h以上—；现场除正常照明】外，应配备三相3—80V、单》相220V和低压】行灯电源 】 11．5．3 ！。 任何用于大设备的！提升、？牵引：。。或，定位的专《用设备在进入洁净室！安装：现场前应彻底清洁】并应检查有无脱【屑、：剥落的表面或不宜】进入洁净环境—的材料 》 11．5．！4  设备》安装时应《妥善保？护墙壁？与地面？设备的软胶轮应予包！裹避免？在，地面拖磨开洞—作业不应划伤或【污染所在表》面，设备安装位》置穿越不同洁净级别！区域：时穿：。越处缝？隙应：用柔性？材料填？充、密封《并应装？。饰处理 【 11．5．【5 ： 设备安装时宜在】设备周围《设临时隔离》墙设备周围应留出】足，够的安装空间—隔离区内应阻断【正压送风进入隔离区！的人员应《按进入洁净》区要求 — 11．5【．6  除设计有明！。确，要求外设《备的安？装宜不作永久—性固：定不采？用地脚？螺栓方式宜安—装成可移动》性的：半固定式 》 《 ，11．5．》7， ， 无：脚轮的设备》安装就位时应—有承重部位地面【的保护措《施 — ，11．5．8  设！备离墙？距离应能满》足维修和清扫要求】当靠墙安装时与墙间！的缝隙应密封 】 11—．5．？9  设备底—面应：抬离：地面：80mm～150m！。m不能？抬高这一距》离时应？落地安装与地面间的！缝隙：应密封 ！11．？5．1？0  水池、水【槽等用水《设，备与围护结构接触】的边沿？部位：的，。缝隙：应密封 — 1《1．5？．11？  设？备配管配线所用【各种管线原》料和垫料《、填料等辅料应对】产品和环境无不良】影响应避免在洁净】环境中进行材料加】工，当不可避免时应采】取防止？粉，。尘扩散措施 ！。 1？1．5．12 【 当：设备较高无法擦【拭到顶部时应采【取可以清扫的—措施 》。 11．—5，．13  》应在设？备找：正、调平后》。进行设备二次—配管、配线 【