， 11．5  ！工艺设？备安装 — 11．】5．1？。  工艺设》备的安装《不应影？响洁净？室参数和服务—功能： ， ， ？ ，。11：。．5．2《  工艺设备安装】时，现场的？净化空调系统—应已：连续运行24—h以上；《现场除正常照明【外应配？备三相？3，80V、单相220！V和低压行灯—电源 》 11．5【．3  任何用于】大设备？的提升？、，牵引或？定，。位的专用设备—在进入洁净室安【装现：场前应彻《底清洁并应》检查有无《脱屑、剥落的表【。面或不宜进入—洁净环境的材—料 》 11．5．4】  设？备安装时应妥善保】。护墙壁与地面设备的！软胶轮应予》包裹避免在地—面拖磨开洞作—业不应划伤或污染】。。所在：表面设备安装—位置穿越不》同洁净级别》区域时穿《越处缝隙应》用柔性材料填充【、密封并应装饰【。处理 【 11？．5．5  设【备安装时《宜在设备周》围设临时《隔离墙设备周围应】留，出足够的安装空间隔！。离区：内应阻断正压—送风进入《隔离区？的人员应按进入【洁，净区要求 ！ 11．5．6【  除设《计有明确要求外设】备的安装宜》不作永久性固—定不：采用地脚螺栓方式宜！安装成可移动—性的半固定》式 》 11．5．7】  无脚轮的设备安！。装就：位时：应有承重部位地面的！保护措施 》 11．】5．8 《 设备离墙》距离应？能满足维修》和清扫要求》当靠墙安装时与【墙间的缝《隙应密封 — 11．5】．9  设备底面】应抬离？地面80mm～【15：0mm不能抬高这】一距离？时应落地《安装与地面间的【缝隙应？密封 1！1．5．1》。。0  水池、水槽】等用水设备与围护】结构接触的边沿部位！的缝隙应密封 】。 ， 11．5．1！1  设备配管【配线所用各种管线原！料和垫料、填—料等辅料应对产品和！环境无不良》影响应？避免在洁净环—境中进行材料—加，工当不可避免时应】。。。采取防止《粉，尘扩：散措施 】 11？。．5．12》  当设备》较高无法擦》拭到顶部时应采取可！。。以清扫的措施 】 ？ 11．5．1【3  应在》设备找正、调—平后进行设备—二次配管、配—线 ？