1》1．5  》工艺：设备安装 — 11．！5．1  工—艺设备？的安装不应》影响洁净室》参，数和：。服务：功能 《 11．5】．，2  ？工艺设备安装时现】场的净化空调—系统：应已连续运行—。24h以上；现场除！正常照明外应配【。备三相38》0V、？单，相22？0V和低压行—灯电源 — 11》．5．3  任何用！于大设备的提升、牵！。引或定位《的，专用设备在进入洁净！室安装现场》。前应彻底清洁并【应检查有无脱屑、】剥落的表面或不宜进！入洁净环境的材【。料 》 11．5．4】  设备安》装时应妥善保护墙】壁与地？面设备的软胶轮应予！包裹避？。免，在地面拖磨开洞作】业不应划伤》或污染所在》表面设备《安装位置穿》越不同？洁净级？别区：域时：穿越处缝隙应用柔】性材料填《充、密封并应装【。饰处：理 ？ 《。11．5《．5 ？ 设备安装时—宜在设备周》围设临时隔离墙设】。备周：围应留出足够的【安装空间隔》离区内应阻断正【压送风进入隔离【区的：人员应按进入洁净区！要求 — 1？1．5．《6  除设计有明】确，要求外设《备的安装宜不作永】久性固定不采—用地脚？螺，栓方式宜安装成【可移动性的》半固定式 》。 ： ？11．5．》7  无脚轮—的设：备安装就《位时应？有承重部位》。地面的保《护措施 —。 11》．5．？8  设备离墙【。距离应能满足—维修和清扫》要求当靠墙安装时与！墙间的？缝，隙，应密：封 ：。 11．】5．9  》设备底？。面应：抬离地面80mm～！。15：。0mm不能抬高这一！距离时？。。应落地安装》与地面间的缝隙应】密封 — ， 1：1．5．10  水！池，。、水槽等用水设备与！围护结构接》触的边沿部位的缝】隙应密？封 《 ， 11．》5．：11  设备配管】。。配线所？用各种管线》原料和？垫料、填料等辅料】应对产品和环境无不！良影响应《避免在洁净环境中】进行材料加》工当不可避免—时应采取防止粉【尘扩散措《施 ？ ？ 11．5．12 ！ 当设备较》。高，无法擦拭到顶—。部时应采取可以清扫！的措施？。 11．！5．13  应在设！备找正、调平后进行！设备二次《配管、配线 — ，