， 11．5【  工艺设》备安装 《 》 ：11．5．1  】工，艺设备的《。安装不应影响洁净室！参数和服务功能【 —11．5《．2  工艺设备】安装时现场》的净化空调系—统应：已连续运行2—4h以上；》现场除正常照—明外应配备》三相3？80V、单相220！V和低压行灯电源 ！ 11．5！。。．3  《任何用于大设—备的提升、》牵引或定位的—专用设备在进—入洁净室安装—。现场前应彻底清洁】并应检查有无脱屑】、剥落的表面—或不宜进入洁净【环境的材料 】 ，。 11．5．4】。  设备《安装时应妥》善保护墙壁与地面】设备的？软胶轮应予包裹【避免在地面拖磨开】洞作业不应划伤或】污染所在表》面，设备安装位置穿越】不，同洁净级别》区域时？穿越处缝隙应—用柔性材《料填充、密封—并，应装饰处理 【 11．【5．5  设备【安装时宜《在设备？。。周围设临《。时隔离墙设备周【。围应留出足》够的安装空间隔离】区内应？阻断正压送》风进入隔离区—的人员？应按进入《洁净区要《。求 【11：．5．6  —除设计有明确要【求外设备的安装宜不！作永久性《固定不采用地脚螺】栓方式宜《安装成可《移动性的《半固：定，。式 — 11？．5．？。7  无脚轮—的，设备安装就》位时应有承重部位】地面的保护措施 ！ 11．【。5．8  设备离】。墙距离？应能满足《维修和清扫》要求当靠墙安装时】。与，墙间的缝隙应密封 ！ 》11．5《．9  设》备，。底面应抬《离地面80mm～】1，50mm不》。能抬高这一》距离时应落》地安装与地面间的】缝隙应密《封 ： 11．5！．1：0  水池、—水槽等用水设—备与围？护结构接触的边沿部！位的：缝隙应密封 【 1》1．5．1》1  设备配管配线！所用各种管线原料和！垫，料、填料《等辅料应对产品和】环境无不良》影响应？避，免在：洁净环境中》进，行材料加工当不可】避，。免时：应采：取防止？粉尘：扩散措施 ！ ，11．5．》。12  当》设，备较高无《法擦拭？到顶：部时应采《取可以清扫的措【。施 ： 11【。．5．13》 ， 应在设备》找正、调平后—进行设备二次—配管、配线 — ，