？ 6．6《  气体供》给装置 ！ 6．6》．1  瓶装—气体供？。给装置？应安装在使用洁【净室之外的房间两】室之间穿墙》的管道应加套管并应！。在，管道与套管》间隙填满不燃材料】并加：密封 】6．6？．2  装》置，出口管道上的安全】阀在：安装前应《进行阀？门开启检查开—启，压力、密封压力和回！座压力？应符：合安全阀性能要求】 —6．6．3  【集中式真空》吸引：装置应安装在远离洁！净室的建筑物外【安装时应采取有【效隔声防振措—施与其连接的—弯管半？径不应小《于5倍管外》径过滤清《除设施应安在排气口！ ：