： 6．6  气体！供给装置 【 ？ 6．6》．1：  瓶装气体—供给装？。置应安装在使用洁净！室之外？的房间两室》之间穿墙的管道【。应加：套管并应在管道与套！管间隙填满不燃材料！并加密？封 ： 6．6】．2  装置出【口管道上的安—全阀在？安装前？应进：行阀门开启检查开】启压力、密封—压，力和回座压力应符合！安全阀性能要求 】 6．【6．3  集中式真！空吸：引装：。置应安装在远—离洁净室《的建筑物外安装时应！采取有效隔》声防振措施与其连接！。的弯管？半径不应《小于5倍《。管外径过《滤清除设施应—。安在排气口 【