6．6  ！气体供给装置 】 6【。．6．1 》 瓶装气体》供给装置应》安装在使用洁净室之！外，的房间两《室之间穿墙》的，管道应加套管并应】在管道与套管—间隙填满不燃材料并！加密：封 ： 6—．6．？2  装《置出口？管道上的安全阀在】安装前应进行阀门开！。启检查开启》压力、密封》压力和回座》压力应符合安—全阀性能要求— —6．6．3 —。 集中式真》空吸引装置》应安装在远离洁净室！的建筑物外》。安装：时应采取有效—隔声防振措施与其】连接的弯管半径不应！。小于5？倍管外径过滤清除】设，施应安在排气口 】。 ，