6．6 】 气：体供给装置 — 》 6．《6．：1  ？瓶装气体《供给：装置应安《装在：使用洁净室之外的】房间两室之间—穿墙的管道应—加套管？并应在管道》与套管间隙填满不燃！材料并加密封 ！ 6．》6．：2  装《。置出口管道上的【。安全阀？在安：装前应进行阀门开】启检查？开启压力、》密封压力和回座【压力应符合安全阀】性，。能要求 ！6．6．3》  集？。中式真空吸引装置应！安装在远离洁净室】的建筑物外》安装时应采取有效】隔声防振措》。施与其？连接的？弯管：半径不应小于5【倍，管外径过滤清除设】施应安在排气口 】 ，