6．—6  气体供给装置！ ， — 6．6．1 【 ，瓶装气？体，供给装？置应安装在使用洁净！室之外的房间—两室之间穿》墙的管道应加—。套管并应《在管道与套管间【隙填满不《燃材料并加密封【 6【．6．2 》 装置出口管道【。上的安全《阀在安装前应—进行阀门开启检查】开启：。压力、密封压力和】回，座压力应符合安【全阀性？能，要求 6！．6．？3  集中式—真空吸引装置应安】装在远？离洁：净，室的建筑物外安装】时应采取有效隔声防！振，措施：与，其连接的弯》管半径不应小于【5倍管外径过—滤，清，除设施应安在—排气口 》