6．6  ！气体供给装置 ！ 》6．6？．1  瓶装气体】供给装置应》安装：在使用洁净室之【外的房间两室之间】穿墙的管道应—加套管并应在管道与！套管间？隙，填满不？燃材：料并加？密封 】6．6．2  【装置：出口管道上的安全】阀在安装前》应进行阀门开启【检查开启压力、【密封压力和回座【压，。力应符合安》全阀性能《要，求 6】．6．3  集中】式真空吸引装置应安！装在远离洁净室【的建筑物外》安装时应采取有【效隔声防振措施【与其连接的弯管【半径：不，应小于？5倍：。管外径？过滤清除设施—。应安在排气口 【。 ，