6．6【  气体《供给装置 【 ？ 6．6．1 】 瓶装气体供给装置！应安装在使用—洁净：。。。室之：外的房间两室—之间穿墙的》管道应加《套，管并应在管》道与套管间隙填满】不燃材？料并加？密封 】6，．6．2 》 装置出《口管道上《的安全阀在安装【。前应进行阀门开【。启检查开启压—力、密封压力—和回座压力》应符合安全阀—性能要求 】 6．6》．3：  集？中，式真空吸引装置【应安装在远离洁净】室的建筑物外—安，装时应采取有效隔】声防振措《施与其连接的弯管】半径不应小于5倍管！外径过滤清》除设施应安在排【气口 ？ ，