6 — 气：体系统 《 】 6．1  一【般规定 —。 》6．：1．1 《 洁净室气体系统施！工，包含工作压力—一般不高于1M【Pa：洁净的和高纯的永久！气体、特种气—体、：医用气？体、可燃气体、惰】。性气体输送管—道以及真空吸引【管道等的施工与验收！ 《 ，   《