2  术 ！   语 》 ？ ？ 2．0．1  洁！净室：及相关受控》环，境  cle—anrooms 】and 《asso《ciated co！。n，trolle—。d environ！ment ！ 洁净室《及其附属的》、辅助的、相联系】的，开放：。或封闭的内部或【周边空？间该空间《的悬浮微粒浓度【等，参数也受到》。。符合相关《标准的控制 】 2．》0，．2  《单向流洁净室 【 unidire】ction》al：。 airflow ！clean》。room 】 ：由方向单《一、：流线平行并且速【度均匀稳定》的单向流《流过房？间工作区整个—。截面的洁《。净室： ： 2．0．3！ ， 非单？向流洁净室》  ：non？-un？idir《e，ction》al a《irflow— c：l，eanroom 】 ？ 是指流线不平】行，、方向不单一—、速度不均匀而且有！交叉回旋的紊乱气流！。。流过房间工》作区整？。个截面的洁净—室亦称乱流洁—净室 】2．0．4  【混，合，流，洁净室 m》ixed airf！low 《cleanroo】m 《 同时分—别，存在单向流和—非单向？。流两种气流流型的】洁净室 【 ， 2．？0．5？  微粒《  p？ar：ti：cle？ ： ： 悬浮在空气中】。的、固态的或液【态的：、活：性的或非活性的【物质其粒径(对【本标准而言》)在10《nm～？100？μm的范《围 【2．：0．6 《 气溶胶《  ae《rosol》 》 在空？气中悬浮的》。微，小固体或液体微【粒的：分散系 — ： ，2．0．7》  生物气》溶胶 bio-a】erosol 【 散布于】气态：。环境中的《生，物介：质 ？ ？ 2．0．8  浮！游菌 airb【orne b—acter》ia 《 悬浮—在空气中的》带，。菌微粒 】 2．0．9 【 沉降菌  s【cttlemen】tal bacte！ria — 降落在表面】上的带菌微粒 ！ 2．0．10！  测试用气溶胶 ！ test》 aero》sol 》。 呈气态悬浮！的固体或《液体的微粒》其粒径分布和—浓度已知《且，受控 2！．0．？11： ， ，泄漏  《leak 】 空？气过滤器系统—因完整？性不佳或有》。缺，。陷所引起的污—染物透过透过的【污，染物超过下风向浓度！预计值 ！2．0．1》2 ： 检漏 《 ，le：ak test【 找到】过滤器？和机组部件泄漏【的方法即使用气【。溶胶光度计或光学】。粒，子计数器以相互重叠！。的扫描区《域扫描通过》测试区 》 2．0【．13  》过滤器安装后泄漏】测试  《ins？talled— fil《ter 《lea？kage 》tes？t， ： 为确—认过滤器安装良【好所进行的测试测】试时要验证设施没有！旁路渗漏过》滤器：。及过滤？器和：。。安装框架间的—密封面没有》缺陷和泄《漏 》 2．0．14 ！ ，静态  at-re！st： ： 全部—建，成且设施《齐备净化空调系【统运行正常现场没】有，人员此时《生产设备已安装完】毕而未？运行的洁《净室状态；或生产】设备停？止运行并进》行自净达到规定【时间：后的洁？净室：。状态；或正》在按：建设方(用》户，)和施工《方商定的《方式运行的洁净【室状态是洁净室【的三种占用状态【(，空态、静态、动态】)之一  》 ： 2．》0，．15  高纯气】体 ultr—apur《e ：g，a，s 《 气体成分【纯，。度大于或等于9【9．：9995％含水【量，小于5ppm的【气体： ： 2．—0，．16 《 纯化水  pur！ity wat【er (《去离子水或深度【脱盐水) ！ 指温度25℃时电！。阻率大？于0．？。1×106Ω·【cm：的水： ： 2．—0，．17  高纯【。水，(注射用水)  u！l，trap《ure？ ，water — ，。 指温—。度25℃时电阻率】大于0．1》×106Ω·cm】水，中，大，于，或，等于0．5μm【的尘粒？小于：。3，00粒／《m，L活：微生物小于》。9个／m《L的纯水《 —2．0．1》8 ： 大(宏)》粒，子 m？acro《par？tic？l，e 当】量直径大于5μm】的微粒 《 ： 2《．0．1《9  超微粒子  ！u，l，。trafi》ne partic！。le 【 当量直径小于0．！1μm的微粒 】 2．0．2！。0，  永久气体  】p，。erman》en：t g？as ？ ： ： 临界温度低于-1！0℃的气体如空气】、氧、氮、氦—、甲烷、一氧化碳】等 2】．0．21 — 特种气《体  ？specia—l gas 】 为满足特定用！途的气体包括—单一：气体或？混合气体单一气体有！259种《其中电子气体11】5种有机气体6【3种无机气》体35种卤》碳素气体29—种同位？素气体？17种 《 ， 《 2．0．22  ！医用气体 me【di：c，al gas ！ ， ：符合医疗相关—规定：要求供？治疗、？诊断、预防等医【。学方面？使用：的气体 》 ： ，。 2．0．》23  洁净—气体  cle【a，n， ga？s — 单位体积所含微】粒的数量小于—或等于使用此—气体的洁净》环境洁净《度的：常用气体 — 《2．0．24—  分子态污—染，物 ai《rborne mo！lecular 】cont《aminat—i，onAMC》 ， ， 含在—空，气中的？具，。有分：子量级？的污染物如酸—性气体、碱性气体】、凝：聚性有机物》质，、用于半导体的掺】杂物：、高：挥发性有机》物质和分子级的金属！等 ？