？。 2  术》    语 ！ ？ ，2．0．1  洁净！室及：相关受控环》境  clean】room《s and》 associat！ed： cont》r，ol：led 《envi《ronmen—t 》。 洁净室及其【附属的、辅助—的、相联系》的开放或《封闭的内部或—周边空间该空间的悬！浮微粒浓度等—参数也受《到符合相关标—。准的控？制 ？ 2．0．】2  单《向，。流洁净室  u【nidir》ec：tional 【airflo—w clean【room 【 ： 由方向单一、流线！平行并且速度均【匀，稳定的单《向流：流过房？间，工作区整个截面的】洁净：室 ： ？ 2．0．3  ！非单向流《洁净室  non-！unid《irectiona！l air》。fl：ow ？c，leanr》oom？ ，。 ， 是指流【线不平行、方向不】单一、速《度不均匀而且有【交叉回？旋的紊乱气流流过房！间工作区整个截面的！洁净室？亦称乱流洁》净室 2！．0．4  混【合流：洁净：室 m？ixed air】flow 》c，leanr》。o，om — 同时分别存在】单，向流：和，非单向流两》种气流流型》的洁净？。室 ？ 《。2．0？。．5  微粒—  p？arti《cle 《 悬浮在空！气中的、《固态的或液态的、活！。性的或？非活性的《物质：其粒径？(对本标准而言)】在10nm～100！μm的范《围 — 2．0《．6  气溶胶【。  aeroso】l 》 在空气中悬浮】的微小固体或液【体，微粒的分散系— 2．】0．7？  生物气》溶胶 ？b，io-ae》rosol — 散布于】气，态环境中的生物【介质 》。 2．0—．8  浮游—菌 airb—or：ne ba》cter《ia —。 悬浮在空气【中的带菌微粒— 》 2．0．9  沉！降菌 ？ scttlem】ental —。bact《eria《 降【落在表面上》的带：菌微粒 】 ，。2．0？．10  测试【用气：溶胶  test ！aeros》ol 《 呈气态【悬浮：的固体或液体的微】粒其粒径分》布和浓度已知且【受，控 ？ 2．—。0．1？。1，  泄漏  le】a，k 【空气过滤器系—。统因：完整性不佳或有缺】陷所引起的污—染物透过《透过的污染物—超过下风向浓度预计！。值 2】．0．12  检】漏  le》ak tes—t 找】到过滤器和机组部】件泄：漏的方法即使用【气溶胶光《度计或？光学粒子计数器以相！互重叠？。的扫描区域扫描【通，过测试区 》 2—．0．13  过】滤器安装《后泄漏？测试  i》n，stalled f！ilter lea！ka：ge test【 为【确认过滤器安装良好！。所进行的测试测试时！。。要验：证设施没有旁路渗】漏过滤器及过滤【器和安装框架间的】密封面没有》缺陷和泄漏 【 2．0【．，1，4  ？静态  at—-rest》 ： 《全部建成且》设施：齐，备净化？空调系统运行正常现！场没有人员》此时：生产设备已》安装完毕《而未运行的洁—净室状态；或生产】设备停止运》行并进？行，自，净达到？规定时间后的—洁净室状态》；或：正在按建设方(用】。户)：和施工方商定的方式！运行：的洁净室状态是洁净！室的三种占用状态(！。空态：、静：态、：动态)之《一  《 2．—0．15  高纯】气，体 ul《trapure【 gas 【。 气《体成分纯度大于或】等于99．99【95％？。。含水量小于5ppm！的气体？ 》。 2．0．16【  纯化水 — ，pu：rity《 wa？ter？ (：去离子水或深度脱盐！水) ？ 指温度2！5℃时电阻》率大于0．1×10！6Ω：·c：m的：水 ？ 2．0．1！7  高纯》。水(注射用水—)  ult—rapure wa！ter 》 指温度2】。5℃时？电阻率大于0．1】×106Ω·cm水！中，大于或等于0．5μ！m的尘粒小》于300《粒／：mL活微生》物小于9个》／mL？的纯：水 ： 《 2．0．18【 ， 大(宏)粒子【 mac《。roparticl！e 当量！直径大于《。5μm的微粒 】 2．—。0．19  超微】粒子  u》ltr？a，fine pa【rticle— ？ 当《。量直径小于》0．1？μm的微粒 【 ？ 2．0《。．20  永—久气体  pe【rmanent【 gas ！ ，临界温度低于—。-10？℃的气体《如空气、氧、氮、】氦、甲烷《、一氧化《碳等 2！。．0．21  特】种气体  sp【。ecial》 gas ！ 为满足特定—用途的气体包括单一！气体或混合气体单一！气体有？259种其中电子】气体115种—有机气体63种无】机气体35种卤碳】素气体2《9种：同位素气体17种】。。  》 2．0．22】  ：医用气体 me【dic？al gas ！ 符合》医疗相关《规定要求供治疗【、诊：断、预防等医学方】面使用？的气：体， 《 2？．，0．23  洁【净气：体 ： cle《an gas 【 ， 单位体【积所含微《粒的数量小于或等于！使用：此气：体的洁净环境洁【净度的常用气—。体 — 2．0．24【  分？子态污染物 air！。borne mo】l，ecu？l，。ar c《ontaminat！ionAMC—。 含在空！气中的具有》分子量级的》污染物？如酸性气体》、碱：性气体、《凝聚性有机》物质、用于半导体】的掺杂物、高—挥发性有机物质【和分子级的金属【等 ？