2 — ，术   《。。 语 》 2—．0．1 》 洁净室及相—关受控环《境  c《。lean《rooms —an：d ：a，sso？ci：at：ed cont【rolled— env《i，ronmen—t， ： ？ 洁净室及其附属】的、辅助的》、相联系的开放或】封闭的内部或周边空！间该空间的》悬浮：微粒浓？度等参数也受到符】合相关标准的控制】 2【．0．2  单【向流洁净室 —。 u：ni：dir？ectional ！ai：rflow cl】eanroom ！ 由方—向单一、流线—平，。行并：且速度均匀稳定的单！向流流过房间工作区！整个截面的洁净室 ！ 2—．0．？3  ？非单向流洁净室 】 no？n-u？nidire—c，tiona》l air》flow《 c：lea？nroo《m 《 ？是指流线不平—行、方向不》单一：、速度不《均匀而且《有，交，叉回旋？的紊：乱气流？流过房间工作区【整个：截面的？洁净室亦称乱流洁】净室 — 2．0．—4 ： 混合？流，洁净室 m》ixed《 airflow】 cl？eanroom【 》 ，同时分别存在单向】流和非单《向流两种气流流型】的洁净室 — 2》．，0．：5  微粒  p】arti《cle — 悬浮在—空气中的《、固态的或》液态的、活》性，的或非活性的物质其！粒径(对本标—准而言)在10nm！～100μ》m的范围《 2【．0．6  气【溶胶  aero】sol 【 在空气中悬浮的！微小固体或液体微粒！的分：散系 】2．0．7  生物！气溶胶 bio【-a：eroso》l 散】布于：气态：环境中的生物介【质 》 2．0．—8  浮游菌 【airbor—ne bacter！ia 》 ？。悬浮在空气中的带菌！微粒 】2．0．9  沉】降菌  sc—ttle《ment《al： bac《t，e，ria？。 》。 降落在表面上【的带菌微粒 — 2．0】．10？  测试用气溶胶】  test— aer《o，sol 》 ： ：呈气态？悬浮的固《。体，或液体的微粒其粒】径分布和《浓，度已知？且受控 】 2．0．11 】。。 泄漏  l—eak 《 》空气过滤器》系统因完整性不佳】或有缺？陷所引起的污染【物透过透过的污染物！超过：下，风向浓度预》计值 】2，．0．12  【检漏  l》eak tes【t — 找到过滤器—和机组部件泄漏的】方法即？使用气溶胶光—度计或光《。学粒子计数器以相互！重，叠的：扫描：区域扫描通过测【试区： —2．0．13 【 过：滤器安装后泄—漏测试  》in：stalled f！il：t，er le》akage te】st 】为确认？。过，滤器安装良好所进行！的，。。测试测试时要验证】设施没有《旁路渗漏过滤器【及，。过滤器和安装框【架间的密《封，面没有？缺陷和泄漏》 ？ 2．》。。0．14  —静态  a》t-re《st ？ ： 全部》建成且设施》齐备净化空调—系统运行《正常现场没》。有人员此时生产设备！已安装完毕》而未运？行的洁净《室状态；或生产设】。。备，停，止运行并进行自净】达到规定时间后【的洁净室状态；或正！在按建设方》(用：户)和施工方商定的！方，。式运行的洁净—室状态是洁净—室的三种占用状【态(空态、静态、动！态)之一  】 2．0．【15  高纯—气体 u《ltrapur【e gas — 气体成分！纯度大于或》等于99．》99：95％含水量小于5！pp：m，。的气：。体 【2．0．《16  纯》化水 ？ pur《ity wate】r， (去离子水或深】度脱盐水)》 指温度！2，5℃：时电阻？率大于0《．1×106Ω·c！m的水 【 2．0．1【。7，  高纯水(注【射用水)  u【ltrapure ！w，ater《。 —指温度25℃—时电阻率大》于0．1×106】Ω·cm水中大【于或等？于，0．5μm的尘【粒，小于：3，0，0粒／m《L活微生物》小于9个／mL的纯！水 》 2．0．1【8  大(宏)粒子！ macrop【artic》le — ，。 当：量直：径大于5《。μm的微粒 ！ 2．《0．1？9  超微粒子 】 ul？t，raf？ine par【ti：cle —。 当量直径小】于0．1μ》m的微粒 ！ 2．0．》20： ， 永久气体  p】ermane—nt： gas《 ， ， 临界温度低！于-10℃的气体如！空气、氧《、氮、氦、甲烷、一！氧化碳？等 《 2．》0．2？1  特种气—体 ： sp？ec：ia：l gas 【 《为满足特定用途【。的，气体包括单一气体】或混合气体单一【气体有259种其中！电子气体11—。5，种有机气体》6，3种无机气体35种！卤碳素气体29种】同位素气《体17种 》 ， 》2．0．22 【 医用？气体 ？medical 】gas ！符合：医疗相关规定要求供！治疗：、诊断、预防—等医：学方面使《用的气体 》 ： 2．0．【23 ？ 洁净气体》  clean【。 gas — ， 单位体—积所含微《粒，的数：量小于或等于使用此！气体：的洁净？环，境洁净度的》常用气体 【 2．0．24！。。  分子态污染【物 ai《rborne m】ole？cular》 contami】nationA【M，C 》 ， 含在空气中—的具：有分子量《级的污染物如酸性】气体、碱性气体、】凝聚性有机物质、】用于半导《体，的掺杂？物、高挥发性有机物！。质和分子级的金属等！ ：