2  术】    语 — 》 ：2．：0．1  洁净【室及相？关受控环境 — cl？eanroom【。s an《d ass》ocia《ted con【trolled【 e：nv：iro？nment 【。。 洁净室及】其附属？的、辅助的、相联】系的开放或》封闭：的内：部或周？边空间？该空间的《。悬，浮微粒浓度等参数也！受，到符：合相关？标准的控制》 ？ 2．0．2】  单向流洁净【室，  un《idirectio！nal ai—rflow》 cleanroo！。m 由】方向单？一、流线平行并且】速度均匀稳》定的单向《。流流过房间》工作区整个截面的】洁净室 】 ，2．0？．3  非单向【流洁净室 》 ，non？。-u：。nid？irecti—ona？l air》flow《 cleanr【oom 】 是指流《。线不平行、方向不单！一、速度不均—匀而且有交叉回旋】的紊乱气流流过【房间：工作区整个》截面：的洁净？室亦称乱流洁净室 ！ 《 2．0．4  混！合流洁净室》 ，mixe《d ：air？f，l，ow cle—anr？oom — 同时分别存】在单向？流和非单向流两【种气流流型的—洁净：室 ？ 2．0【．5 ？ 微粒  part！i，cle —。 悬浮在空气中！的、固态的或—液态：。的、活性《。的，或非活？性的物质其粒径【(对本？标准而言)》在10？nm～1《00：μm：。的，范围： 》 2：．，0．6 《。 气：。溶，。胶 ： aer《osol ！ 在空气中悬浮的微！小固体？或液体？微粒的分散》系， 2．】。0．：7  生物气溶【。胶 bi《o-aerosol！ 散布】于气态环《境中的生物介质 】 《 ，2．0．8  浮游！菌， airbo—rn：e bacte【ria 》 《悬浮在空气中的带】菌微粒 》 2》。。．0：。．9  沉降菌  ！scttleme】ntal ba【cte？r，。ia 降！落，在表面上《。的带菌微粒 ！ 2．0》．10  》测试用气溶胶 【 ，test 》aeros》ol 《 呈气—。。。态悬浮的固体或液】体的微粒其粒径【分布：和浓度已知且受控】 2．】0．11  —泄漏  l》ea：k 空气！过滤：器系统因《。完整性不《佳，或，有，缺陷所引起的—污染物透《过，透过的污染物超过】下风向浓度预计【值 — 2：．，。0．12  —检漏  le—。。ak te》st ？ ： 找到过滤器和！机组部件泄漏的方法！。即使用气溶胶光度计！或，光学粒？子，计数：器以相互重》叠，。的扫描区域扫—描，通过测试区》 ？。 2《．0．1《3  过滤器安装】后泄：漏测试  ins】ta：lle？d， fil《t，er leak【ag：e test ！ 为《确认：过滤器？安装良好所进行的测！试，。测试时要验》。证，。设施：没有：旁路渗漏过滤器及过！滤器和？安装框架间》的密封面没》有缺陷和泄漏—。 《 ：2．0．14—  静态  —at-re》st 【 ，全部建成《且设施齐备净—化空调系统运—行正常现场没有人】员此时生《产设备已安装完毕而！未运行的洁》净室状态；或生产】设备：。停止运行并进行自净！达到规定时间—后的洁净室状态【；或正在按建设方(！用户)和《施工方商定的方【式运行的洁净室状态！是洁净？室的三种《占用状态(》空态、静态、动态)！之一  】 2．0．15  ！高纯气体 ul【trapur—e gas 】 ， 气？体成分纯度大于或等！于99？．9995％含水】量小于5pp—m的气体 — 2．0【．16  纯化【水  ？purity wa！te：r (去离子—。水或深度脱盐—水) 《 指温—度2：5℃时电阻率—大于0．1×106！Ω·cm的水 ！。。 2《．0．17 — 高：纯，水，(，注射用水)》  ultra【pure wate！r ： 指—温度25℃时电阻】率大：于0．1×106】Ω·cm水中大于或！等，于0：。．5μm的尘粒小于！30：。0粒／mL活微生】物小于9个／m【L的纯水 — ？ 2．0．18  ！大(宏)粒》子 ：macrop—。articl—e 当量！。直径：大于5μ《m的微粒 【 2．0—．19  》超微粒子《  ultr—a，fine p—article ！。。 ， ？当量直径小》于0．1μm的【。微粒 ？ 2．0．！20  永久气体 ！ permane】nt gas ！ 临界》温度低于-10℃的！气体如空气、—氧、氮、氦、甲【烷、：一氧化碳等 — ：。 2．0．2】1  特种》气体  spe【cial gas】。 ？ ： 为满足特》定用途的气体包【括单一气体》或混合？。气体单一《气体有259种其】中电子气体1—15种有机气—体6：3种无机气》体35种卤碳素气体！29种同位》素气体17种—  — 2．0．22【  医用气体 me！di：ca：l gas ！ 符合医疗相【关规定要求供治疗、！诊断、预防等医学】方面：使用的气体 ！ 2．0．23】  洁净气》体，  cle》an： ga？s ？ ： 单位体》积所含微《粒的数量小于—或等于？使用此气体的—洁净环境洁净度【的常用气体》 —2．0？．24  分子态污！染物 a《irborn—e molec【ular co【ntam《i，nationA【MC 【 含在空气》中的具有分子量【级的污染《物如酸性《气体、碱性气—体、凝聚性有机物】质、用？于半导？体，的掺杂物、高挥发】性有机物质和分【子，级的金？属等 《