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2 术 ! 语:
》
,
2.0.—1 洁《净室及相关受控环】境 c《le:anro《。oms and【。 associ【。ated con】trolled【 ,。environm】ent
【
洁净室及其【附,属的、辅助的、【相联系的开放—或,封闭的内《部或周边空间该空间!的悬浮微粒浓度等参!数也受?到符合相关标准的控!制
《
2.0.2 ! 单向流洁净—室 : unidir【ectional】。 airflow !clea《nroom
—
,
《由方向单一、流线】平行并且速》度均匀稳《定的单向流流过房间!工作:区整个截《面的:洁,。。净室:
《
,。
2.0.3 】非单向流《洁净室 《。 non-unid!irec《tional a】irflo》w cle》anroom
】
《是指流线《不平:。行、方向不单—一,、速度不均》匀而:且有交叉回》旋的紊?乱气:流,流过:房,间,工作区整《个截面的洁净室【亦,称乱流洁净室
】
《2.0.4 — 混:合,流洁净室 m—ixed airf!low cl—eanro》om
?
同时【分别存在单向流【和非单向流》两种:气流流型的洁净室
!
》2.0.5》 微粒 pa】r,t,icle
》
悬浮在】空气中的《、固态的或液态的、!活性的或非活性的】物质其粒径(对本】标准而言)在1【0nm~10—0,μm:的范围
】
2.0《.6 气溶—胶 aero【sol
【
,
,在空:气中:悬浮的微小固—体,。或液体微粒的—分散:系
《
2.0.7】 生物气溶胶【。 ,bio-aer【osol
—
?
散布?于气态环境中—的生物介质》
2.0!。.8 浮游—菌 a?irb?orne bact!er:ia
《
?
悬浮在《空气中?。的带菌微粒
】
2.》0.9 沉降菌】 sc《ttl?ement》al ba》。cteri》a
:
,
《。。降落在表面上的【带菌微粒《
《
2.0》.10 》。。测,试用气溶胶 【。test《 aerosol】
呈气态!悬浮的固体或—液体的微粒其粒径】分布和浓度》已知且?受控
】2,.0.11 【泄漏 leak
!
《
空气?过滤器?系统因?完整性不佳或有缺】陷所引起的污染物】透过透过的》。污染物超过下风【向浓度预计值
】
,
:
2:.,0.12 检【漏 leak t!est
【
找到过滤器和机!组部:。件泄漏的方法—即使用气溶胶光度】计或光学粒子计【数器以相互重叠的扫!描区域扫《描通过测试》区
2】.,0.13 过滤器!安装后泄漏测试 !ins?tal?led? ,fi:l,t,er: leakag【e :test《
,
为确认过!滤器:安装:良好所进行》的测试测试时—要验证设《施,没有旁路渗漏—过滤器及过》滤器和安装框架间】的密封面没有缺陷和!泄漏
【
2:.0.14 — 静态 》at-?rest
】
:全部建成且设施齐备!净化空调《。系统运行正常现场】没有人员此》时生产设备已安装】完毕而未运行的洁净!室,状态;或生产设备停!止运行并进》行自净达到规定【时间后的《洁,。净室状态;》或正在按建》设方(用户)和施】工方商定的》方式运行的洁—净室状态是洁净室】的三种占用状态(空!态、静?。态、动?态)之?一
《
《2.0.15— 高纯气体 ul!trapur—e gas
—
气体【成分纯度《大于或等于》99.?。。9,995%含水量【小于5p《pm的气体
—
》2.0.1》6 纯化》水 purit】y, water— (去离子水或深度!脱,盐水)
—
指温度2【5℃时电阻率大于0!.1×106Ω【·cm的水
!
2?.0.17》 高?纯水(注射用水【) u《。ltra《pur?e :wa:ter
!指温度25℃时电阻!率大于0.1×10!6Ω·cm水—中大于或等于—0.5μ《m的尘粒小》于300粒/—mL活微生物小于】9,个/:mL的?纯水
【
2.0.》18 《大,(宏)粒子 m【acrop》arti《cl:e
当】量直径大于5—。μm的微《粒
:
2.【0.19 超【微粒子? ultra【fine p—。ar:tic?le
?
》当量直径小于0.】1,。μm:的微粒
【
,
,。2.0.2》0 永久气体【 permane!nt gas
【
临界温】度低:于-:10:℃的气体如空气、氧!、氮、氦、甲烷、一!氧化碳等
!
2.0《.2:1 特种气体 !speci》al g《as
为!满足特定用途的【气,体包括单一气体或混!合气:体,单一气体有259种!。其中电子《气体115种有机气!体63种无》。机气体35种卤【碳素:气体29种同—位,素气体17种 【
》
2.0.》22 医用气【体 :medical g!as
】符,合医疗相《关规定要《求,供治疗?、诊断?、预防等医学方面使!用的气?体
2.!0.23 —洁净气体 》 c:。lean gas
!
,
单位体积】所含微?粒的数量小于或【等于使用此气体的】洁净环?境洁净度的常用气】体
—
2:.0.2《4 分子态—污染:物 airbor】ne mol—ecular— con《taminat【io:。nAMC
】。
含在《空气中的具有分子】。量级的污染物—如酸性气体、—碱性气体、》凝聚性有机物—质、用于半导—体的掺?杂物:。、高挥发性有—机,物质和分子级—的金属等
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