2 — 术 ? 语《
《
,
2.0.【1 洁净室—。及相关受《控环:境 c《leanr》ooms a—。nd ?asso《ciate》d contr【ol:led envir!onment
】
?
洁净室及》其附属的、辅—助的、相联》系的:开放或封闭》的内部或周边空间该!空间的?悬浮微粒浓度等【参,数也受到符合相关标!准的控制
—
2.0【。.2: 单向流洁—。净室 uni【direction!a,l :。。airflo—w, ,cleanroo】。m
—
由方向单一—。、流线?平行:并且速度均匀稳定】的单向?流流过房间工作【区整个截面的洁【净室
】2.0.3 非单!向,流洁净室 —non-uni【direct—。iona《l airflo】w cleanr】oom
!是,指流线不平行、方】向不单一、》速度不均匀而且有交!叉回:旋的紊乱气流流过】房间工作区整—个截:面的洁净《。室亦称?。乱流洁净室
—
2.0.!4 混合流—。洁,净室 mix—ed a《irflow cl!eanroo—m
《
同时分别存】在,单向流和非单向流】两种气流流型的【洁净室
《
》2.0?。.,5 : 微:粒 parti】cle
】
悬浮在空气中的】、,。。固态的或《液态:。的、:活性的或非活性【的物质其粒》径(对本标准而言】)在10n》m~100μm【。的范围
—
2.0.6】 气溶胶 a】eros《ol
在!空气:中悬浮的微小—。固体或液《体,微粒的分散》系
?。
2.0.7! 生物《气溶胶 bio-】a,erosol
】
散布于【。气态环境中的生物】介质
】2,.0.8 》。 浮游菌 a—irborn—e :。bacter—ia
悬!浮在:空气中的带菌微【粒
《
2.0—.,9 ?沉降菌 sct】tle?menta》l :bacteri【a
【降落在表面上的带】菌微粒
》。
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,
2.0.1【0 测试用气溶胶! t?。est aer【osol
—
:
呈气态悬浮【的固体或液体的【微粒其?粒径分?布和:浓度已知且受—控
?
2.0.1!1 泄漏 l】e,ak:
—空气过滤器系—统因:完整:性不佳或《有缺:陷所引起《的,污染物透过透过的】。污,染物:超过下风向浓度预计!。值
》
2.《0.12《 , 检:漏 leak t!est
》。
:
找到过滤器和】机组部件《。泄漏的方《法,即使用气溶胶光度计!或光学粒子计数器】以相互重叠的扫描】区域扫描通过测试区!
2【.0.?13 ? 过滤器安》装后泄漏测试 i!nstal》led 《f,ilter》 leak》age tes【t,
—为确认过《滤器安?装良好?所进行的测试—测试:时要验证设施没有旁!路渗漏过滤器及过】滤器和安装框—架,间的密封面没有【缺陷和泄漏》
《
2?.0.14 静】态 a《t-rest
】
?
全:。部建:成且:设施齐备净》化空调系统运—行正常现场没—有人员此时生产设备!已安装完毕》而未运行的洁净室状!态;或生产设—备,停止运行《。并进行?。自净:达到规定时间后的洁!净室状态;或—正,在按建设《方(用户)和—施工方商定的方式运!。行的洁?净室状态是》洁净室的三种—占用状态(空态、】静,态、动态)之—一
【
2.0.15 !高纯气?体 :ul:trapure【 gas
!
气体成《分纯度大于或等于9!9.9995—%含水量小于—5ppm的气体【
2【.0.16 纯化!水, pu《rity wa【ter (去离【子水:或深度?。脱盐水)
】
指温度25【℃时电阻率大—于0.1×106】Ω·cm的水—
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,
2.0.】。。17 高纯水【(注射用水) 】ultrapur】e :water
—
指温度】2,5℃时电阻率大【于0.1×1—。06Ω·cm水【。。中大于或等》于0.5μm的【尘粒小于300粒/!mL活微生物小于9!个/mL的纯水
】
2.0】.18 大(【宏)粒子 macr!oparti—cle
【
当量直》径大于5μm的微】粒
:
2—.0.1《9 超微粒—子 ul》trafine【 part》icle
】
当量直径—小于0.1μm的】微粒
】2.0.20 】永久气体 p【erma《nent g—as
—
临界温度低于-!10℃的气》体如:空气、?氧、氮、氦、甲烷】、一氧化碳等
【
,。
2.—0,.21?。 特?种,气,。体 ?spe?cial《 ,gas
【
,。
为:满足:特,定用途?的气体包括单—一气体或混合气体】。单一:气体有2《5,9,种其中电子气体11!。5种有机《气体:。63种无《机气体35》种卤碳?素气体29种同位素!气体17《种
《
2》.0.22》 医用《气体 medi【cal gas
】
《
符合?医疗相关规定要求供!治疗、诊断》、预防等医学方面】使用的气体
【
2》.0.23 洁净!气,体 cle—an ?gas
《
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单位》体积所含微粒的数量!小于或等于使用此气!体的洁净环境洁净度!的,常,。用气体
》
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?。2.0.2》4 分《子态:污染物 ai—rborne m】olecul—ar con—taminatio!nAMC
】。
含在空气—中的具有分子量级】的污染物《如酸性气体》、碱:性,气体、凝聚》性有机物《质,、用于半《导,。体,的掺杂?物、高挥《发性有机物》质和分子级的—金属等?
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