： 2？  术？    语》 2！．0．1  洁【净室及相关》受，控环境  cle】a，nroom》s a？nd asso【c，iated c【ontro》。lle？d enviro】nment ！ ：洁净室及其附—属的、辅《助的、相联系—的开放或封》闭的内部或周边【空间该空间的悬浮】微粒浓度等》。参，。数也受到符合—相关标准《的控制 【 2．0．2 】 单向流洁净室【  unidir】ec：tional— airflow】 cl？eanroo—m ： 由方向单！一、流线《平行并且速度均匀稳！定的：单向流流过房间【工作区整个截—面的洁净室 ！ 2．0．3  ！非单向流洁》净室  《no：n-：unidir—ectional】 airfl—ow cleanr！oo：m 是】。。指流线不平行—、，方向不单一、速度】不均匀而且有交叉】回旋的紊乱气流流过！房间：。工作区整个截—面的洁净室亦称【乱流洁净室 【。 2．—0．4  混—合流洁？净室 mi》xe：d air》flow 》。cleanroom！。 ， 《 同：时分：别存在单向》流和：非单向流两种气流】流型：的洁净？室 《 2．0．5 ！ 微：粒  pa》rticle— 悬浮】在空气中的》、，固态的？或液态的《、活性的或非—活性的？物质：其粒径(对本标准】而言)在《10nm～》100μm》的范：围 ？ 《2．0．《6  气溶胶 【 aeroso【l，。 《 在空气中—悬浮的微小》固体或液体微—粒的分？。散，系 《 2《．0．？。7  生《。物气溶胶 bi【o-aero—sol — ？散，布于气态环》境中：的生物介质 — 2．0】．8  浮游—菌 airbor】ne bac—。teria ！ 悬浮《在空气中的带菌【微粒 2！．0．9  沉【降，菌，  sc《t，tl：emental b！acter》。ia 《 《降落在表面上的带】菌微粒 】 2．0．》10 ？ ，测试用气《溶胶  t》est ae—rosol 【。 呈》气，态悬浮的固体或液】体的微？粒其粒径分》。布和浓度已知且【受控 2！．0．？1，1  泄漏 — leak — 《 空气过滤器—系统因完整性不佳】或有：缺陷所引起的—污染物透过》透过的污《染物超过下风—向浓度预计值 】 ， ， 2．0．12】  检漏  le】。。ak t《est 《 》找到过？滤器和机组部件【。泄漏的方法即使用】气，溶胶光度计或光学粒！子计数？器，以相互重叠》的扫：描区：域扫描通过》测试区 — ： 2．0．13【  ：过滤器？安装后泄漏测试  ！insta》lled filt！er leaka】ge test ！ ： ， 为：确认过？。滤器安装良好所进行！的测试测试》时要验证设》施没有旁路渗漏过滤！器及过？滤器和安装》框架间的密封面没】有缺陷和泄漏 【 2．0】．14  静—态  at-—rest《 全部】建成且设施齐备净化！空调系统《。运，行正常现《场没：有人员此《时生产设备已安装完！。毕而未运行》的洁净室状态—；，或生产设备停止运行！并进行自净》达到规定时间—后的洁净《室状态；或》正在按建设方(用】户)和施工方—商定的方式运行的】洁净室状态是洁净室！的三种？占用状态(》空态、静态、动态)！之一：  2】。．0．15  高】纯气体 u》ltrapure ！gas 》 气体成【分纯度大于》或等于99．—9995％含水量小！于5p？pm的气体 ！ ， 2．0．1—6  纯化水  p！urity wa】t，er (去离子水或！深度脱盐水) ！ 指温度25】℃时电阻率大于0】．1×1《06Ω·cm的水 ！ ， ？ 2．？0．17  高【纯水(注射用水) ！ ultra—pure wate！r — 指温度25℃时电！。阻率大于0．1×】106Ω·》c，m水中大于》或等于？0，。．5μm的尘粒小于！300粒／m—L活微？生物小于9》个／：mL的纯《水 ？ ： 2．0．1【8  大(宏)粒子！ macropa】rti？cle 》 ， 当《量直径大《。于5μm的微粒【 ， 》2．0．19 【 超微粒子  【ultrafin】e part—icl？e 《 当量直径小】于0：。．1μm的微粒【 ？ 2．0．【20  永久气【体  perman！ent gas ！ ，。 临《界温度低于-10℃！的气体如空气、氧】、氮、氦、甲烷、一！氧化碳等 》 ： 2．0—。．2：1  ？特种气体  spe！cia？l， ，gas 】 为：满足特定用》途的：气，体包括单一气体【或混合气体单—一气：体有259种其【中电子气体1—1，5，种有机气体63种无！机气体35种—卤，碳素气体2》9种同位素气—体，17种？  ？ 2．—0．22  医【用气：体 med》ic：al ga》s ： 符—。合，医疗相关规定要求供！治疗、诊断、预防】等医学方面使用的气！体 — 2．0《．23  》洁净：气体  cl—ean gas 】 《 单位体《积，所，含微：粒的数量小于或等】于使用？此气：。体的洁净环境洁净度！的常用气体 — 2—．0．24  分】。子态污染物 a【irbor》。ne molecu！。lar conta！minat》ionAM》C 含在！空，气中的具有分—子量级的污染物【如酸性？气体：、碱性？气，体、凝聚性有—机物质？、用于半导体的掺杂！物、高？挥发性有机物质和】分子级的金属等 ！