2  术 ！。   语 】 2．0．1！ ， 洁净室《及相关受控环境  ！cleanroo】。ms and— associat！ed contro！lled envi！ronment ！ 《。洁净室及其附—属的、辅助的、【相联系的开放—或封：闭的内部《或周边空间该空【间的悬浮《微粒浓？。。度等参数也》受到符合《相关标准的控制【 ， 》2．：0．2  单向【流洁净室  —unidire【c，tional 【airf《low 《cleanroom！ ： 《由方向单一、—流线平行并且速度】。均匀稳定的单向【流流：。过房间工作区整【个截：面的洁净室 】 ， 2？．0．？3  非单向—流洁：净室  no—n-uni》direction！。al airfl】ow cl》e，anroom ！ ， 是指流线不【平，行、方？向不：单一、？速度不？均，匀而：且有交叉回旋的【紊乱气流流过房间工！作区整个截面的洁净！室，亦称乱流洁净—室 ： ： 2．0．4】  混合《流洁净室 m—ixed 》ai：rfl？ow cleanr！oom？。 》 同时分别》存，在单向流和》非单向？。流两种气流流型【的洁净？室 【2．0．5  【微粒：  par》ticle 】 悬浮在空气】中的、固《态的或液态的、活】性的或非活性—的物质其粒径(对】本标准而言》)在1？0nm～10—0，。μm：的范围 — ： 2．？0．6  气溶胶】  aero—sol — 在空气中【悬浮的微小固体或】液体微粒的分散系】 ： 2．—0．7  生物【气，溶胶 bio—-aerosol ！ 散布【于气：态环境中的生—物介质？ 2．】0．8  浮游菌 ！airbor—ne bacter！ia — ：悬浮在空气中—的带菌微粒 — 》2．0？．9  沉降菌  ！sctt《lem？ental》 bacteri】a 降】落，在表面上的带—菌微粒 】 2．0．10【。。  测试《用气溶胶  t【est ae—r，osol — 呈气态【。悬浮的固体或液体的！微粒其粒径分布和】浓，度已知且受控 ！ 2．0．【1，1  ？。泄漏：  leak 【 空—气过滤器系统因完整！。性，不佳或有《缺陷所引起的污染】物透过透过的污染】物超：过下：风向浓？度预计值 】 2．0．1【2，  检？漏  leak t！es：t 【找到过滤器》和机组部件泄漏的】方法即？使用气溶《胶光度计或》光学粒子计数器以相！互重叠的扫》描区域扫描通—过测试区 》 2．【0．13《  过滤器安—装后泄？漏测试  》install【ed filte】r leakag】e ：test 【。 为确认过滤】器安装良好所进行的！测试测试时要验证】设施没有旁路渗【漏过滤器及过滤器】和安装？框架间？的密：封，面没有缺陷和泄【漏 2】。．0．1《4  静《态  at-r【e，st 全！部建：。成且设施齐备净化空！调系统运《行正常现场》没有人员此时生产设！备，已安装？完毕而未运行—的洁净室状态；或生！产设备停止运行【。并进行自净达到规定！时间：后，的，洁，净室状态；或正在按！建设方(用》。户)和施工》方商定的方式—运行：的洁净室状》态是洁？净室的三《种占用状态(空态】、静态、动态)之一！  《 ， 2．0．15 ！ 高纯气体 u【ltrapu—re gas ！ 气体成—分，纯度大于或等于【99．999—5％含？。水量小于5pp【m的气？体 ： 《 2．0．1—6 ： 纯：化水  《purity 【water (去】离子：水或深度《脱，盐，水) ？ 指—温度25℃时电阻】率大于0《。。。．，1×106Ω·cm！的水 《。 2．0．1！7  ？高纯水(注射用水)！  ult》rapure wa！ter？ 》 指温度2》5℃时电阻》率大：于，0．1？×106Ω·c【m水中大于或等于0！．，5μ：m的尘？粒，小于300》粒／mL活微生物小！于9个／《mL的纯水 — 》2．0．1》8  大(宏)粒子！ ma？cro？parti》cl：e 当量！直径大于5》μm的微《粒 【2．0．《19  超微—粒子  ultr】af：ine parti！cle 【 当量直》径小于0．1μ【m的微粒 ！ 2．0．2—0  永久气体 】 p：er：。mane《nt gas ！ 临界温度低】于-10℃的气【体如空气、氧、氮、！氦、甲烷《、一氧化碳》等 — 2．？0．21  特种】气体  《specia—l gas —。 为满足特！定用途？的气体包括单—一气体或混合—气体单一气体有【259种其中—电子气？体11？5种有？机气体63种无机气！体35种《卤碳素？气体29种同位素气！体，17种  》。 2—．0．？22  医用—气体： medical】 gas — ？ 符：合医疗相关》规定要求供治疗、诊！断，、预防等医学方面】使用的？气体 2！．0．23  洁】净气：体，  cle》an gas 【 》。单，位体积所《含微粒的数量—小于或等于使用【此，气体的洁净环—境洁净度的常用气体！ ： 2》．0．2《4  ？。分子态？污染：物， airborne！ mo？l，ec：ular cont！ami？n，ationAM【C 《 含在》空气中的具有分子量！级的污？。染，物如：酸性气体《、碱性？气体、凝聚性有机物！。质、用于半》导体的掺杂物、高】。挥发性有《机物质和分子级【。的金属等《 ：